【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电子源性能测试，具体涉及一种用于测试电子源性能的装置。
技术介绍
1、电子显微镜的发展极大地推进了科学的进步。目前，电子显微镜已广泛应用于物理、化学、医学、材料科学和结构生物学等领域，极大地推动了人类对于物质微观结构与形貌表征的探索，其不断提高的精度为在分子和原子尺度上分析结构和组成提供了可能。电子源是电子显微镜的心脏，其发射电流，稳定度和使用寿命对电子显微镜的性能影响极大。在现有的各类电子源中，热场发射电子源因发射尖端尺寸小，电子发射性能优异，使用寿命长达上万小时，在高分辨率电子显微镜中占据主导地位。
2、但是，目前国内电子显微镜制造行业尚缺乏对热场发射电子源进行专业测试和评价的装置和系统，因此，开发一种能够对电子源性能进行测试的装置显得尤为重要。
技术实现思路
1、因此，本专利技术要解决的技术问题在于开发一种能够对电子源性能进行测试的装置。
2、为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案如下：
3、本专利技术提供一种用于测试电子源性能的装置，包括：本体，具有中空的真空腔，被测试的电子源适于设置在所述真空腔内；法拉第杯，与所述真空腔之间绝缘地设置在所述真空腔内，所述法拉第杯的接收端朝向被测试的电子源的发射端设置，以接收电子束；微电流计，设置在所述本体上，且与所述法拉第杯电连接，以将所述法拉第杯接收的电子束信号转化成电流信号。
4、进一步地，该用于测试电子源性能的装置还包括光阑，所述光阑上设置有用于电子束通过的过孔；所述法
5、进一步地，所述第一沉孔包括相连的第一孔道与第二孔道，所述第一孔道的孔径大于所述第二孔道的孔径，以在所述第一孔道与所述第二孔道的交界处形成台阶面，所述光阑平铺在所述台阶面上。
6、进一步地，该用于测试电子源性能的装置还包括压紧环，所述压紧环的外侧壁设置有外螺纹；所述第一孔道的内壁设置有内螺纹，所述压紧环通过所述外螺纹与内螺纹安装在所述第一孔道内，且所述压紧环与所述光阑相抵，以将所述光阑压紧在所述台阶面上。
7、进一步地，该用于测试电子源性能的装置还包括弹性夹片与电极插头；所述弹性夹片包括两个背对设置的v型板以及连接两个v型板的连接板，两个所述v型板之间留有小于电极插头的探针直径的间隙；所述弹性夹片通过所述连接板设置在所述法拉第杯背对被测试的电子源的端面上，且所述弹性夹片与所述接收端电连接；所述电极插头通过导线与所述微电流计相连，所述电极插头的探针插入所述真空腔中并至少部分被夹设在所述间隙之间。
8、进一步地，该用于测试电子源性能的装置还包括导通螺栓；所述法拉第杯背对被测试的电子源的端面上设置有第二沉孔，所述第二沉孔延伸至所述接收端所在的位置，所述第二沉孔的内孔壁设置有内螺纹；所述连接板上设置有通孔，所述导通螺栓穿过所述通孔并伸入所述第二沉孔内，且所述导通螺栓位于所述第二沉孔内的部分与所述接收端接触。
9、进一步地，所述真空腔的侧壁或远离所述法拉第杯的顶壁上设置有烘烤灯泡，所述烘烤灯泡通过加热的方式除去所述真空腔内的气体。
10、进一步地，所述真空腔的侧壁上设置有电子束偏转器，且沿电子束的运动路径上所述电子束偏转器位于被测试的电子源的下游，所述电子束偏转器通过调节所述真空腔内的磁场大小控制电子束进行偏移。
11、进一步地，该用于测试电子源性能的装置还包括高压电缆与高压电源；所述高压电缆的一端与所述高压电源相连，另一端伸入所述真空腔中，用于与被测试的电子源相连。
12、进一步地，所述真空腔的侧壁上设置有真空抽气口，用于抽真空的泵体通过所述真空抽气口抽取所述真空腔内的气体。
13、进一步地，所述法拉第杯与所述真空腔之间设置有绝缘垫片。
14、本专利技术技术方案，具有如下优点：
15、本专利技术提供的用于测试电子源性能的装置，可以将被测试的电子源安装在真空腔内，当被测试的电子源发射电子束后，可以通过法拉第杯来收集电子束信号，之后再通过微电流计获取到电子束的电流信号，最终根据电流信号呈现的结果来对被测试的电子源性能进行评价。其中，根据电流信号是否稳定可以判断被测试的电子源是否能够提供稳定的电子束；改变电子源上施加的电压后，根据电流信号是否能够保持同步的改变来判断被测试的电子源是否能够及时且准确的响应调参；保持电子源上施加的电压不间断时，根据电流信号为零时的节点能够获取被测试的电子源的使用寿命。
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1.一种用于测试电子源性能的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
7.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
8.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
9.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
10.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
11.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种用于测试电子源性能的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的用于测试电子源性能的装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的用于测试电子源...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘涛，李文龙，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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