【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体器件检测的，具体地，本申请涉及用于一种检测装置及其对应的方法。
技术介绍
1、microled技术作为一种新型显示技术，以其高亮度、高对比度、低功耗和快速响应等优势，在高端显示领域展现出巨大的应用潜力。microled显示屏由大量微小的led晶粒组成，这些晶粒在巨量转移过程中被精确地放置到显示面板上，以实现高分辨率的图像显示。然而，随着microled晶粒尺寸的不断缩小，传统的检测技术在面对巨量转移后的发光异常问题时显得力不从心，这直接影响了显示屏的整体质量和生产效率。
2、目前，针对microled晶粒的发光强度分布检测，业界主要采用电致发光（el）和光致发光（pl）两种技术。电致发光检测通过直接连接电极，模拟实际工作状态，准确度高，但可能对晶粒造成损伤。并且，由于microled晶粒相较于led晶粒大幅减小，对应的发光电极的间距也需要随着microled晶粒尺寸的缩小而缩小，这在工艺上难以实现。此外，由于microled晶粒尺寸小，相同尺寸的晶圆内芯片数量急剧增加，电致发光检测的产能和效率难以满足microled晶粒的检测需求。故，光致发光更适合microled的检测。光致发光检测则通过光谱显微成像方法进行非接触式检测，避免了对晶粒的损伤，但仍然不能准确测量器件的发光情况。相关技术在处理microled晶粒尺寸缩小带来的检测挑战时存在局限性。
3、因此，亟需一种能够在不损伤晶粒的前提下，高效、准确地检测microled晶粒全角度是否发光异常的新技术。
技术实
1、为了解决现有技术中microled巨量转移前后发光检测技术能力受限的技术问题，本申请实施例提供了以下技术方案。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种检测装置，所述检测装置包括激发模块和接收模块；
3、其中，所述激发模块包括至少一组激发臂，用于使激发光束照射至受光区域，并且所述激发臂与所述受光区域的法线的夹角大于0°；
4、所述接收模块包括至少两组接收臂，用于接收从所述受光区域反射的光线；并且，
5、所述至少两组接收臂中的任一组接收臂的光轴被配置为与所述受光区域的法线平行，其余接收臂的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于0°并且小于90°；并且，所述激发臂以及与所述受光区域的法线的夹角大于0°的接收臂分别位于所述法线的两侧。
6、可选地，所述至少两组接收臂的数量n至少满足：
7、;
8、;
9、其中，na为所述接收臂的数值孔径；a为避免相邻接收臂的结构件发生干涉的最小预留角度。
10、可选地，所述至少两组接收臂中的任一组接收臂的光轴被配置为与所述受光区域的法线平行，其余接收臂的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于5°并且小于85°。
11、可选地，所述激发臂的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于或等于5°，并且小于或等于85°。
12、可选地，在与受光区域法线垂直的平面内，所述激发臂与所述接收臂的夹角大于或等于0°并且小于或等于90°。
13、可选地，所述检测装置还包括光源；
14、所述光源被配置于激发臂远离所述受光区域的一端。
15、可选地，所述检测装置还包括载物台；
16、沿激发光路，所述载物台被配置于激发臂的下游。
17、可选地，所述载物台还被配置为能够围绕所述受光区域的中心法线旋转。
18、可选地，所述检测装置还包括光电传感器；
19、所述光电传感器被配置于接收臂远离所述受光区域的一侧，用于将光信号转换为电信号。
20、可选地，激发臂的光轴与所述法线的夹角可调节；
21、接收臂中任一组的光轴与所述法线平行，其余接收臂的光轴与所述法线的夹角可调节。
22、另一方面，本申请还提供了一种检测方法，所述检测方法包括：
23、将样品的发光面设置于受光区域；
24、通过激发模块调制激发光束，使所述激发光束照射所述发光面；
25、通过接收模块接收所述发光面在所述激发光束照射下产生的光线，从而获得所述样品靠近接收模块一侧的第一发光信息。
26、可选地，所述检测方法还包括：
27、基于所述第一发光信息拟合所述样品远离接收模块一侧的第二发光信息。
28、可选地，所述检测方法还包括：
29、围绕所述发光面的中心法线旋转所述样品；
30、通过激发模块使激发光束照射所述发光面；
31、通过接收模块接收所述发光面在所述激发光束照射下产生的光线，从而获得旋转后的样品靠近所述接收模块一侧的第二发光信息。
32、本申请的上述技术方案，至少取得了以下有益效果：
33、本申请提供的用于检测装置及方法，包括激发模块和接收模块；其中，激发模块包括至少一组激发臂，用于使激发光束照射受光区域；所述接收模块包括至少两组接收臂，其中的一组接收臂与受光区域的法线平行，其余接收臂与受光区域的法线的夹角大于0°并且小于90°；并且接收臂与激发臂分别位于法线的两侧。将样品至于受光区域，通过激发臂调制激发光束使样品发光，接收模块中的至少两组接收臂的姿态设置使其能够接收样品表面从0°到90°的光信号，从而获取样品靠近接收模块一侧的发光信息，该发光信息至少表征了样品在不同立体角内的发光强度分布、光谱分布或主波长分布。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括激发模块（1）和接收模块（2）；
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述至少两组接收臂（21）的数量N至少满足：
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述至少两组接收臂（21）中的任一组接收臂的光轴被配置为与所述受光区域的法线平行，其余接收臂的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于5°并且小于85°。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述激发臂（11）的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于或等于5°，并且小于或等于85°。
5.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，在与受光区域法线垂直的平面内，所述激发臂（11）与所述接收臂（21）的夹角大于或等于0°并且小于或等于90°。
6.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括光源（3）；
7.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括载物台（4）；
8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述载物台（4
9.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括光电传感器（5）；
10.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，激发臂（11）的光轴与所述法线的夹角可调节；
11.一种检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：
12.根据权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
13.根据权利要求11或12所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
14.根据权利要求11或12所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
15.根据权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
16.根据权利要求11所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括激发模块（1）和接收模块（2）；
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述至少两组接收臂（21）的数量n至少满足：
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述至少两组接收臂（21）中的任一组接收臂的光轴被配置为与所述受光区域的法线平行，其余接收臂的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于5°并且小于85°。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述激发臂（11）的光轴与所述受光区域的法线的夹角大于或等于5°，并且小于或等于85°。
5.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，在与受光区域法线垂直的平面内，所述激发臂（11）与所述接收臂（21）的夹角大于或等于0°并且小于或等于90°。
6.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括光源（3）；
7.根据权利要求1至4中任一所述的检测装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，黄岚，高锦龙，
申请(专利权)人：深圳市壹倍科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。