【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及离子束抛光设备，尤其涉及一种基于大气环境机械臂的离子束抛光机。
技术介绍
1、离子束抛光，是一种运用物理碰撞方法进行抛光的技术，其利用中性离子束流轰击工件表面，去除工件表面一定区域的原子或分子，从而实现对工件表面的高精度修正，达到超光滑抛光的目的。离子束抛光设备比较复杂，主要由三部分组成：真空系统、离子源、离子源运动系统。真空系统为离子束抛光提供一定真空度工作环境。离子源为离子束抛光提供中性离子束流。离子源运动系统是由五轴数控系统完成，以保证离子束能轰击到工件表面的任何部件。
2、离子束抛光过程为：先将工件表面预抛光到一定的精度并对面型精度进行检测，然后以工件表面面型精度检测数据和材料去除函数为基础，计算出离子束驻留时间矩阵，并备转换成一个由多轴系统组成对应的复杂定位系统的局部速度图，最后通过数控机床控制离子束按照速度图移动来实现。然而数控机床往往需要根据加工的工件设计数控机床运动系统，通用性不强，成本较高。数控机床对操作人员的素质要求较高，对维修人员的技术要求更高。具备6个自由度的机械臂普遍具备6个自由度在笛卡尔空间中能轻松实现x,y,z,a,b,c六维刚体运动，在执行不同的作业任务时具有较好的通用性和灵活性。因此，利用大气环境机械臂代替数控机床实现离子源运动可有效解决数控机床的上述缺点。但离子束抛光所要求的真空环境对放置在真空系统中的大气环境机械臂提出了严格要求，一方面机械臂能够在真空环境下使用而不降低使用性能，另一方面是机械臂所用的材料不能破坏或者降低离子束抛光环境的真空度。因此，相较于一般机械臂
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种基于大气环境机械臂的离子束抛光机，以解决现有的离子束抛光机在运送工件时成本较高的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术通过如下的技术方案来实现：
3、本申请提供一种基于大气环境机械臂的离子束抛光机，包括：真空室、设置于所述真空室内的大气环境机械臂、波纹管，所述波纹管套设于所述大气环境机械臂的外壁包裹住所述大气环境机械臂以将所述大气环境机械臂与所述真空室内的真空环境隔离。
4、可选地，所述真空室的外壁设置有第一法兰座，所述大气环境机械臂的一端固定于所述第一法兰座上，且所述真空室的侧壁设置有孔口以供所述大气环境机械臂的另一端通过所述孔口伸入到所述真空室内。
5、可选地，所述真空室的内侧壁设置有第二法兰座，所述第二法兰座上设置有第一法兰盘，所述大气环境机械臂的另一端设置有第三法兰座，所述波纹管的第一端焊接在所述第一法兰盘上，所述波纹管的第二端焊接有第二法兰盘，所述第二法兰盘与所述第三法兰座连接。
6、可选地，所述第二法兰座与所述第一法兰盘之间设置有第一密封圈，所述第二法兰盘与所述第三法兰座之间设置有第二密封圈。
7、可选地，还包括离子源，所述离子源设置于所述第二法兰盘上。
8、可选地，还包括离子源、设置于所述大气环境机械臂末端的多维力传感器、力控装置以及夹爪，所述真空室包括主真空室和副真空室，所述离子源和所述大气环境机械臂均设置于所述主真空室内，且所述离子源发射的离子束流的方向为朝向所述副真空室的方向，所述力控装置的一端与所述多维力传感器连接，所述力控装置的另一端与所述夹爪连接。
9、可选地，还包括工件库，所述工件库设置于所述副真空室内用于放置所述夹爪夹持的工件，所述工件库包括n个工位，n为正整数。
10、可选地，所述副真空室的数量为m，m为正整数，在m大于或者等于2的情况下，各所述副真空室均与所述主真空室通过插板阀相连接，且，m个所述副真空室中均设置有抽气装置。
11、可选地，所述波纹管的弯曲角度为任意自由角度。
12、可选地，所述大气环境机械臂的自由度为p，所述p的取值根据工件或者加工方式确定。
13、有益效果：
14、本专利技术提供的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，通过波纹管套设于所述大气环境机械臂的外壁包裹住所述大气环境机械臂以将所述大气环境机械臂与所述真空室内的真空环境隔离，这样，利用大气环境机械臂代替真空机械臂实现离子源或者工件运动，可以降低成本，提升灵活性能。
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1.一种基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，包括：真空室(1)、设置于所述真空室(1)内的大气环境机械臂(2)、波纹管(4)，所述波纹管(4)套设于所述大气环境机械臂(2)的外壁包裹住所述大气环境机械臂(2)以将所述大气环境机械臂(2)与所述真空室(1)内的真空环境隔离。
2.根据权利要求1所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述真空室(1)的外壁设置有第一法兰座(41)，所述大气环境机械臂(2)的一端固定于所述第一法兰座(41)11上，且所述真空室(1)的侧壁设置有孔口(8)以供所述大气环境机械臂(2)的另一端通过所述孔口(8)伸入到所述真空室(1)内，所述孔口(8)处设置有第一密封圈。
