准分子灯装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具备以简便的构造抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感器的准分子灯装置。该准分子灯装置，具有收纳测定从准分子灯（２）所放射的紫外准分子光的光传感器（３）及准分子灯的筐体（４），其特征为：光传感器具有光监测器部（３３）、筒状部（３１）、及基台部（３２），筒状部具有：从基台部侧朝准分子灯（２）侧所形成的渐次小径化部（３１３），比渐次小径化部靠近准分子灯（２）地形成的最小内径部（３１４），及由最小内径部朝准分子灯侧所形成的渐次大径化部（３１５），测定紫外准分子光时，使从气体导入口（３２１）所导入的惰性气体通过筒状部（３１）内，从筒状部的开口（３１２）放出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及被使用于紫外线照射处理的准分子灯装置，尤其涉及具备测定从准分子灯所放射的紫外线的光传感器的准分子灯装置。
技术介绍
近年来，例如在液晶显示面板的玻璃基板利用紫外线照射的清洗工序等中，使用 具备放射波长200nm以下的真空紫外光、例如172nm的真空紫外光的准分子灯的准分子灯 装置。在这些准分子灯装置中，由于真空紫外光在空气中衰减，因而在成为筐体的开口部的 由半导体基板或液晶基板等的工件所形成的被照射物与准分子灯之间，设置由石英玻璃所形成的窗材，通过窗材而将真空紫外光照射在被照射物。然而，石英玻璃所形成的窗材价格 高，因而如专利文献1所示，采用拆除石英玻璃所形成的窗材，使被照射物与准分子灯接近 的构造。 —方面，准分子灯由于随着经过其使用时间的劣化，因而所照射的真空紫外光的 强度会逐渐地降低。当所照射的真空紫外光的强度降低，则清洗被照射物的表面的能力也 会降低。所以，随时测定来自准分子灯的真空紫外光的强度，使得强度不会降低至预定值 以下，进行提高灯输入的反馈控制，或是强度无法输出至预定值以上时，则必须更换准分子 灯。 在专利文献1所述的准分子灯装置，记载有设置检测出来自准分子灯的真空紫外 光的强度的光传感器。该光传感器例如将172nm的紫外线由萤光体变换成可视光，并以光 电二极管检测出可视光而变换电信号得到输出。 图7是表示专利文献1所述的沿着垂直于准分子灯101的长边方向的方向的准分 子灯装置100的概略构成的剖面图，图8是表示图7所示的准分子灯101的构成的立体图。 如图8所示，具备长方体的放电室102的准分子灯101，垂直于灯的长边方向的方 向的剖面为长方形，而在放电室102的上下两面以沿着放电室102的长边方向延伸的方式 设有外部电极103,104。在该例子中，设于上面的一方的外部电极103被构成板状，而设于 下面的另一方的外部电极104被构成网状。另外，在放电室102的上面，设有相对于光传感 器105的板状地构成的外部电极103的一部分被削除的开口部106。 如图7所示，准分子灯101以网状地构成的外部电极104相对于被照射物W的方 式，设置多支、例如图示那样设置3支于准分子灯装置100的筐体107的内部。筐体107被 构成一面被开口的箱状，在与其开口面平行的方向搬运被照射物W。在相对于筐体107的上 述开口面的一面，设有导出导入测定来自准分子灯101的真空紫外光的光传感器105的贯 通孔108，该贯通孔108由于导入导出光传感器105，因而设于相对于准分子灯101的开口 部106的位置。 从筐体107的贯通孔108导出导入的光传感器105，设有从准分子灯101照射真 空紫外光的萤光体109，及检测出通过萤光体109被变换的可视光的光电二极管110。光传 感器105在检测出来自准分子灯101的真空紫外光时，则通过气缸111从筐体107的贯通孔108被导入至筐体107的内部，朝准分子灯101的开口部106移动一定量而被近接。近 接于开口部106的光传感器105将真空紫外光通过萤光体109变换成可视光，而通过光电 二极管110检测出可视光。若检测结束，则光传感器105通过气缸lll，再经贯通孔108而 被导出至筐体107的外部。该光传感器105的导出导入，通过被连接于光传感器105的气 缸111进行。 专利文献1 :日本特开2004-97986号公报 但是，该准分子灯装置100由于筐体107的一面被开放，因而筐体107的内部成为 大气状态。所以，准分子灯101点灯时，通过准分子灯101所照射的真空紫外光与大气中的 氧气进行反应，因而大气中的氧气浓度会变化。 一方面，随着利用未予图示的搬运机构搬运 被照射物W，筐体107的内部发生氧气浓度有变化的大气的对流C。所以，由于该对流C，使 得光传感器105与准分子灯101之间的氧气浓度会变化，而从准分子灯101所放射的真空 紫外光对氧气的吸收量会变化，通过光传感器105所检测出的真空紫外光对氧气的吸收量 会变化。 如此地，在筐体107下方所开口的准分子灯装置100中，通过被照射物W被搬运， 无法将筐体107内部的氧气浓度作成均匀，而准分子灯101与近接于此的光传感器105之 间的氧气浓度，及准分子灯101与被照射物W之间的氧气浓度不会相同。所以，依据通过光 传感器105所检测出的真空紫外光的强度，进行控制准分子灯101的输入时，则有超过预定 值以上的真空紫外光被照射于被照射物W，或是低于预定值以下的真空紫外光被照射，而对 于被照射物W无法均匀地照射真空紫外光。
