【技术实现步骤摘要】
本申请是有关于压力感测装置及其制造方法。
技术介绍
1、压力感测装置可以用于侦测所受压力并对应切换不同功能。然而，随着压力感测装置的精准度要求不断提高，元件配置渐趋复杂以及密集，如何简化压力感测装置的内部元件以及提升散热效能，是所欲解决的问题。
技术实现思路
1、根据本申请的一些实施例，一种压力感测装置，包括绝缘基材、绝缘层、隔离墙、液态金属复合物、压力感测组、导电通孔以及线路基板。绝缘层设置于绝缘基材上，其中绝缘层环绕并定义出第一容置空间以及第二容置空间，其中第一容置空间包含第一外侧空间、第一内侧空间以及连通第一外侧空间以及第一内侧空间的第一连通空间，其中第二容置空间包含第二外侧空间、第二内侧空间以及连通第二外侧空间以及第二内侧空间的第二连通空间。隔离墙设置于绝缘层上，介于第一内侧空间以及第二内侧空间之间。液态金属复合物填充于第一容置空间以及第二容置空间中，且适于在第一容置空间内以及第二容置空间内流动。压力感测组设置于绝缘层内，并位于隔离墙之上、第一内侧空间之上以及第二内侧空间之上。导电通孔设置于绝缘层内，并位于第一外侧空间之上以及第二外侧空间之上。线路基板电性连接压力感测组以及导电通孔。
2、在一些实施例中，第一外侧空间的顶表面低于第一内侧空间的顶表面，以及第二外侧空间的顶表面低于第二内侧空间的顶表面。
3、在一些实施例中，第一外侧空间的宽度大于第一内侧空间的宽度，以及第二外侧空间的宽度大于第二内侧空间的宽度。
4、在一些实施例中，第一内侧空
5、在一些实施例中，液态金属复合层的材料包含液态金属以及高分子聚合物。
6、在一些实施例中，隔离墙的底表面与第一连通空间的底表面以及第二连通空间的底表面彼此齐平。
7、在一些实施例中，压力感测装置处于直立状态时，导电通孔的轴线与液态金属复合物的液面垂直，且液态金属复合物接触导电通孔，但是并未接触压力感测组。
8、在一些实施例中，压力感测装置还包含第一发光二极管以及第二发光二极管，其中第一发光二极管电性连接导电通孔，第二发光二极管电性连接压力感测组，其中当压力感测装置处于直立状态时，导电通孔的轴线与液态金属复合物的液面垂直，第一发光二极管发光，第二发光二极管不发光；当压力感测装置倾斜至液态金属复合物接触压力感测组时，第二发光二极管发光，第一发光二极管不发光。
9、根据本申请的一些实施例，一种制造压力感测装置的方法，包括提供线路基板，其中线路基板包含绝缘材料层以及位于绝缘材料层内的线路图案；设置压力感测组于线路基板；设置第一绝缘层于线路基板，其中压力感测组于第一绝缘层中；设置至少一导电通孔贯穿第一绝缘层，并与线路基板电性连接；设置第二绝缘层于第一绝缘层之下，使得第二绝缘层于压力感测器之下定义出内侧凹槽，以及导电通孔之下定义出外侧凹槽；设置隔离墙于压力感测组之下，以使内侧凹槽分隔为第一内侧凹槽以及第二内侧凹槽；设置牺牲层于第二绝缘层之下，其中牺牲层位于第一内侧凹槽与外侧凹槽之间以及第二内侧凹槽与外侧凹槽之间；设置第三绝缘层于隔离墙、牺牲层、以及第二绝缘层之下；设置绝缘基材于第三绝缘层、第一内侧凹槽、第二内侧凹槽以及外侧凹槽之下，使得第一内侧凹槽、第二内侧凹槽以及外侧凹槽分别由绝缘基材定义出第一内侧空间、第二内侧空间以及外侧空间，其中绝缘基材具有位于第一内侧空间、第二内侧空间或外侧空间之下的至少一孔洞；移除牺牲层，形成连通空间，其中连通空间连通第一内侧空间以及外侧空间，以及连通第二内侧空间以及外侧空间；从孔洞填充液态金属复合物至第一内侧空间、第二内侧空间、外侧空间以及连通空间之中；以及设置金属柱于孔洞中。
10、在一些实施例中，设置压力感测组于第一绝缘层中的步骤包含设置压力感测器于线路图案中的第一线路图案之下，并电性连接第一线路图案。
11、在一些实施例中，设置导电通孔贯穿第一绝缘层，并与线路基板电性连接的步骤包含设置导电通孔于线路图案中的第二线路图案之下，并电性连接第二线路图案。
12、在一些实施例中，设置绝缘基材于第三绝缘层、第一内侧凹槽、第二内侧凹槽以及外侧凹槽之下的步骤包含孔洞连通外侧空间。
13、在一些实施例中，制造压力感测装置的方法还包含设置第一发光二极管电性连接导电通孔，以及设置第二发光二极管电性连接压力感测组。
14、本申请的实施例提供压力感测装置及其制造方法。经由压力感测装置、压力感测组、第一容置空间以及第二容置空间的搭配设置，可简化压力感测装置的内部元件以及提升散热效能。
