【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏半导体生产设备领域，具体涉及一种炉体滑动板装置。
技术介绍
1、cvd工艺全称化学气相沉积chemistry vaptor deposition，是外延薄膜生长、半导体制造、光伏制造的工艺之一。原理是利用特定高温和气压下，气体前驱物分解并反应生成新的物质，沉积在衬底上。常见的cvd按特性分为pecvd，lpcvd，apcvd，对应的全称分别为等离子体增强化学气相沉积，低压化学气相沉积和常压化学气相沉积。主要应用于工业化生产半导体和光伏用a-si薄膜、sin薄膜、sio薄膜等。通常使用管式的反应炉保持高温和压强环境。
2、现有光伏和半导体用的lpcvd工艺中，一般使用单层的石英管或者sic材质的炉管，管外侧使用电热丝作为加热源。为满足大批量生产的产能要求，炉管长度在2m以上，衬底晶片由载具放入其中，外侧的加热圈会分为多个并独立控制。以维持管内部温度均匀，以达到外延膜的一致性。
3、目前，公告号为cn201722156 u的中国专利公开了一种新型硅化物电极绝缘环，它主要由硅化物制成的绝缘环体构成，所述绝缘环体为不等径外表的圆筒状结构，圆筒状结构内具有中空的用于还原炉电极穿过的装配通孔。
4、这种硅化物电极绝缘环虽然能够克服现有绝缘环容易损坏的缺陷，降低成本，提高产品质量，该硅化物绝缘环采用硅化物替代传统的陶瓷材料，耐高温腐蚀性能良好，可多次重复使用，明显降低成本，避免使用传统瓷环时，新瓷环的有害杂质在高温腐蚀下挥发，影响多晶硅质量，但是实际在化学气相沉积生产过程中，使用的引线板与炉丝
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种炉体滑动板装置，其具有可以有效的防止炉丝变形的情况下拉动引线板变形造成短路的问题，大大提高设备安全性的优点。
2、本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
3、一种炉体滑动板装置，包括炉壳，所述炉壳内设有加热炉丝，所述炉壳表面设有开口，所述加热炉丝上连接有引线板，所述引线板通过开口至炉壳外部，所述引线板四周还设有绝缘装置，所述引线板四周位于炉壳外壁的部分上还固定连接有陶瓷引线座，所述引线板一侧还设有散热板。
4、通过采用上述技术方案，设有的绝缘装置可以有效的防止引线板受到炉丝变形的影响从而导致与炉壳外壁接触发生短路的情况。
5、进一步设置：所述绝缘装置包括位于开口四周设有与炉壳连接的固定框，所述固定框与引线板垂直的两侧边缘上设有挡片，所述挡片与固定框之间滑移连接有滑移板，所述引线板贯穿滑移板，所述陶瓷引线座固定在滑移板上。
6、通过采用上述技术方案，绝缘装置可以有效的通过炉丝变形带动整个引线板在开口内发生一定的位移，从而抵消掉了炉丝的型变量，大大减少引线板与炉壳接触的可能。
7、进一步设置：所述固定框通过固定螺栓与炉壳表面固定连接。
8、通过采用上述技术方案，可以有效方便的对固定框进行固定。
9、进一步设置：所述绝缘装置包括位于陶瓷引线座四周设有的绝缘框，所述绝缘框底部还设有绝缘延长边。
10、通过采用上述技术方案，还可以通过设置成为绝缘框有效的保护整个引线板，减少与外壳的接触。
11、进一步设置：所述引线板为弯折形。
12、通过采用上述技术方案，设置为弯折形可以有效的减少引线板自身的形变量，即使炉丝发生形变的情况下，拉动引线板，引线板受到两个弯折的作用，位于炉壳外部的引线板将会大大减少变形的情况，因此弯折的方式来保证引线板不会过于歪曲。
13、进一步设置：所述引线板远离散热板一侧还设有支撑块。
14、通过采用上述技术方案，设有的支撑块可以有效的支撑引线板，减少弯折程度。
15、作为优选，所述支撑块为弯钩形
16、通过采用上述技术方案，可以有效的给予引线板一定的支撑，从而保证引线板不会过于弯曲。
17、综上所述，本技术具有以下有益效果：通过上述方式可以有效的减少引线板与炉壳的接触，从而减少出现短路的情况，通过滑移的方式来解决引线板发生形变的问题。
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1.一种炉体滑动板装置，包括炉壳（1），其特征在于：所述炉壳（1）内设有加热炉丝（2），所述炉壳（1）表面设有开口（3），所述加热炉丝（2）上连接有引线板（4），所述引线板（4）通过开口（3）至炉壳（1）外部，所述引线板（4）四周还设有绝缘装置（5），所述引线板（4）四周位于炉壳（1）外壁的部分上还固定连接有陶瓷引线座（6），所述引线板（4）一侧还设有散热板（7）。
2.根据权利要求1所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述绝缘装置（5）包括位于开口（3）四周设有与炉壳（1）连接的固定框（51），所述固定框（51）与引线板（4）垂直的两侧边缘上设有挡片（52），所述挡片（52）与固定框（51）之间滑移连接有滑移板（53），所述引线板（4）贯穿滑移板（53），所述陶瓷引线座（6）固定在滑移板（53）上。
3.根据权利要求2所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述固定框（51）通过固定螺栓（8）与炉壳（1）表面固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述绝缘装置（5）包括位于陶瓷引线座（6）四周设有的绝缘框（54），
5.根据权利要求3或4所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述引线板（4）为弯折形。
6.根据权利要求5所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述引线板（4）远离散热板（7）一侧还设有支撑块（9）。
7.根据权利要求6所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述支撑块（9）为弯钩形。
...【技术特征摘要】
1.一种炉体滑动板装置，包括炉壳（1），其特征在于：所述炉壳（1）内设有加热炉丝（2），所述炉壳（1）表面设有开口（3），所述加热炉丝（2）上连接有引线板（4），所述引线板（4）通过开口（3）至炉壳（1）外部，所述引线板（4）四周还设有绝缘装置（5），所述引线板（4）四周位于炉壳（1）外壁的部分上还固定连接有陶瓷引线座（6），所述引线板（4）一侧还设有散热板（7）。
2.根据权利要求1所述的一种炉体滑动板装置，其特征在于：所述绝缘装置（5）包括位于开口（3）四周设有与炉壳（1）连接的固定框（51），所述固定框（51）与引线板（4）垂直的两侧边缘上设有挡片（52），所述挡片（52）与固定框（51）之间滑移连接有滑移板（53），所述引线板（4）贯穿滑移板（53），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱雪仁，高根震，
申请(专利权)人：赛瑞达智能电子装备无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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