【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶生长，具体涉及一种氮化单晶生长用炉体结构。
技术介绍
1、单晶生长是指原料在高温高压下溶解在溶剂中,由于温差对流,溶液在籽晶部位达到过饱和而使籽晶生长，溶液的循环促使原料不断地溶解,晶体不断地生长，此法最主要的用途是生长水晶,一般说,很多氧化物单晶均可采用此法，在其生产过程中一般采用生长炉作为载体进行加工。
2、现有技术中的氮化单晶生长炉还存在以下不足：在加工完成后需要将载有晶体的容器取出，一般采用外置吊装设备将载体连通加工完成的晶体一同取出，因此还需配备吊装设备，并且操作不便，以至于在取放时降低工作效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种氮化单晶生长用炉体结构，具备对氮化单晶生长炉内部存放晶体的容器方便取放的优点，不仅操作简单便捷，而且不去借助外置的吊装设备，同时能够提高取放效率以至于加速整体的操作效率，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种氮化单晶生长用炉体结构，包括炉体，所述炉体的底端设置有方便顶出取料的顶升机构，所述炉体一侧的下部设置有气体处理机构，所述气体处理机构的外侧设置有连接机构，所述炉体的内壁设置有保温机构，所述顶升机构的上方设置有冷热机构，所述炉体的顶部设置有盖合机构，所述顶升机构包括支架，所述支架固定安装于炉体的底部；
3、所述支架底部的一端栓接有电机，所述电机的输出轴键连接有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧啮合有第二齿轮，所述第二齿轮的内壁固定安装有
4、示例性的，所述气体处理机构包括输送组件和滤除组件，所述输送组件连通于炉体一侧的下部，所述滤除组件设置于输送组件的内部。
5、示例性的，所述输送组件包括排气管，所述排气管连通于炉体一侧的下部，所述排气管的出气端法兰连通有连接筒，所述连接筒的底端法兰连通有出气管。
6、示例性的，所述滤除组件包括载放座，所述载放座固定安装有连接筒内腔的中部，所述载放座的顶固固定安装有滤芯，所述连接筒内腔的下部从上至下依次固定安装有光触媒滤网、精密过滤膜和活性炭滤网。
7、示例性的，所述连接机构包括第一安装座，所述第一安装座分别固定安装于排气管表面的两端，所述第一安装座的底部焊接有弹簧，所述弹簧的底端焊接有第二安装座，所述第二安装座与出气管表面固定，所述出气管表面固定安装有下压座。
8、示例性的，所述保温机构包括载放组件和隔热组件，所述载放组件设置于螺纹杆的上方，所述隔热组件设置于炉体的内壁。
9、示例性的，所述载放组件包括支撑座和载料坩埚本体，所述支撑座固定安装于第二螺纹套管外侧的上部，所述载料坩埚本体放置于放置座的顶部。
10、示例性的，所述隔热组件包括岩棉保温层和陶瓷纤维保温层，所述岩棉保温层固定安装于炉体的内壁，所述陶瓷纤维保温层固定安装于岩棉保温层的内壁。
11、示例性的，所述冷热机构包括冷水输送管，所述冷水输送管贯穿式固定安装于炉体的内部，所述炉体的内部贯穿式固定安装有加热管，所述加热管的端部固定安装有可控硅温度控制器；
12、所述冷水输送管位于支撑座的外侧，所述加热管位于冷水输送管的外侧。
13、示例性的，所述盖合机构包括顶盖，所述顶盖法兰连接于炉体的顶部，所述顶盖顶部的中心处连通有进料管，所述顶盖顶部的一侧连通有加氮管，所述顶盖顶部的另一侧连通有真空管，所述顶盖内壁的下部固定安装有连接套。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
15、1、本专利技术通过顶升机构的设置，方便对氮化单晶取放的优点，不仅无需借助外置吊装设备，而且操作简单便捷，同时利于提高取放效率以及整体的操作效率，利用电机通过第一齿轮带动第二齿轮旋转，然后其会带动第一螺纹套管一同进行转动，此外螺纹杆和第一螺纹套管的螺纹配合会使螺纹杆顶升以至于带动顶部的放置座上移，从而处于炉体的顶部，以至于直接取放操作即可。
16、2、本专利技术经气体处理机构和连接机构的设置，具备了方便对废气进行过滤处理的优点，同时还可方便对滤除部件进行辅助更换的优点，以至于保证其过滤性，利用排气管、连接筒和出气管的配合利于气体的输送，且滤芯起到一级过滤作业，而光触媒滤网、精密过滤膜和活性炭滤网则起到了二级多层滤除工作，以提高滤除的效果，第一安装座和第二安装座之间弹性连接的弹簧，因此可直接调整排气管和出气管之间间距，从而方便取出连接筒，以至于达到辅助其进行定位以及拆装作业。
17、3、本专利技术利用保温机构的设置，可用于提高其保温效果的优点，从而减少内部热量的流失，以至于保证内部的持续温度和生长状态，冷热机构具备了对生长空间进行温度加热的作用，同时还可在生长完成后实现冷却的效果，而盖合机构则具备了对其顶部进行盖合密封的优点，以提高密封效果，同时还可用于辅助进行加料、加氮以及真空处理。
18、本专利技术的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本专利技术而了解。本专利技术的目的和其他优点可通过在说明书以及附图中所指出的结构来实现和获得。
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1.一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：包括炉体（1），所述炉体（1）的底端设置有方便顶出取料的顶升机构（2），所述炉体（1）一侧的下部设置有气体处理机构（3），所述气体处理机构（3）的外侧设置有连接机构（4），所述炉体（1）的内壁设置有保温机构（5），所述顶升机构（2）的上方设置有冷热机构（6），所述炉体（1）的顶部设置有盖合机构（7），所述顶升机构（2）包括支架（21），所述支架（21）固定安装于炉体（1）的底部；
