回收涂覆液的设备和方法技术

本发明专利技术公开一种回收涂覆液的设备和方法，其能够使最终获得的回收的涂覆液和最初提供的新涂覆液之间的特性差异减至最小，所述设备包括：回收罐，与涂覆设备连接，所述回收罐用于收集涂覆设备的涂覆废料，通过将收集到的涂覆废料与稀释溶剂和新涂覆液混合来生产回收的涂覆液，并且向涂覆设备供应回收的涂覆液；溶剂罐，与回收罐连接，所述溶剂罐用于向回收罐供应稀释溶剂，以便调节收集到回收罐中的涂覆废料的粘度；以及新溶液罐，与回收罐连接，所述新溶液罐用于向回收罐供应新涂覆液。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种回收涂4隻液的i殳备和方法，更具体地，涉及一种^f吏最终 获得的回收的涂覆液和最初供应的新涂覆液之间的特性差异减至最小的方 法，该方法通过利用与涂覆设备以管线方式连接的回收设备回收涂覆废料， 而不是将衬底流出的涂覆废料运输到位于外部的生产线中。
技术介绍
制造半导体器件或诸如液晶显示器(LCD)的显示器件的方法必须需要 在衬底上沉积由各种材料制成的层的过程。沉积由各种材料制成的层的过程 中的一种是通过喷嘴排出的涂覆液在衬底上涂上预定材料的层的涂覆过程。涂覆过程主要可分为旋转涂覆过程及非旋转或狭缝涂覆过程。对于旋转 涂覆过程来说，涂覆液排^C到旋转的衬底上，以便排出的涂覆液均匀地覆盖 在衬底的整个表面上，由此在衬底上形成预定的材料层。对于非旋转或狭缝 涂覆过程来说，通过移动喷嘴或衬底而不》走转^底，l吏涂覆液均匀地涂在衬 底的整个表面上，由此在衬底上形成预定的材料层。为了在涂覆过程期间在衬底的整个表面上获得均匀的涂层，在进行涂覆 过程时，必须通过喷嘴排出足量的涂覆液。在这种情况下，涂覆液可能未沉 积在衬底上，而是从衬底流出而浪费了。尤其是，对于通过利用旋转的村底 进行的旋转涂覆过程来说，可能会浪费相当多的涂覆液。为了提高大量生产的经济效益，重要的是降低材料成本。由于涂覆液的 流失导致材料成本的增加，因此提出了回收乂人衬底流出的涂覆液的方法。尤 其是，由于光刻胶(PR)较贵，因此急需用作形成微电路图案的掩膜的光刻 月交的回收方法。通过下述步骤进行现有技术的回收涂覆液的方法，收集从衬底流出的涂 覆液(在下文中，称作涂覆废料)，以及将涂覆废料传输到外部加工装 置。在这种情况下，由于必须将涂覆废料传输到外部加工装置，因此回收涂 覆废料之前的涂覆废料的延迟时间长，使得涂^_废料的质量特性可能由于长延迟时间而改变。为了克服长延迟时间的问题，提出了一种安装回收设备的新方法，该方 法不需将涂覆废料运输到外部的加工装置中，所述回收设备与涂覆设备以管 线方式连接。提供与涂覆设备以管线方式连接的回收设备的这种结构能够减 ,J 、延迟时间，因此可以解决关于涂覆废料质量特性改变的问题。然而，即使现有技术的涂覆设备与回收设备以管线方式连接，最初提供 的新涂覆液和通过回收过程最后获得的回收的涂覆液之间也会存在特性差 异。在这种情况下，如果通过利用回收的涂覆液进行涂覆过程，可能会产生倒锥图案或CD ( Critical Dimension,最小线宽)偏差。
技术实现思路
