一种单晶硅片烘干装置制造方法及图纸

本技术公开了一种单晶硅片烘干装置，涉及单晶硅片加工技术领域；而本技术包括底板，所述底板顶端固定设有均匀分布的第一支撑架，所述第一支撑架上固定安装有输送带，所述输送带表面固定安装有均匀分布的引导块，所述底板顶端固定设有对称分布的第二支架，所述第二支架固定安装有放置箱，所述放置箱内活动安装有待烘干单晶硅片；本技术，通过设置引导块和推动板，可以有序的将待烘干单晶硅片输送进入烘干箱，保证了单晶硅片受烘干程度均匀，提高了烘干效果，通过设置第一发热管和第二发热管，可以将待烘干单晶硅片完全烘干，避免发生烘干不充分导致后续待烘干单晶硅片出现质量问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅片加工，具体为一种单晶硅片烘干装置。

技术介绍

1、单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，用于制造半导体器件、太阳能电池等，在单晶硅片加工过程中，经过磨圆完成后的硅棒需要进行切片加工，加工完成后形成单晶硅片，之后对单晶硅片进行清洗，清洗完成后的单晶硅片需要进行烘干处理，但目前的单晶硅片烘干装置存在一些问题：

2、在将单晶硅片放入烘干装置进行烘干时，由于单晶硅片在运输到烘干部位时可能排序较为混乱，造成烘干程度不同影响效果；

3、在烘干单晶硅片时，一般的烘干装置只能对其裸露部位进行烘干，无法保证单晶硅片底部的烘干，烘干不充分可能影响单晶硅片的质量；

4、针对上述问题，专利技术人提出一种单晶硅片烘干装置用于解决上述问题。

技术实现思路

1、为了解决单晶硅片烘干程度不均以及由于烘干不充分影响单晶硅片质量的问题；本技术的目的在于提供一种单晶硅片烘干装置。

2、为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种单晶硅片烘干装置，包括底板，所述底板顶端固定设有均匀分布的第一支撑架，所述第一支撑架上固定安装有输送带，所述输送带表面固定安装有均匀分布的引导块，所述底板顶端固定设有对称分布的第二支架，所述第二支架固定安装有放置箱，所述放置箱内活动安装有待烘干单晶硅片，所述放置箱底端一侧开设有与引导块相互配合使用的引导槽，所引导槽与放置箱内壁相互连通。

3、优选地，所述底板顶端固定设有第一支撑块，所述第一支撑块顶端固定安装有电机，所述电机顶端固定安装有转动板，所述转动板顶端一侧固定安装有固定套，所述固定套内转动安装有连接杆，所述固定套顶端活动安装有第一转动杆，所述连接杆转动安装在第一转动杆内，所述第一转动杆远离连接杆的一侧转动安装有第二转动杆，所述底板顶端固定设有第二支撑块，所述第二支撑块顶端固定安装有滑动套筒，所述第二转动杆滑动卡设在滑动套筒内，所述第二转动杆远离第一转动杆的一侧固定设有推动板，所述推动板与输送带顶端相接。

4、优选地，所述底板顶端远离第一支撑块的一侧固定设有对称分布的第三支架，所述第三支架顶端固定安装有烘干箱，所述烘干箱内壁顶端固定安装有均匀分布的第一发热管，所述烘干箱底端开设有均匀分布的透气孔，所述第三支架底端固定安装有风机箱，所述第三支架中部固定安装有第二发热管。

5、与现有技术相比，本技术的有益效果在于：

6、1、通过设置引导块和推动板，可以有序的将待烘干单晶硅片输送进入烘干箱，保证了单晶硅片受烘干程度均匀，提高了烘干效果；

7、2、通过设置第一发热管和第二发热管，可以将待烘干单晶硅片完全烘干，避免发生烘干不充分导致后续待烘干单晶硅片出现质量问题。

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【技术保护点】

1.一种单晶硅片烘干装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶端固定设有均匀分布的第一支撑架(11)，所述第一支撑架(11)上固定安装有输送带(2)，所述输送带(2)表面固定安装有均匀分布的引导块(21)，所述底板(1)顶端固定设有对称分布的第二支架(12)，所述第二支架(12)固定安装有放置箱(13)，所述放置箱(13)内活动安装有待烘干单晶硅片(3)，所述放置箱(13)底端一侧开设有与引导块(21)相互配合使用的引导槽(14)，所引导槽(14)与放置箱(13)内壁相互连通。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述底板(1)顶端固定设有第一支撑块(15)，所述第一支撑块(15)顶端固定安装有电机(4)，所述电机(4)顶端固定安装有转动板(41)，所述转动板(41)顶端一侧固定安装有固定套(42)，所述固定套(42)内转动安装有连接杆(43)，所述固定套(42)顶端活动安装有第一转动杆(44)，所述连接杆(43)转动安装在第一转动杆(44)内，所述第一转动杆(44)远离连接杆(43)的一侧转动安装有第二转动杆(45)。

3.如权利要求2所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述底板(1)顶端固定设有第二支撑块(16)，所述第二支撑块(16)顶端固定安装有滑动套筒(18)，所述第二转动杆(45)滑动卡设在滑动套筒(18)内，所述第二转动杆(45)远离第一转动杆(44)的一侧固定设有推动板(46)，所述推动板(46)与输送带(2)顶端相接。

4.如权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述底板(1)顶端远离第一支撑块(15)的一侧固定设有对称分布的第三支架(19)，所述第三支架(19)顶端固定安装有烘干箱(5)。

5.如权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述烘干箱(5)内壁顶端固定安装有均匀分布的第一发热管(51)，所述烘干箱(5)底端开设有均匀分布的透气孔(52)。

6.如权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述第三支架(19)底端固定安装有风机箱(54)。

7.如权利要求4所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述第三支架(19)中部固定安装有第二发热管(53)。

8.如权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述底板(1)顶端远离第一支撑块(15)的一侧固定安装有收集箱(6)。

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【技术特征摘要】

1.一种单晶硅片烘干装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶端固定设有均匀分布的第一支撑架(11)，所述第一支撑架(11)上固定安装有输送带(2)，所述输送带(2)表面固定安装有均匀分布的引导块(21)，所述底板(1)顶端固定设有对称分布的第二支架(12)，所述第二支架(12)固定安装有放置箱(13)，所述放置箱(13)内活动安装有待烘干单晶硅片(3)，所述放置箱(13)底端一侧开设有与引导块(21)相互配合使用的引导槽(14)，所引导槽(14)与放置箱(13)内壁相互连通。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于，所述底板(1)顶端固定设有第一支撑块(15)，所述第一支撑块(15)顶端固定安装有电机(4)，所述电机(4)顶端固定安装有转动板(41)，所述转动板(41)顶端一侧固定安装有固定套(42)，所述固定套(42)内转动安装有连接杆(43)，所述固定套(42)顶端活动安装有第一转动杆(44)，所述连接杆(43)转动安装在第一转动杆(44)内，所述第一转动杆(44)远离连接杆(43)的一侧转动安装有第二转动杆(45)。

3.如权利要求2所述的一种单晶硅片烘干装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：何其金，方艺霖，何飞，张靖，徐小萍，
申请(专利权)人：扬州鹏飞能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：