技术实现思路
本专利技术的目的是鉴于上述的问题点，提供一种具备以简便的构造抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感器的准分子灯装置。 本专利技术为了解决上述的课题，采用如下的方案。 第1方案是一种准分子灯装置，具有准分子灯，测定从该准分子灯所放射的紫外 准分子光的光传感器，及至少收纳上述准分子灯与上述光传感器的筐体，其特征为上述光 传感器具有具备光电二极管与萤光体的光监测器部，具有开放于该光监测器部侧与上述 准分子灯侧的开口、上述准分子灯侧的开口被接近配置于上述准分子灯的筒状部，及连结 上述光监测器部与上述筒状部的基台部，上述筒状部具有内径从上述基台部侧朝上述准 分子灯侧被渐次小径化的渐次小径化部，比该渐次小径化部靠近上述准分子灯地形成的最 小内径部，及内径从该最小内径部朝上述准分子灯侧被渐次大径化的渐次大径化部，上述 基台部具有将被导入到上述筒状部的惰性气体导入的气体导入口 ，测定上述紫外准分子光 时，使从上述气体导入口所导入的惰性气体通过上述筒状部内，从上述筒状部的上述准分 子灯侧的上述开口放出。第2方案是在第1方案中，其特征为由上述光监测器部的光入射侧的开口周缘与上述筒状部的最小内径部内缘所规定的上述光监测器部的光摄取角度，比上述筒状部的上述准分子灯侧的上述开口端区域的渐次大径化部的内周面的开口角度小。第3方案是在第1方案或第2方案中，其特征为上述筒状部是陶瓷构件。第4方案是在第1方案至第3方案中的任一方案中，其特征为在上述基台部的上述气体导入口与上述筒状部之间，形成有气体压力调整空间。 根据方案1所述的专利技术，在从气体导入口导入惰性气体时，气体的流动通过筒状 部内的最小内径部，增加流速，而从筒状部开口朝准分子灯放出成扩展至开口周围，因而可 提供一种具备抑制氧气浓度变化了的大气的对流所引起的紫外线的测定值变化的光传感 器的准分子灯装置。 根据方案2所述的专利技术，将由光传感器的光监测器部的开口周缘与筒状部的最小 内径部内缘所规定的光监测器部的光摄取角度，作成比筒状部的开口端区域的内周面的开 口角度小，因而不会受到存在于筒状部的开口附近的氧气浓度变化了的大气的紊流所引起 的影响而可测定从灯所放射的紫外线。 根据方案3所述的专利技术，筒状部是陶瓷构件，因而可将光传感器充分接近于灯的 电极部。 根据方案4所述的专利技术，形成有气体压力调整空间，因而可将朝准分子灯从筒状 部开口所放出的惰性气体的压力作成均匀。附图说明 图1是表示本专利技术的准分子灯装置1的全体构成的剖面图。 图2是表示图1所示的示出了所导入的惰性气体的流动的状况的光传感器3的详 细的构成的剖面图。 图3是表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种准分子灯装置，具有：准分子灯，测定从该准分子灯所放射的紫外准分子光的光传感器，及至少收纳上述准分子灯与上述光传感器的筐体，其特征为：上述光传感器具有：具备光电二极管与萤光体的光监测器部，具有开放于该光监测器部侧与上述准分子灯侧的开口、上述准分子灯侧的开口被接近配置于上述准分子灯的筒状部，及连结上述光监测器部与上述筒状部的基台部，上述筒状部具有：内径从上述基台部侧朝上述准分子灯侧被渐次小径化的渐次小径化部，比该渐次小径化部靠近上述准分子灯地形成的最小内径部，及内径从该最小内径部朝上述准分子灯侧被渐次大径化的渐次大径化部，上述基台部具有将被导入到上述筒状部的惰性气体导入的气体导入口，测定上述紫外准分子光时，使从上述气体导入口所导入的惰性气体通过上述筒状部内、从上述筒状部的上述准分子灯侧的上述开口放出。

【技术特征摘要】
JP 2008-10-1 256584/2008一种准分子灯装置，具有准分子灯，测定从该准分子灯所放射的紫外准分子光的光传感器，及至少收纳上述准分子灯与上述光传感器的筐体，其特征为上述光传感器具有具备光电二极管与萤光体的光监测器部，具有开放于该光监测器部侧与上述准分子灯侧的开口、上述准分子灯侧的开口被接近配置于上述准分子灯的筒状部，及连结上述光监测器部与上述筒状部的基台部，上述筒状部具有内径从上述基台部侧朝上述准分子灯侧被渐次小径化的渐次小径化部，比该渐次小径化部靠近上述准分子灯地形成的最小内径部，及内径从该最小内径部朝上述准分子灯侧被渐次大径化的渐次大径化部，...

【专利技术属性】
技术研发人员：大塚优一，山森贤治，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]