因此，本专利技术意在提供一种生产回收的涂覆液的设备和方法，基本解决 了由于现有技术的限制和缺点导致的一个或多个问题。本专利技术的 一个方面是提供一种生产回收的涂覆液的设备和方法，其能够 使最终获得的回收的涂覆液和最初供应的新涂覆液之间的特性差异减至最 小。为了达到这些和其它优点并与本专利技术的目的相一致，如在此具体和概括 描述的， 一种回收涂覆液的设备包括回收罐，与涂覆设备连接，所述回收 罐用于收集涂覆设备的涂覆废料，通过将收集到的涂覆废料与稀释溶剂和新 涂覆液混合来生产回收的涂覆液，并且向涂覆设备供应回收的涂覆液；溶剂 罐，与回收罐连接，所述溶剂罐用于向回收罐供应稀释溶剂，以便调节收集 到回收罐中的涂覆废料的粘度；以及新溶液罐，与回收罐连接，所述新溶液 耀用于向回收罐供应新涂^隻液。本专利技术的另一方面是提供一种回收涂覆液的方法，包括将涂覆设备的 涂覆废料收集到回收罐中；通过向回收罐供应新涂覆液，同时通过向回收罐 供应稀释溶剂以调节涂覆废料的粘度，生产回收的涂覆液；以及将回收的涂覆液从回收罐供应到涂覆设备中，以便向装载在涂覆设备上的衬底排出回收 的涂覆液。附图说明 所包括的附图用于提供本专利技术的进一步理解，且包括在本申请中构成本申请的一部分，其示出了本专利技术的实施例，并与说明书一起用来解释本专利技术 的原理。在附图中'.图1是图示根据本专利技术第一实施例的回收涂覆液的设备的简要布局图； 图2是图示根据本专利技术第二实施例的回收涂覆液的设备的简要布局以及图3A和图3B是图示在根据本专利技术的设备中第一管道和回收罐之间的连 接状态的视图。具体实施例方式下面将详细描述本专利技术的优选实施例，其实例在附图中示出。在任何可 能的情况下，所有附图中采用相同的附图标记表示相同或相似的部件。在下文中，将参照附图描述根据本专利技术的。 第一实施例图1是图示根据本专利技术第一实施例的回收涂覆液的设备的简要布局图。如图1所示，根据本专利技术第一实施例的回收涂^f液的设备包括回收罐 200 、'溶剂罐300和新溶液罐400 。回收罐200通过利用第一管道110与涂覆设备1连接，以便涂覆设备1 的涂覆废料通过第一管道110被收集到回收罐200中。在这种情况下，涂覆 设备1可以是旋转涂覆机或狭缝涂覆机。回收罐200通过利用第二管道130与溶剂罐300连接，由此，稀释溶剂 通过第二管道130从溶剂罐300供应到回收罐200。并且，回收罐200通过 利用第三管道140与新溶液罐400连接，以^更新涂; 隻液通过第三管道140从 新溶液罐400供应到回收罐200。在回收罐200中设置有混合构件220,其中， 混合构件220均匀地混合涂覆废料、稀释溶剂和新涂覆液。回收罐200通过利用第四管道160与涂覆设备1连接。通过第四管道160， 回收的涂覆液被供应到涂覆设备1中。相应地，回收罐200收集涂覆设备1的涂覆废料；回收罐200通过用稀 释溶剂和收集的涂覆废料的混合物调节涂覆废料的粘度，并且通过同时将新 涂覆液与涂覆废料混合，生产回收的涂覆液；以及回收罐200向涂覆设备1 供应回收的涂覆液。溶剂罐300向回收罐200供应稀释溶剂，以便调节收集到回收罐200中的涂覆废料的粘度。溶剂罐300通过第二管道130向回收罐200供应稀释溶 剂。溶剂罐300含有与新涂覆液中所含的溶剂相同的溶剂。因此，涂覆废料 所含有的溶剂的成分与新涂覆液的溶剂成分相同，所述涂覆废料的粘度由从 溶剂罐300供应来的稀释溶剂调节。因而，最终获得的回收的涂覆液的成分 与新涂^隻液的成分相同。新溶液罐400向回收罐200供应新涂^隻液，以便在回收罐200中混合涂 覆废料和新涂覆液，由此生产回收的涂覆液。新溶液罐400通过第三管道140 向回收罐200供应新涂覆液。因为包含在新涂4隻液中的固相成分和光引发剂 可能由于涂覆过程而分散，因此在涂覆过程之后获得的涂覆废料中所包含的 固相成分和光引发剂的成分可能不同于新涂覆液中所包含的固相成分和光引 发剂的成分。