System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种芯片及其布局方法技术_技高网

一种芯片及其布局方法技术

技术编号:41457914 阅读:21 留言:0更新日期:2024-05-28 20:44
本发明专利技术公开了一种芯片及其布局方法,涉及集成电路技术领域,包括:在预定单位曝光区域内配置多个单位容量的存储芯片作为一个芯片,在此基础上包含向外额外拓展一定宽度的区域,用于专门放置和3DIC相关的对版标记和专门放置各工厂自己模拟工艺的对版标记。从而达到提前布局,无需进行占位沟通,不影响逻辑芯片的布局走线,提高逻辑芯片对存储芯片容量选择的兼容性的技术效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路,尤其涉及一种芯片及其布局方法


技术介绍

1、传统的堆叠芯片中,3dic作为存储晶圆和逻辑晶圆的堆叠键合,一个器件需要多步光刻工艺,这个时候需要以对版标记确保每次曝光时基片所在位置不变,在进行3dic对版标记时,基于其三维集成的特殊性,其中一部分层需要与存储芯片对齐,产生基于存储芯片的对版标记,但还有一部分层需要与逻辑芯片对齐,产生基于逻辑芯片的对版标记,在两种标记混合存在的情况下,由于进行标记占位的空间区域一定,在进行芯片叠加对准的对版标记堆叠时,容易出现位置占位受限的情况,需要重新设计或改动,从而增加制造成本。

2、目前采用传统的对版标记方法会导致逻辑芯片内部布局严重受限,以及对版标记各方占位位置沟通复杂的问题。


技术实现思路

1、针对现有技术中的缺陷,本申请实施例提供了一种芯片及其布局方法,能够达到提前布局,无需进行占位沟通,不影响逻辑芯片的布局走线,提高逻辑芯片对存储芯片容量选择的兼容性的技术效果。

2、第一方面,本申请提供了一种芯片,包括:n个芯片单元,n为正整数;第一区域,所述第一区域位于所述存储芯片外围,所述第一区域用于放置第一类对版标记;第二区域,所述第二区域位于所述第一区域外围,所述第二区域用于放置第二类对版标记。

3、进一步地,所述第一类对版标记包括需要占位的对版标记;所述第二类对版标记包括不需要占位的对版标记。

4、进一步地,所述第一区域为三维集成电路环。

5、进一步地,所述第二区域为划片槽。

6、进一步地,每个所述芯片单元包括m层芯片,每层所述芯片堆叠互联。

7、进一步地,每层所述芯片均设置有所述第一区域和所述第二区域。

8、进一步地,所述芯片中逻辑芯片的面积为所述第一单位dram面积的m倍,m为正整数。

9、进一步地,所述第一单位dram的容量包括512m。

10、进一步地,本申请还提供了一种芯片的布局方法,所述方法应用上述芯片结构,所述芯片具有多层芯片结构,所述方法包括:设定第一单位dram;在预定单位曝光区域内配置n个所述第一单位dram,构成存储芯片,n为正整数;对所述三维堆叠芯片的对版标记进行类别划分,得到第一类对版标记和第二类对版标记;在所述存储芯片外围扩展第一区域,所述第一区域用于放置第一类对版标记;在所述第一区域外围扩展第二区域,所述第二区域用于放置第二类对版标记。

11、本说明书实施例提供的一种芯片及布局方法中,在预定单位曝光区域内配置多个单位容量的存储芯片作为一个芯片,在此基础上包含向外额外拓展一定宽度的区域,用于专门放置和3dic相关的对版标记和专门放置各工厂自己模拟工艺的对版标记。从而达到提前布局,无需进行占位沟通,不影响逻辑芯片的布局走线,提高逻辑芯片对存储芯片容量选择的兼容性的技术效果。

12、上述说明仅是本申请技术方案的概述,为了能够更清楚了解本申请的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本申请的具体实施方式。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片,其特征在于,包括:N个芯片单元,N为正整数;

2.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述第一类对版标记包括需要占位的对版标记;所述第二类对版标记包括不需要占位的对版标记。

3.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述第一区域为三维集成电路环。

4.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述第二区域为外划片槽。

5.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,每个所述芯片单元包括M层芯片,每层所述芯片堆叠互联。

6.根据权利要求5所述的一种芯片,其特征在于,每层所述芯片均设置有所述第一区域和所述第二区域。

7.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述芯片中逻辑芯片的面积为所述芯片单元面积的M倍,M为正整数。

8.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述芯片单元的容量包括512M。

9.一种芯片的布局方法,其特征在于,所述方法应用于权利要求1~8的芯片,所述芯片具有多层芯片结构,所述方法包括:

10.一种电子设备,其特征在于,包括芯片,所述芯片包括上述权利要求1~8任一项所述的芯片。

...

【技术特征摘要】

1.一种芯片,其特征在于,包括:n个芯片单元,n为正整数;

2.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述第一类对版标记包括需要占位的对版标记;所述第二类对版标记包括不需要占位的对版标记。

3.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述第一区域为三维集成电路环。

4.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,所述第二区域为外划片槽。

5.根据权利要求1所述的一种芯片,其特征在于,每个所述芯片单元包括m层芯片,每层所述芯片堆叠互联。

6.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员:王嵩薛小飞龙晓东韩艳韩彦武
申请(专利权)人:西安紫光国芯半导体有限公司
类型:发明
国别省市:

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