【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电加热棒式废气处理设备领域，具体为一种半导体废气处理设备一体式加热棒。
技术介绍
1、半导体废气处理设备的运行过程中，废气首先需要经过高温处理(电加热、燃烧式、等离子式)，再经过排水装置连接后端管道装置(冷却、过滤、吸附等作用)，最后排出设备。
2、现有的电加热棒式废气处理设备有如下缺陷：
3、现有电加热棒式废气处理设备的加热棒测试形式为：将温度传感器安装在加热棒外侧的不锈钢套管中，没有办法做到紧密贴合，使检测的温度有严重的滞后性，不准确性，造成加热棒温度波动大，影响废气处理效果，以及减少加热棒使用寿命。
技术实现思路
1、(一)解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本技术提供了一种半导体废气处理设备一体式加热棒，解决了现有温度传感器安装在加热棒外侧的不锈钢套管中，没有办法做到紧密贴合，使检测的温度有严重的滞后性，不准确性，造成加热棒温度波动大，影响废气处理效果，以及减少加热棒使用寿命的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种半导体废气处理设备一体式加热棒，包括装置本体，所述装置本体包括加热棒、温度传感器、转动固定块和顶部电源连接器，所述温度传感器安装在加热棒顶部，所述转动固定块安装在温度传感器顶部，所述顶部电源连接器安装在转动固定块顶部；
5、优选的，所述温度传感器底部设有连接块，所述连接块位于加热棒内部且与加热棒相连接，所述温度传感器与加热棒连接处设有
6、优选的，所述转动固定块左右两端呈弧度状结构，所述转动固定块顶部设有安装环，所述安装环为贯通式结构。
7、优选的，所述顶部电源连接器呈圆柱状结构，所述顶部电源连接器顶部设有转动盖，所述转动盖外侧设有若干组呈环状等距方式分布的防滑块，所述转动盖顶部设有连接线，所述顶部电源连接器底部通过线路与温度传感器相连接。
8、(三)有益效果
9、本技术提供了一种半导体废气处理设备一体式加热棒。具备以下有益效果：
10、该种半导体废气处理设备一体式加热棒可以有效地将感温传感器加工在加热棒中心，加工制作在一起，克服了感温传感器与加热丝之间温度传导、电气绝缘等技术难题，使加热棒温度更加准确及时的反馈到控制系统，更加精准的控制温度，提高废气的处理效率，延长加热棒使用寿命。
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1.一种半导体废气处理设备一体式加热棒，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括加热棒(2)、温度传感器(3)、转动固定块(4)和顶部电源连接器(5)，所述温度传感器(3)安装在加热棒(2)顶部，所述转动固定块(4)安装在温度传感器(3)顶部，所述顶部电源连接器(5)安装在转动固定块(4)顶部；
2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备一体式加热棒，其特征在于：所述转动固定块(4)左右两端呈弧度状结构，所述转动固定块(4)顶部设有安装环(9)，所述安装环(9)为贯通式结构。
3.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备一体式加热棒，其特征在于：所述顶部电源连接器(5)呈圆柱状结构，所述顶部电源连接器(5)顶部设有转动盖(6)，所述转动盖(6)外侧设有若干组呈环状等距方式分布的防滑块(7)，所述转动盖(6)顶部设有连接线(8)，所述顶部电源连接器(5)底部通过线路与温度传感器(3)相连接。
【技术特征摘要】
1.一种半导体废气处理设备一体式加热棒，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括加热棒(2)、温度传感器(3)、转动固定块(4)和顶部电源连接器(5)，所述温度传感器(3)安装在加热棒(2)顶部，所述转动固定块(4)安装在温度传感器(3)顶部，所述顶部电源连接器(5)安装在转动固定块(4)顶部；
2.根据权利要求1所述的一种半导体废气处理设备一体式加热棒，其特征在于：所述转动固定块(4)左右两...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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