2.根据权利要求1所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述气体处理机构（3）包括输送组件和滤除组件，所述输送组件连通于炉体（1）一侧的下部，所述滤除组件设置于输送组件的内部。
3.根据权利要求2所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述输送组件包括排气管（31），所述排气管（31）连通于炉体（1）一侧的下部，所述排气管（31）的出气端法兰连通有连接筒（32），所述连接筒（32）的底端法兰连通有出气管。
4.根据权利要求3所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述滤除组件包括载放座（33），所述载放座
5.根据权利要求4所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述连接机构（4）包括第一安装座（41），所述第一安装座（41）分别固定安装于排气管（31）表面的两端，所述第一安装座（41）的底部焊接有弹簧（42），所述弹簧（42）的底端焊接有第二安装座（43），所述第二安装座（43）与出气管表面固定，所述出气管表面固定安装有下压座（44）。
6.根据权利要求1所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述保温机构（5）包括载放组件和隔热组件，所述载放组件设置于螺纹杆（26）的上方，所述隔热组件设置于炉体（1）的内壁。
7.根据权利要求6所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述载放组件包括支撑座（51）和载料坩埚本体（54），所述支撑座（51）固定安装于第二螺纹套管（27）外侧的上部，所述载料坩埚本体（54）放置于放置座（28）的顶部。
8.根据权利要求7所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述隔热组件包括岩棉保温层（52）和陶瓷纤维保温层（53），所述岩棉保温层（52）固定安装于炉体（1）的内壁，所述陶瓷纤维保温层（53）固定安装于岩棉保温层（52）的内壁。
9.根据权利要求7所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述冷热机构（6）包括冷水输送管（61），所述冷水输送管（61）贯穿式固定安装于炉体（1）的内部，所述炉体（1）的内部贯穿式固定安装有加热管（62），所述加热管（62）的端部固定安装有可控硅温度控制器（63）；
10.根据权利要求1所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述盖合机构（7）包括顶盖（71），所述顶盖（71）法兰连接于炉体（1）的顶部，所述顶盖（71）顶部的中心处连通有进料管（72），所述顶盖（71）顶部的一侧连通有加氮管（73），所述顶盖（71）顶部的另一侧连通有真空管（74），所述顶盖（71）内壁的下部固定安装有连接套（75）。
...【技术特征摘要】
1.一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：包括炉体（1），所述炉体（1）的底端设置有方便顶出取料的顶升机构（2），所述炉体（1）一侧的下部设置有气体处理机构（3），所述气体处理机构（3）的外侧设置有连接机构（4），所述炉体（1）的内壁设置有保温机构（5），所述顶升机构（2）的上方设置有冷热机构（6），所述炉体（1）的顶部设置有盖合机构（7），所述顶升机构（2）包括支架（21），所述支架（21）固定安装于炉体（1）的底部；
2.根据权利要求1所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述气体处理机构（3）包括输送组件和滤除组件，所述输送组件连通于炉体（1）一侧的下部，所述滤除组件设置于输送组件的内部。
3.根据权利要求2所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述输送组件包括排气管（31），所述排气管（31）连通于炉体（1）一侧的下部，所述排气管（31）的出气端法兰连通有连接筒（32），所述连接筒（32）的底端法兰连通有出气管。
4.根据权利要求3所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述滤除组件包括载放座（33），所述载放座（33）固定安装有连接筒（32）内腔的中部，所述载放座（33）的顶固固定安装有滤芯（34），所述连接筒（32）内腔的下部从上至下依次固定安装有光触媒滤网（35）、精密过滤膜（36）和活性炭滤网（37）。
5.根据权利要求4所述的一种氮化单晶生长用炉体结构，其特征在于：所述连接机构（4）包括第一安装座（41），所述第一安装座（41）分别固定安装于排气管（31）表面的两端，所述第一安装座（41）的底部焊接有弹簧（42），所述弹簧（42）的底...
【专利技术属性】
技术研发人员：李成明，李同权，
申请(专利权)人：聚勒微电子科技太仓有限公司，
类型：发明
国别省市：
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