【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及硅片加工，特别涉及一种硅片自动化清洗装置及其控制系统。
技术介绍
1、中国光伏市场装机量需求增长迅猛，而随着人工成本不断攀升，导致太阳能厂商对自动化设备需求提升，以降低生产成本、提高产品良率。由于硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重沾污，目前对硅片进行清洗时，要保证清洗效果，会进行很多操作，反复夹取易损坏硅片。此外，由于硅片表面沾污类型不同(如有机杂质沾污、颗粒沾污、金属离子沾污)，为了提高清洗效果，需要对不同沾污类型采用不同的清洗方式。
2、基于此，有必要提供一种硅片自动化清洗装置及其控制系统，以提高清洗效果、降低硅片损伤概率、提高产品良品率并降低生产成本。
技术实现思路
1、本说明书一个或多个实施例提供一种自动化清洗装置控制系统，所述控制系统包括硅片自动化清洗装置与处理器，所述硅片自动化清洗装置包括自动配液模块、喷淋模块、清洗腔体、废液回收模块、旋转转架、动力模块、图像采集模块；所述自动喷液模块、所述喷淋模块、所述废液回收模块、所述动力模块、所述图像采集模块均与所述处理器通信连接；所述自动配液模块包括用于盛装目标试剂的混合腔体，所述自动配液模块被配置为基于预设配液参数进行配液；所述喷淋模块包括多个喷淋头、多个连通管道以及多个水泵，所述喷淋头通过所述连通管道与所述混合腔体连通，所述水泵设置于所述连通管道与所述混合腔体的连接处，所述水泵被配置为控制所述喷淋头的喷淋速度；所述废液回收模块包括传感元件，所述传感元件被配置为采集废液检测数据。所述处理器被配置为
2、本说明书一个或多个实施例提供一种自动化清洗装置，所述装置包括自动配液模块、喷淋模块、清洗腔体、废液回收模块、旋转转架、动力模块、图像采集模块；所述自动配液模块包括用于盛装目标试剂的混合腔体，所述自动配液模块被配置为基于预设配液参数进行配液，所述预设配液参数包括多个除污子步骤以及每个所述除污子步骤所需的除污试剂类型；所述喷淋模块包括多个喷淋头、多个连通管道以及多个水泵，所述喷淋头通过所述连通管道与所述混合腔体连通，所述水泵设置于所述连通管道与所述混合腔体的连接处，所述水泵被配置为控制所述喷淋头的喷淋速度；所述废液回收模块包括传感元件，所述传感元件被配置为采集废液检测数据，所述传感元件包括离子传感器与ph传感器中的至少一种。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种硅片自动化清洗装置控制系统，其特征在于，包括硅片自动化清洗装置与处理器，所述硅片自动化清洗装置包括自动配液模块、喷淋模块、清洗腔体、废液回收模块、旋转转架、动力模块、图像采集模块；所述自动喷液模块、所述喷淋模块、所述废液回收模块、所述动力模块、所述图像采集模块均与所述处理器通信连接；
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述连通管道为弹性管道；所述喷淋模块还包括多个移动组件，所述移动组件与所述喷淋头连接，所述移动组件被配置为调整所述喷淋头的位置。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述目标喷淋参数还包括目标喷淋位置，所述喷淋控制指令包括第一控制指令与第二控制指令，所述处理器进一步被配置为：
4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述处理器进一步被配置为：
5.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述处理器还被配置为：
6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述硅片自动化清洗装置还包括烘干模块，所述烘干模块包括气体加热组件与多个气体输送通道，所述多个气体输送通道均布于所述清洗腔体内；
7.
8.一种硅片自动化清洗装置，其特征在于，包括自动配液模块、喷淋模块、清洗腔体、废液回收模块、旋转转架、动力模块、图像采集模块；
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述连通管道为弹性管道；所述喷淋模块还包括多个移动组件，所述移动组件与所述喷淋头连接，所述移动组件被配置为调整所述喷淋头的位置。
10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括烘干模块，所述烘干模块包括气体加热组件与多个气体输送通道，所述多个气体输送通道均布于所述清洗腔体内。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片自动化清洗装置控制系统，其特征在于，包括硅片自动化清洗装置与处理器，所述硅片自动化清洗装置包括自动配液模块、喷淋模块、清洗腔体、废液回收模块、旋转转架、动力模块、图像采集模块；所述自动喷液模块、所述喷淋模块、所述废液回收模块、所述动力模块、所述图像采集模块均与所述处理器通信连接；
2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述连通管道为弹性管道；所述喷淋模块还包括多个移动组件，所述移动组件与所述喷淋头连接，所述移动组件被配置为调整所述喷淋头的位置。
3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述目标喷淋参数还包括目标喷淋位置，所述喷淋控制指令包括第一控制指令与第二控制指令，所述处理器进一步被配置为：
4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述处理器进一步被配置为：
5.如权利要求3所述的系统，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：张淋，袁成，
申请(专利权)人：苏州普伊特自动化系统有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。