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1.一种压力感测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述第一外侧空间的顶表面低于所述第一内侧空间的顶表面，以及所述第二外侧空间的顶表面低于所述第二内侧空间的顶表面。
3.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述第一外侧空间的宽度大于所述第一内侧空间的宽度，以及所述第二外侧空间的宽度大于所述第二内侧空间的宽度。
4.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述第一内侧空间的顶表面以及所述第二内侧空间的顶表面与所述压力感测组的底表面齐平，所述第一外侧空间的顶表面以及所述第二外侧空间的顶表面与所述导电通孔的底表面齐平。
5.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述液态金属复合层的材料包含液态金属以及高分子聚合物。
6.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述隔离墙的底表面与所述第一连通空间的底表面以及所述第二连通空间的底表面彼此齐平。
7.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中当所述压力感测装置处于直立状态时，所述导电通孔的轴线与所述液态金属复合物的液面垂直，且所述液态金属复合物
8.根据权利要求7所述的压力感测装置，其中，还包含第一发光二极管以及第二发光二极管，其中所述第一发光二极管电性连接所述导电通孔，所述第二发光二极管电性连接所述压力感测组，
9.一种制造压力感测装置的方法，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的制造压力感测装置的方法，其中设置所述压力感测组于所述第一绝缘层中的步骤包含：
11.根据权利要求9所述的制造压力感测装置的方法，其中设置所述导电通孔贯穿所述第一绝缘层，并与所述线路基板电性连接的步骤包含：
12.根据权利要求9所述的制造压力感测装置的方法，其中设置所述绝缘基材于所述第三绝缘层、所述第一内侧凹槽、所述第二内侧凹槽以及所述外侧凹槽之下的步骤包含所述孔洞连通所述外侧空间。
13.根据权利要求9所述的制造压力感测装置的方法，其中，还包含设置第一发光二极管电性连接所述导电通孔，以及设置第二发光二极管电性连接所述压力感测组。
...【技术特征摘要】
1.一种压力感测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述第一外侧空间的顶表面低于所述第一内侧空间的顶表面，以及所述第二外侧空间的顶表面低于所述第二内侧空间的顶表面。
3.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述第一外侧空间的宽度大于所述第一内侧空间的宽度，以及所述第二外侧空间的宽度大于所述第二内侧空间的宽度。
4.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述第一内侧空间的顶表面以及所述第二内侧空间的顶表面与所述压力感测组的底表面齐平，所述第一外侧空间的顶表面以及所述第二外侧空间的顶表面与所述导电通孔的底表面齐平。
5.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述液态金属复合层的材料包含液态金属以及高分子聚合物。
6.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中所述隔离墙的底表面与所述第一连通空间的底表面以及所述第二连通空间的底表面彼此齐平。
7.根据权利要求1所述的压力感测装置，其中当所述压力感测装置处于直立状态时，所述导电通孔的轴线与所述液...
【专利技术属性】
技术研发人员：李成佳，李艳禄，杨梅，
申请(专利权)人：鹏鼎控股深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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