【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及工件平面度检测领域，具体地涉及一种3d线扫检测平面度的滑板夹具。
技术介绍
1、平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面度是限制实际平面对其理想平面变动量的一项指标，用来控制被测实际平面的形状误差，检测平面度最常用的方式是使用百分表来测量。
2、在对工件进行平面度检测的时候，尤其是对平面度进行扫描检测的时候需要工件的四个侧边具有较高的对正度，现有的工件夹具仅仅具有夹持工件的作用，难以实现对工件的四个侧边进行有效的对正夹持。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种3d线扫检测平面度的滑板夹具，该滑板夹具能够有效的将待检测工件的四周进行对正夹持，便于3d线扫检测平面度。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供了一种3d线扫检测平面度的滑板夹具，该滑板夹具包括主支撑台和设置于所述主支撑台下方的驱动机构，所述主支撑台的两端设置有第一滑套，两个所述第一滑套彼此面向的一端设置有第一对正挤压部，所述主支撑台的两侧设置对称设置有与所述主支撑台等高的侧支撑台，所述侧支撑台的两端设置有第二滑套，两个所述第二滑套彼此面向的一端设置有第二对正挤压部，所述驱动机构驱动两个所述第一滑套靠近或远离，以及驱动两个所述第二滑套靠近或远离。
3、优选地，所述第一对正挤压部与所述第二对正挤压部的结构相同；均包括固接在所述第一滑套或第二滑套上的固定板，以及设置在所述固定板内侧的活动板，所述固定板与所述活动板之间通过多个弹簧连接。
4、优选地
5、优选地，所述活动板滑动支撑在所述主支撑台或所述侧支撑台上。
6、优选地，所述活动板内插入设置有铁板，所述固定板上安装有电磁铁。
7、优选地，所述弹簧内填充有磁流变弹性体；所述活动板内插入设置有铁板，所述固定板的后侧设置有封装磁控元件，所述封装磁控元件与所述铁板之间形成有磁场回路。
8、优选地，所述封装磁控元件包括开口朝向所述铁板的u型磁芯；所述u型磁芯上缠绕设置有磁感线圈，并使得所述磁感线圈通电后所述u型磁芯的两端形成磁极。
9、优选地，所述弹簧的内部设置有多个沿其长度方向延伸的腔体，所述腔体内填充有所述磁流变弹性体。
10、优选地，所述驱动机构包括第一伺服双轴电机和第二伺服双轴电机；所述第一伺服双轴电机的两端设置有第一螺杆，所述第一滑套的外端设置有与所述第一螺杆螺纹配合的第一端板；所述第二伺服双轴电机的两端设置有第二螺杆，所述第二滑套的外端设置有与所述第二螺杆螺纹配合的第二端板。
11、优选地，所述主支撑台的两侧设置有第一导向肋；所述第一滑套的两侧设置有第一侧板，所述第一侧板的内侧设置有与所述第一导向肋滑动配合的第一导向槽；所述侧支撑台的两侧设置有第二导向肋；所述第二滑套的两侧设置有第二侧板，所述第二侧板的内侧设置有与所述第二导向肋滑动配合的第二导向槽。
12、根据上述技术方案，本专利技术中的滑板夹具能够有效的将待检测工件的四周进行对正夹持，便于3d线扫检测平面度。
13、本专利技术的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述滑板夹具包括主支撑台(1)和设置于所述主支撑台(1)下方的驱动机构，所述主支撑台(1)的两端设置有第一滑套(7)，两个所述第一滑套(7)彼此面向的一端设置有第一对正挤压部，所述主支撑台(1)的两侧设置对称设置有与所述主支撑台(1)等高的侧支撑台(17)，所述侧支撑台(17)的两端设置有第二滑套(18)，两个所述第二滑套(18)彼此面向的一端设置有第二对正挤压部，所述驱动机构驱动两个所述第一滑套(7)靠近或远离，以及驱动两个所述第二滑套(18)靠近或远离。
2.根据权利要求1所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述第一对正挤压部与所述第二对正挤压部的结构相同；
3.根据权利要求2所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述固定板(5)上设置有滑孔，所述活动板(2)的背面固接有插入所述滑孔内滑动的限位滑杆(9)。
4.根据权利要求2所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述活动板(2)滑动支撑在所述主支撑台(1)或所述侧支撑台(17)上。
5.根据权利要
6.根据权利要求5所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述弹簧(8)内填充有磁流变弹性体(27)；
7.根据权利要求6所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述封装磁控元件包括开口朝向所述铁板(3)的U型磁芯(26)；
8.根据权利要求6所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述弹簧(8)的内部设置有多个沿其长度方向延伸的腔体，所述腔体内填充有所述磁流变弹性体(27)。
9.根据权利要求1所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述驱动机构包括第一伺服双轴电机(20)和第二伺服双轴电机(21)；
10.根据权利要求1所述的3D线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述主支撑台(1)的两侧设置有第一导向肋(23)；
...【技术特征摘要】
1.一种3d线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述滑板夹具包括主支撑台(1)和设置于所述主支撑台(1)下方的驱动机构，所述主支撑台(1)的两端设置有第一滑套(7)，两个所述第一滑套(7)彼此面向的一端设置有第一对正挤压部，所述主支撑台(1)的两侧设置对称设置有与所述主支撑台(1)等高的侧支撑台(17)，所述侧支撑台(17)的两端设置有第二滑套(18)，两个所述第二滑套(18)彼此面向的一端设置有第二对正挤压部，所述驱动机构驱动两个所述第一滑套(7)靠近或远离，以及驱动两个所述第二滑套(18)靠近或远离。
2.根据权利要求1所述的3d线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述第一对正挤压部与所述第二对正挤压部的结构相同；
3.根据权利要求2所述的3d线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述固定板(5)上设置有滑孔，所述活动板(2)的背面固接有插入所述滑孔内滑动的限位滑杆(9)。
4.根据权利要求2所述的3d线扫检测平面度的滑板夹具，其特征在于，所述活动...
【专利技术属性】
技术研发人员：张艳辉，张胜祥，王乐宁，
申请(专利权)人：华孚精密科技马鞍山有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。