【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及具有压电层的弹性波装置。
技术介绍
1、例如，在专利文献1中公开了利用板波的弹性波装置。专利文献1所记载的弹性波装置具备支承体、压电基板和idt电极。在支承体设置有空洞部。压电基板设置在支承体上，使得与空洞部重叠。idt电极设置在压电基板上，使得与空洞部重叠。在弹性波装置中，通过idt电极激励板波。空洞部的端缘部不包含与由idt电极激励的板波的传播方向平行地延伸的直线部。
2、在先技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报
技术实现思路
1、专利技术要解决的问题
2、近年来，要求能够防止膜部(membrane portion)的裂纹的弹性波装置。
3、本公开的目的在于提供能够防止膜部的裂纹的弹性波装置。
4、用于解决问题的手段
5、本公开的一方式的弹性波装置具备：
6、支承基板，具有空洞部；
7、压电层，层叠在所述支承基板上，具有在该层叠方向上至少局部地与所述空洞部重叠的膜部；以及
8、电极，配设在所述压电层，
9、所述电极包含idt电极指和所述idt电极指以外的电极部，
10、所述idt电极指配设在所述膜部，
11、所述电极部的外轮廓在俯视下与所述膜部的边界交叉。
12、专利技术效果
13、根据本公开，能够提供能够防止膜部的裂纹的弹性波装置。
【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，
7.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，
8.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，
9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，
10.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，
11.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种弹性波装置，具备：
2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，
6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。