为此，通过将涂覆废料与新涂覆液混合来生产回收的涂覆液。 就是说，回收的涂覆液的成分与新涂覆液最初的成分4艮相似。如上述所说明的，图1图示了一个涂覆设备1与一个回收罐200连接。 但是，不限于这种结构。例如，多个回收罐200可与一个涂覆设备1连4妄。 并且，图1图示了一个回收罐200与一个溶剂罐300和一个新;容液罐400连 接。但是， 一个回收罐200可与多个溶剂罐300和多个新溶液罐400连接。在下文中，将如下描述根据本专利技术第一实施例的回收涂覆液的设备的其 它结构的特性。首先，第一管道IIO、第二管道130和第三管道140伸入回收罐200的 内部，以由此使回收罐200中产生的泡沫减至最少。如图3A所示，假设第一管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种回收涂覆液的设备，包括：　回收罐，与涂覆设备连接，所述回收罐用于收集所述涂覆设备的涂覆废料，通过将所述收集到的涂覆废料与稀释溶剂和新涂覆液混合来生产回收的涂覆液，并且向所述涂覆设备供应所述回收的涂覆液；　溶剂罐，与所述回收罐 连接，所述溶剂罐用于向所述回收罐供应所述稀释溶剂，以便调节在所述回收罐中收集的所述涂覆废料的粘度；以及　新溶液罐，与所述回收罐连接，所述新溶液罐用于向所述回收罐供应所述新涂覆液。

【技术特征摘要】
KR 2008-9-19 10-2008-00919391.一种回收涂覆液的设备，包括回收罐，与涂覆设备连接，所述回收罐用于收集所述涂覆设备的涂覆废料，通过将所述收集到的涂覆废料与稀释溶剂和新涂覆液混合来生产回收的涂覆液，并且向所述涂覆设备供应所述回收的涂覆液；溶剂罐，与所述回收罐连接，所述溶剂罐用于向所述回收罐供应所述稀释溶剂，以便调节在所述回收罐中收集的所述涂覆废料的粘度；以及新溶液罐，与所述回收罐连接，所述新溶液罐用于向所述回收罐供应所述新涂覆液。2. 根据权利要求1所述的设备，进一步包括位于所述涂覆设备和所述回 收罐之间的收集罐，所述收集罐用于收集所述涂覆设备的所述涂覆废料，并 且向所述回收罐供应所述收集到的涂覆废料。3. 根据权利要求2所述的设备，其中，所述收集罐包括真空挥发器，用 以使包含在所述涂覆废料中的泡沫和洗涤剂挥发。4. 根据权利要求1至3中任一项所述的设备，其中，所述回收罐设置有 温度传感器，并且各个所述回收罐和新溶液罐都设置有恒温控制器。5. 根据权利要求1至3中任一项所述的设备，其中，所述回收罐设置有 粘度计，并且所述回收罐进一步包括辅助粘度计，用以通过检查设置在所述 回收罐中的所述粘度计的精确度来提高粘度测量的可靠性，其中，辅助粘度计测量所述回收罐中收集的所述涂覆废料的粘度，并且 测量供应到所述回收罐的所述新涂^隻液的粘度。6. 根据权利要求1至3中任一项所述的设备，其中，所述回收罐设置有 压力测量器和压力控制器。7. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述涂覆设备通过第一管道与所 述回收罐连接；所述回收罐通过第二管道与所述溶剂罐连接；以及所述回收 罐通过第三管道与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：具东孝，朴斗镇，
申请(专利权)人：TSTI技术株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]