一种LDI曝光机的横向取料机构制造技术

技术编号:41398104 阅读:8 留言:0更新日期:2024-05-20 19:22
本技术公开了一种LDI曝光机的横向取料机构,包括机架、横向驱动模组、纵向驱动模组、十字滑轨,所述十字滑轨的前部滑动连接有第一滑动组件、其后部滑动连接有第二滑动组件、其左部滑动连接有第三滑动组件,其右部滑动连接有第四滑动组件,所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件底部各装设有若干个用于吸取PCB基板的第一吸盘,所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件上各装设有若干个用于吸取Tray盘的第二吸盘组件;本技术实现了对PCB基板和Tray盘分开进行取料的功能,并且对不同的PCB基板尺寸进行取料时,其吸附尺寸调节效率高。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ldi曝光机的取料机构的,特别涉及一种ldi曝光机的横向取料机构。


技术介绍

1、ldi曝光机,为一种激光直接成像技术设备,用于对pcb基板进行激光刻蚀,使得pcb基板上形成微电子结构。

2、在ldi曝光机的上料过程中,一般采用半自动方式进行,即人工拿取pcb放置板到指定放置工位上,接着,通过横向取料吸盘机构将pcb放置板中的pcb基板移动至ldi曝光机的上料端,最后,由于pcb放置板中的pcb基板与用于放置pcb基板的tray盘的尺寸不一样,所以,需要人工将pcb放置板中的tray盘手动收走。

3、上述的横向取料吸盘机构例如专利申请号为:201811440840.4,专利名称为:具有暂存功能的放板机的中国专利技术专利申请中的吸盘组件及其吸取机构。

4、所以,综上所述,目前,上述的横向取料吸盘机构具有两个缺陷:

5、1.只有单一吸取pcb基板的功能,不能对pcb放置板中的pcb基板和tray盘分开进行取料;

6、2.如同上述的具有暂存功能的放板机的吸盘组件及其吸取机构,一般横向取料吸盘机构通过各个吸盘的滑槽和螺母进行位置调节,其对于不同的pcb基板尺寸,其调节效率极低。


技术实现思路

1、本技术的目的在于克服现有技术中的上述缺陷,提供一种ldi曝光机的横向取料机构,其一,能够对pcb放置板中的pcb基板、tray盘分开取料,其二,其通过第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件进行调节,避免了对单个吸盘进行调节,提高了对于不同的pcb基板尺寸的尺寸调节效率。

2、为实现上述目的,本技术提供了一种ldi曝光机的横向取料机构,包括机架、装设在机架上的横向驱动模组、装设在横向驱动模组上的纵向驱动模组,还包括装设在纵向驱动模组底部的十字滑轨,所述十字滑轨的前部滑动连接有第一滑动组件、其后部滑动连接有第二滑动组件、其左部滑动连接有第三滑动组件,其右部滑动连接有第四滑动组件,所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件底部各装设有若干个用于吸取pcb放置板的pcb基板的第一吸盘,所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件上各装设有若干个用于吸取pcb放置板的tray盘的第二吸盘组件,所述第二吸盘组件包括第二吸盘以及驱动第二吸盘升降的升降气缸。

3、作为优选的,还包括装设在横向驱动模组上的支撑臂,所述横向驱动模组驱动支撑臂横向往复移动,所述纵向驱动模组装设在支撑臂一端。

4、作为优选的,所述支撑臂上装设有横向定位传感器。

5、作为优选的,所述第一滑动组件和第二滑动组件上各设有接近传感器,或者,所述第三滑动组件和第四滑动组件上各设有接近传感器。

6、作为优选的,所述第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件各包括与十字滑轨滑动连接的滑动块、装设在滑动块底部的滑动条以及装设在滑动块一端的锁止把手。

7、作为优选的,所述第一滑动组件的第一吸盘装设在第一滑动组件的滑动条底部,所述第二滑动组件的第一吸盘装设在第二滑动组件的滑动条底部,所述第三滑动组件的第一吸盘装设在第三滑动组件的滑动条底部,所述第四滑动组件的第一吸盘装设在第四滑动组件的滑动条底部。

8、作为优选的,所述第一滑动组件的第二吸盘组件装设在第一滑动组件的滑动条上,所述第二滑动组件的第二吸盘组件装设在第二滑动组件的滑动条上,所述第三滑动组件的第二吸盘组件装设在第三滑动组件的滑动条上,所述第四滑动组件的第二吸盘组件装设在第四滑动组件的滑动条上。

9、作为优选的,所述第二吸盘组件还包括用于安装升降气缸的l形安装板。

10、作为优选的,所述横向驱动模组为无尘皮带滑台。

11、作为优选的,所述机架包括若干个工字支撑钢。

12、与现有技术相比,本技术的有益效果在于:

13、1.本技术设置有十字滑轨和与之滑动连接的第一滑动组件、第二滑动组件、第三滑动组件和第四滑动组件,其四者滑动组件上各设有吸盘,当对需要对不同的pcb基板尺寸进行吸附时,只需要调节四者滑动组件即可,就不需要单独调节每个吸盘的位置,其调节效率较高。

