【技术实现步骤摘要】
本申请涉及发光器件，更具体地，涉及一种蒸镀装置。
技术介绍
1、有机发光器件由于具有功耗低，厚度薄，自发光，屏幕视角大，响应速度快，可弯折等优点，逐渐成为手机主流屏幕的主要选择。
2、目前有机发光器件的制造工艺主要是真空蒸镀工艺，通过精细掩模板将红绿蓝子像素的有机材料蒸发至基板的对应位置。为了有效减少蒸镀时产生的蒸镀阴影效应，避免基板出现混色不良的情况，需要避免外部环境对蒸镀造成影响，同时保证基板与精细掩模板之间进行紧密贴合，以获得良好的蒸镀效果。
3、为了获得良好的基板蒸镀效果，通常会将基板和精细掩模板放置在真空的蒸镀腔室内，并通过在蒸镀腔室内设置蒸镀源，将精细掩模板叠放在基板上方以形成固定，再通过加热蒸镀源以使蒸镀源蒸发出有机分子以配和精细掩模板来对基板进行蒸镀。但上述蒸镀方式需要在叠放精细掩模板和基板时，通过特殊工艺或手动的方式将精细掩模板和基板进行紧密贴合，使得蒸镀前的准备工作难度大大增加，同时效率不高，难以满足有机发光器件的蒸镀要求。
技术实现思路
1、本申请实施例所要解决的技术问题是解决无法简单、有效地使精细掩模板和基板紧密贴合，以改善蒸镀阴影效应的问题。
2、为了解决上述技术问题，本申请实施例提供一种蒸镀装置，用于对发光器件的基板进行蒸镀，包括：
3、蒸镀筒；
4、蒸发源，所述蒸发源设置于所述蒸镀筒内；
5、基板架，所述基板架固定于所述蒸镀筒的内侧壁上；
6、掩模板架，所述掩模板设于所
7、驱动机构，所述驱动机构与所述蒸镀筒驱动连接，用于驱动所述蒸镀筒转动进而带动所述基板架、掩模板绕所述蒸镀筒的中心轴转动。
8、进一步的，所述基板架和所述掩模板架均沿所述蒸镀筒的轴向延伸，所述基板架有多个，多个所述基板架沿所述蒸镀筒的径向方向呈圆周均匀排列，并依次邻接形成基板架组；
9、所述掩模板架有多个，多个所述掩模板架沿所述蒸镀筒的径向方向呈圆周均匀排列，并依次邻接形成掩模板架组。
10、进一步的，所述基板架组和所述掩模板架组均沿所述蒸镀筒径向方向呈正多边形设置。
11、进一步的，所述基板架组和所述掩模板架组可拆卸连接，所述基板架组和所述掩模板架组之间具有置料间隙。
12、进一步的，所述置料间隙的高度为0.1mm-1mm。
13、进一步的，所述蒸发源为线蒸发源，所述蒸镀筒内沿中心轴方向设置有第一固定架，所述线蒸发源安装于所述第一固定架上。
14、进一步的，所述第一固定架和所述掩模板架之间的距离为500mm-2000mm。
15、进一步的，所述蒸发源包括沿所述蒸镀筒的径向方向呈圆周均匀排列，且与所述掩模板架一一对应设置的点蒸发源列，所述蒸镀筒内设置有沿所述蒸镀筒的中心轴设置的第二固定架，所述点蒸发源列安装于所述第二固定架上。
16、进一步的，所述第二固定架和对应的掩模板架之间的距离为500mm-2000mm。
17、进一步的，所述点蒸发源列包括若干个间距设置的点蒸发源，所述点蒸发源之间的间距距离为100mm-500mm。
18、与现有技术相比，本申请实施例主要有以下有益效果：
19、本实施例通过在蒸镀筒的内侧壁上设置若干个平面与蒸镀筒的横截面半径垂直的基板架，并在蒸镀筒的轴线位置设置蒸发源，同时将掩模板架设置在基板架上，使掩模板架置于基板架相对于蒸发源的一侧，再通过连接于蒸镀筒一端的驱动机构来驱动蒸镀筒进行旋转，从而使得固定在基板架和掩模板架上的基板和掩模板之间受到离心力的作用而形成紧密贴合，以提高对基板的蒸镀效果，改善基板蒸镀时产生的蒸镀阴影效应。
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1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板架和所述掩模板架均沿所述蒸镀筒的轴向延伸，所述基板架有多个，多个所述基板架沿所述蒸镀筒的径向方向呈圆周均匀排列，并依次邻接形成基板架组；
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板架组和所述掩模板架组均沿所述蒸镀筒径向方向呈正多边形设置。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板架组和所述掩模板架组可拆卸连接，所述基板架组和所述掩模板架组之间具有置料间隙。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述置料间隙的高度为0.1mm-1mm。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源为线蒸发源，所述蒸镀筒内沿中心轴方向设置有第一固定架，所述线蒸发源安装于所述第一固定架上。
7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一固定架和所述掩模板架之间的距离为500mm-2000mm。
8.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源包括沿所述蒸镀筒的
9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二固定架和对应的掩模板架之间的距离为500mm-2000mm。
10.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于，所述点蒸发源列包括若干个间距设置的点蒸发源，所述点蒸发源之间的间距距离为100mm-500mm。
...【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板架和所述掩模板架均沿所述蒸镀筒的轴向延伸，所述基板架有多个，多个所述基板架沿所述蒸镀筒的径向方向呈圆周均匀排列，并依次邻接形成基板架组；
3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板架组和所述掩模板架组均沿所述蒸镀筒径向方向呈正多边形设置。
4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述基板架组和所述掩模板架组可拆卸连接，所述基板架组和所述掩模板架组之间具有置料间隙。
5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于，所述置料间隙的高度为0.1mm-1mm。
6.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸发源为线蒸发源，所述蒸镀筒内沿中心...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄航，魏雄伟，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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