【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本说明书涉及制造设备的维护过程。更具体而言，其涉及用于校验一或多个维护操作以用于改善制造设备的维护质量的系统及方法。
技术介绍
1、许多类型的处理系统中使用处理设备。处理设备的实例包括蚀刻腔室、沉积腔室、退火腔室、注入腔室及类似腔室。通常，将诸如半导体晶片的基板放置于处理腔室中，并且设定且维持处理腔室中的条件，以处理基板。一些处理操作可利用不限于腔室的设备，诸如抛光处理。基板的处理(例如许多晶片、许多小时的处理时间等)对处理设备(亦称为制造设备)的部件造成磨损。通常以预定的时间间隔使制造设备(诸如腔室)离线，以执行预防性维护。维护过程可包括许多维护阶段及/或操作。当预防性维护的执行令人满意时，制造设备可按时回到生产(例如用于处理基板)。如果预防性维护的执行不令人不满意，则可能出现一段无益的计划外的停机时间。
技术实现思路
1、为提供对本揭示案的一些方面的基本理解，下文简要地概述本揭示案。本概述并非对本揭示案的广泛概述。本概述将不欲指明本揭示案的重要或关键要素，亦不描述本揭示案的特定实施方式的任何范围或权利要求的任何范围。其唯一目的是以简单的形式提出本揭示案的一些概念，作为对其后所提供的更详细描述的开头。
2、在本揭示案的一个方面中，描述一种系统，该系统包含服务器及制造设备，其中该系统被配置为启动制造设备的维护过程。维护过程包括多个维护阶段。系统进一步被配置为向用户装置提供指令，该指令指示将执行第一维护阶段。系统进一步被配置为接收由执行第一维护阶段得到的数据。系统进一步被
3、在本揭示案的另一方面中，一种方法包括由服务器启动制造设备的维护过程。维护过程包括与制造设备的多个部件相关的多个维护阶段。该方法进一步包括向用户装置提供指令，该指令指示将执行维护过程的第一阶段。该方法进一步包括接收由执行第一维护阶段得到的数据。该方法进一步包括确定第一维护阶段的执行不令人满意。该方法进一步包括引起校正动作的执行。
4、在本揭示案的另一方面中，一种方法包括由用户装置接收指令，该指令指示将执行维护过程的第一维护阶段。维护过程包括许多维护阶段。维护过程与制造设备相关。该方法进一步包括向服务器提供由执行第一维护阶段得到的数据。该方法进一步包括自服务器接收校验数据，该校验数据指示第一维护阶段的执行不令人满意。该方法进一步包括鉴于校验数据而引起校正动作的执行。
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1.一种系统，所述系统包括服务器及制造设备，其中所述系统被配置为：
2.如权利要求1所述的系统，进一步包括用户装置，其中所述用户装置被配置为：
3.如权利要求1所述的系统，其中所述系统进一步被配置为：
4.如权利要求1所述的系统，其中所述系统进一步被配置为：
5.如权利要求1所述的系统，其中由执行所述第一维护阶段得到的所述第一数据包括以下中的至少一者：
6.如权利要求1所述的系统，其中确定所述第一维护阶段的所述第一次执行不令人满意包括确定与所述第一数据相关的至少一个值不满足至少一个临界标准。
7.如权利要求1所述的系统，其中确定所述第一维护阶段的所述第一次执行不令人满意包括：
8.如权利要求1所述的系统，其中确定所述第一维护阶段的所述第一次执行不令人满意包括：
9.如权利要求1所述的系统，其中所述系统进一步被配置为分配描述维护过程的维护阶段或维护过程中的至少一者的成功的分数。
10.如权利要求9所述的系统，其中所述分数指示所述维护阶段或维护过程的执行使制造设备满足一或多个制
11.一种方法，所述方法包含：
12.如权利要求11所述的方法，其中所述校正动作包括以下中的至少一者：
13.如权利要求11所述的方法，进一步包含：
14.如权利要求11所述的方法，进一步包含：
15.如权利要求11所述的方法，其中由执行所述第一维护阶段得到的所述第一数据包括以下中的至少一者：
16.一种非暂时性机器可读储存介质，所述非暂时性机器可读储存介质储存在执行时使处理装置执行操作的指令，所述操作包含：
17.如权利要求16所述的非暂时性机器可读储存介质，其中所述校正动作包括以下中的至少一者：
18.如权利要求16所述的非暂时性机器可读储存介质，进一步包含：
19.如权利要求16所述的非暂时性机器可读储存介质，其中由第一次执行所述第一维护阶段得到的所述第一数据包括以下中的至少一者：
20.如权利要求16所述的非暂时性机器可读储存介质，进一步包含：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种系统，所述系统包括服务器及制造设备，其中所述系统被配置为：
2.如权利要求1所述的系统，进一步包括用户装置，其中所述用户装置被配置为：
3.如权利要求1所述的系统，其中所述系统进一步被配置为：
4.如权利要求1所述的系统，其中所述系统进一步被配置为：
5.如权利要求1所述的系统，其中由执行所述第一维护阶段得到的所述第一数据包括以下中的至少一者：
6.如权利要求1所述的系统，其中确定所述第一维护阶段的所述第一次执行不令人满意包括确定与所述第一数据相关的至少一个值不满足至少一个临界标准。
7.如权利要求1所述的系统，其中确定所述第一维护阶段的所述第一次执行不令人满意包括：
8.如权利要求1所述的系统，其中确定所述第一维护阶段的所述第一次执行不令人满意包括：
9.如权利要求1所述的系统，其中所述系统进一步被配置为分配描述维护过程的维护阶段或维护过程中的至少一者的成功的分数。
10.如权利要求9所述的系统，其中所述分数指示所述维护阶...
【专利技术属性】
技术研发人员：塔尔潘·图沙尔·迪西特，吉安·普拉卡什，阿奇尤特·马达夫·迪瓦卡尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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