3.根据权利要求2所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述真空室(1)的内侧壁设置有第二法兰座(42)，所述第二法兰座(42)上设置有第一法兰盘(44)，所述大气环境机械臂(2)的另一端设置有第三法兰座(43)，所述波纹管(4)的第一端焊接在所述第一法兰盘(44)上，所述波纹管(4)的第二端焊接有第二法兰盘(45)，所述第二法兰
4.根据权利要求3所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述第二法兰座(42)与所述第一法兰盘(44)之间设置有第二密封圈(46)，所述第二法兰盘(45)与所述第三法兰座(43)之间设置有第三密封圈(47)。
5.根据权利要求4所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，还包括离子源(3)，所述离子源(3)设置于所述第二法兰盘(45)上。
6.根据权利要求1所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，还包括离子源(3)、设置于所述大气环境机械臂(2)末端的多维力传感器(7)、力控装置(71)以及夹爪(72)，所述真空室(1)包括主真空室(11)和副真空室(12)，所述离子源(3)和所述大气环境机械臂(2)均设置于所述主真空室(11)内，且所述离子源(3)发射的离子束(30)的方向为朝向所述副真空室(12)的方向，所述力控装置(71)的一端与所述多维力传感器(7)连接，所述力控装置(71)的另一端与所述夹爪(72)连接。
7.根据权利要求6所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，还包括工件库(6)，所述工件库(6)设置于所述副真空室(12)内用于放置所述夹爪(72)夹持的工件，所述工件库(6)包括N个工位(61)，N为正整数。
8.根据权利要求6所述的基于大气环境机械臂运动工件的离子束抛光机，其特征在于，所述副真空室(12)的数量为M，M为正整数，在M大于或者等于2的情况下，各所述副真空室(12)均与所述主真空室(11)通过插板阀(13)相连接，且，M个所述副真空室(12)中均设置有抽气装置。
9.根据权利要求1所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述波纹管(4)的弯曲角度为任意自由角度。
10.根据权利要求1所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述大气环境机械臂(2)的自由度为P，所述P的取值根据工件或者加工方式确定。
...【技术特征摘要】
1.一种基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，包括：真空室(1)、设置于所述真空室(1)内的大气环境机械臂(2)、波纹管(4)，所述波纹管(4)套设于所述大气环境机械臂(2)的外壁包裹住所述大气环境机械臂(2)以将所述大气环境机械臂(2)与所述真空室(1)内的真空环境隔离。
2.根据权利要求1所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述真空室(1)的外壁设置有第一法兰座(41)，所述大气环境机械臂(2)的一端固定于所述第一法兰座(41)11上，且所述真空室(1)的侧壁设置有孔口(8)以供所述大气环境机械臂(2)的另一端通过所述孔口(8)伸入到所述真空室(1)内，所述孔口(8)处设置有第一密封圈。
3.根据权利要求2所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述真空室(1)的内侧壁设置有第二法兰座(42)，所述第二法兰座(42)上设置有第一法兰盘(44)，所述大气环境机械臂(2)的另一端设置有第三法兰座(43)，所述波纹管(4)的第一端焊接在所述第一法兰盘(44)上，所述波纹管(4)的第二端焊接有第二法兰盘(45)，所述第二法兰盘(45)与所述第三法兰座(43)连接。
4.根据权利要求3所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，所述第二法兰座(42)与所述第一法兰盘(44)之间设置有第二密封圈(46)，所述第二法兰盘(45)与所述第三法兰座(43)之间设置有第三密封圈(47)。
5.根据权利要求4所述的基于大气环境机械臂的离子束抛光机，其特征在于，还包括离子源(3...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：长沙埃福思科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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