【技术实现步骤摘要】
本技术属于硼扩散设备领域，特别涉及一种新型硼扩散设备的排废装置。
技术介绍
1、太阳能电池是太阳能光伏发电系统中的重要组件，其中单晶硅太阳能电池又是目前发展最快的一种太阳能电池，而单晶硅片的pn又是单晶硅太阳能电池制作中的关键所在。然而，太阳能光伏产业的迅速发展，需要不断降低物料成本，提高太阳能电池片的转换效率，降低生产成本，提高发电量。
2、原有的硼扩散设备的排废管较短，导致在使用过程中工艺稳定性差、方阻均匀性差、随着排废管使用周期延长及方阻变化经常需要技术人员对工艺参数进行不断的调试优化；而且原排废管使用周期短，排废管使用一段时间后就会因炉口硅料方阻变化太大，即使通过优化工艺和设备的相关参数也无法满足生产需求，就需要对排废管进行更换，而完成新排废管更换工作后不能直接投入使用，需要相关技术人员调试确认无异常后才能投入使用，原排废管工艺、设备调试周期长；并且原排废管使用过程中炉口硅料方阻均匀性差，每一单工艺后的硅料方阻抽测时如方阻出现异常硅料必须返工处理，所以导致生产过程中返工率高。
技术实现思路
1、针对上述问题，本技术提出一种新型硼扩散设备的排废装置，所述硼扩散设备包括扩散炉主体、硅料放置区和泵，所述排废装置包括主排废管、第一密封套管和第二密封套管；
2、所述主排废管的一端设置在扩散炉主体内，扩散炉主体内的主排废管设置在硅料放置区的下方，且长度大于硅料放置区；
3、所述主排废管的另一端设置在扩散炉主体外，并与泵连接；
4、所述第一
5、所述第一密封套管用于主排废管与扩散炉主体之间密封连接；
6、所述第二密封套管用于主排废管与泵之间密封连接。
7、进一步地，所述扩散炉主体包括炉口和进气管；
8、所述炉口设置在扩散炉主体的一端；
9、所述进气管设置在扩散炉主体的另一端；
10、所述进气管的位置设置在硅料放置区的上方与扩散炉主体的上侧内壁之间，进气管的一端设置在扩散炉主体内，另一端设置在扩散炉主体外。
11、进一步地，所述扩散炉主体还包括炉管；
12、所述炉管与进气管设置在扩散炉主体的同一端；
13、所述炉管的位置设置在硅料放置区的下方与扩散炉主体的下侧内壁之间，炉管的一端设置在扩散炉主体内，另一端设置在扩散炉主体外。
14、进一步地，所述设置在扩散炉主体内的炉管长度大于设置在扩散炉主体内进气管的长度。
15、进一步地，所述的第一密封套管的外径与炉管的外径相同，第一密封套管与炉管通过密封连接件连接。
16、进一步地，所述的第二密封套管的外径与泵的外径相同，第二密封套管与泵通过密封连接件连接。
17、进一步地，所述第一密封套管与第二密封套管的形状相同。
18、进一步地，所述第一密封套管和第二密封套管的两端封闭，中间环空，均与主排废管固定连接。
19、进一步地，所述的第一密封套管和第二密封套管的设定间距为28-32mm。
20、进一步地，所述密封连接件包括卡箍。
21、本技术具有以下有益效果：
22、1、本技术的提供一种用于硼扩散设备的新型排废装置，通过将主排废管的长度大于硅料放置区的长度，通过延长排废管同时增加了炉管内的气体的容量，工艺反映气体的覆盖面积增大，使得硅料放置区靠近进气管的一端到硅料放置区远离进气口的一端充分反应后，充分反应后的废气通过硅料放置区远离进气口的一端的下方的主排废管排出，可以降低炉口约400片硅料出现方阻及外观异常的概率，有效提高了工艺稳定性，工艺记设备调试难度降低，调试时间缩短，正常使用周期延长。
23、2、本技术的提供一种用于硼扩散设备的新型排废装置，通过设置在主排废管上的第一密封套管与第二密封套管很好的实现了主排废管与扩散炉主体以及泵的密封连接，而且，第一密封套管与第二密封套管形状一样且内部环空，不仅节约材料，还能使得采购更加方便。
24、本技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
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1.一种新型硼扩散设备的排废装置，所述硼扩散设备包括扩散炉主体(1)、硅料放置区(14)和泵(5)，其特征在于，所述排废装置包括主排废管(2)、第一密封套管(3)和第二密封套管(4)；
2.根据权利要求1所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述扩散炉主体(1)包括炉口(11)和进气管(12)；
3.根据权利要求2所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述扩散炉主体(1)还包括炉管(13)；
4.根据权利要求3所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述设置在扩散炉主体(1)内的炉管(13)长度大于设置在扩散炉主体(1)内进气管(12)的长度。
5.根据权利要求3所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述的第一密封套管(3)的外径与炉管(13)的外径相同，第一密封套管(3)与炉管(13)通过密封连接件连接。
6.根据权利要求2所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述的第二密封套管(4)的外径与泵(5)的外径相同，第二密封套管(4)与泵(5)通过密封连接件连接。
7.根据权利要求1
8.根据权利要求7所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述第一密封套管(3)和第二密封套管(4)的两端封闭，中间环空，均与主排废管(2)固定连接。
9.根据权利要求1所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述的第一密封套管(3)和第二密封套管(4)的设定间距为28-32mm。
10.根据权利要求5或6所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述密封连接件包括卡箍。
...【技术特征摘要】
1.一种新型硼扩散设备的排废装置，所述硼扩散设备包括扩散炉主体(1)、硅料放置区(14)和泵(5)，其特征在于，所述排废装置包括主排废管(2)、第一密封套管(3)和第二密封套管(4)；
2.根据权利要求1所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述扩散炉主体(1)包括炉口(11)和进气管(12)；
3.根据权利要求2所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述扩散炉主体(1)还包括炉管(13)；
4.根据权利要求3所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述设置在扩散炉主体(1)内的炉管(13)长度大于设置在扩散炉主体(1)内进气管(12)的长度。
5.根据权利要求3所述的新型硼扩散设备的排废装置，其特征在于，所述的第一密封套管(3)的外径与炉管(13)的外径相同，第一密封套管(3)与炉管...
【专利技术属性】
技术研发人员：马广平，闫宏勃，赵亚鹏，张晓辉，李拴，王举亮，张文，
申请(专利权)人：青海黄河上游水电开发有限责任公司西宁太阳能电力分公司，
类型：新型
国别省市：
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