14、2.本技术提供的第一吸盘可用于吸取pcb放置板,当需要对tray盘进行取料时,升降气缸驱动第二吸盘下降,第二吸盘可用于吸取tray盘,实现了对pcb放置板中的pcb基板和tray盘分开进行取料的功能。

15、3.综上,本技术提供的一种ldi曝光机的横向取料机构,实现了对pcb放置板中的pcb基板和tray盘分开进行取料的功能,并且对不同的pcb基板尺寸进行取料时,其吸附尺寸调节效率高。

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【技术保护点】

1.一种LDI曝光机的横向取料机构,包括机架(1)、装设在机架(1)上的横向驱动模组(2)、装设在横向驱动模组(2)上的纵向驱动模组(4),其特征在于,还包括装设在纵向驱动模组(4)底部的十字滑轨(5),所述十字滑轨(5)的前部滑动连接有第一滑动组件(6)、其后部滑动连接有第二滑动组件(7)、其左部滑动连接有第三滑动组件(8),其右部滑动连接有第四滑动组件(9),所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)底部各装设有若干个用于吸取PCB放置板(17)的PCB基板(18)的第一吸盘(11),所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)上各装设有若干个用于吸取PCB放置板(17)的Tray盘(19)的第二吸盘组件(12),所述第二吸盘组件(12)包括第二吸盘(122)以及驱动第二吸盘(122)升降的升降气缸(121)。

2.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,还包括装设在横向驱动模组(2)上的支撑臂(3),所述横向驱动模组(2)驱动支撑臂(3)横向往复移动,所述纵向驱动模组(4)装设在支撑臂(3)一端。

3.根据权利要求2所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述支撑臂(3)上装设有横向定位传感器。

4.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第一滑动组件(6)和第二滑动组件(7)上各设有接近传感器(51),或者,所述第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)上各设有接近传感器(51)。

5.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)各包括与十字滑轨(5)滑动连接的滑动块(55)、装设在滑动块(55)底部的滑动条(56)以及装设在滑动块(55)一端的锁止把手(57)。

6.根据权利要求5所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第一滑动组件(6)的第一吸盘(11)装设在第一滑动组件(6)的滑动条(56)底部,所述第二滑动组件(7)的第一吸盘(11)装设在第二滑动组件(7)的滑动条(56)底部,所述第三滑动组件(8)的第一吸盘(11)装设在第三滑动组件(8)的滑动条(56)底部,所述第四滑动组件(9)的第一吸盘(11)装设在第四滑动组件(9)的滑动条(56)底部。

7.根据权利要求5所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第一滑动组件(6)的第二吸盘组件(12)装设在第一滑动组件(6)的滑动条(56)上,所述第二滑动组件(7)的第二吸盘组件(12)装设在第二滑动组件(7)的滑动条(56)上,所述第三滑动组件(8)的第二吸盘组件(12)装设在第三滑动组件(8)的滑动条(56)上,所述第四滑动组件(9)的第二吸盘组件(12)装设在第四滑动组件(9)的滑动条(56)上。

8.根据权利要求1或7所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第二吸盘组件(12)还包括用于安装升降气缸(121)的L形安装板(120)。

9.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述横向驱动模组(2)为无尘皮带滑台。

10.根据权利要求1所述的一种LDI曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述机架(1)包括若干个工字支撑钢。

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【技术特征摘要】

1.一种ldi曝光机的横向取料机构,包括机架(1)、装设在机架(1)上的横向驱动模组(2)、装设在横向驱动模组(2)上的纵向驱动模组(4),其特征在于,还包括装设在纵向驱动模组(4)底部的十字滑轨(5),所述十字滑轨(5)的前部滑动连接有第一滑动组件(6)、其后部滑动连接有第二滑动组件(7)、其左部滑动连接有第三滑动组件(8),其右部滑动连接有第四滑动组件(9),所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)底部各装设有若干个用于吸取pcb放置板(17)的pcb基板(18)的第一吸盘(11),所述第一滑动组件(6)、第二滑动组件(7)、第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)上各装设有若干个用于吸取pcb放置板(17)的tray盘(19)的第二吸盘组件(12),所述第二吸盘组件(12)包括第二吸盘(122)以及驱动第二吸盘(122)升降的升降气缸(121)。

2.根据权利要求1所述的一种ldi曝光机的横向取料机构,其特征在于,还包括装设在横向驱动模组(2)上的支撑臂(3),所述横向驱动模组(2)驱动支撑臂(3)横向往复移动,所述纵向驱动模组(4)装设在支撑臂(3)一端。

3.根据权利要求2所述的一种ldi曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述支撑臂(3)上装设有横向定位传感器。

4.根据权利要求1所述的一种ldi曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第一滑动组件(6)和第二滑动组件(7)上各设有接近传感器(51),或者,所述第三滑动组件(8)和第四滑动组件(9)上各设有接近传感器(51)。

5.根据权利要求1所述的一种ldi曝光机的横向取料机构,其特征在于,所述第一滑动...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨瑞祺
申请(专利权)人:东莞科耀机电设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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