【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜机，特别涉及一种电子枪的灭弧电路。
技术介绍
1、在电子枪的工作过程中，由多种原因(如：真空室内扬尘、局部材料放气等)造成电子枪高压产生瞬间放电(俗称“打火”)，这种现象不可避免，但打火现象会加快电子枪灯丝的损坏，应减少打火现象的发生。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种电子枪的灭弧电路，设有arc灭弧器，能够向电子枪提供反向高压脉冲，从而消除或减少打火现象，保护电子枪。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种电子枪的灭弧电路，包括电子枪ebs、灯丝供电模块、高压供电模块与arc灭弧器；
4、灯丝供电模块与变压器t2的输入线圈连接，变压器t2的输出线圈与电子枪ebs连接；
5、高压供电模块接arc灭弧器后与变压器t2的输出线圈连接。
6、在一些实施方式中，arc灭弧器的b端接电阻r1与电阻r2后接地。
7、在一些实施方式中，arc灭弧器的d端接电阻r2后接地。
8、在一些实施方式中，arc灭弧器的c端接地。
9、在一些实施方式中，变压器t2的输出线圈并联有电容c1与电容c2，电容c1与电容c2串联。
10、在一些实施方式中，arc灭弧器的b端连接于电容c1与电容c2之间，且与变压器t2连接。
11、在一些实施方式中，高压供电模块接直流电流传感器dcct后与arc灭弧器连接，直流电流传感器dcct与电容c3并联。
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13、感应线圈ns1与感应线圈ns2串联，感应线圈ns1的输入端与辅助电源es连接，感应线圈ns2的输出端与整流器连接，整流器的输出端与反馈端vo连接，反馈端vo并联有电阻rs。
14、在一些实施方式中，电子枪ebs包括与变压器t2连接的灯丝fil、水平偏转电极xscan与垂直偏转电极yscan。
15、本技术的有益效果：arc灭弧器能够向电子枪提供反向高压脉冲，从而消除或减少打火现象，保护电子枪。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，包括电子枪EBS、灯丝供电模块、高压供电模块与ARC灭弧器；
2.根据权利要求1所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述ARC灭弧器的b端接电阻R1与电阻R2后接地。
3.根据权利要求2所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述ARC灭弧器的d端接电阻R2后接地。
4.根据权利要求3所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述ARC灭弧器的c端接地。
5.根据权利要求1所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述变压器T2的输出线圈并联有电容C1与电容C2，所述电容C1与电容C2串联。
6.根据权利要求5所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述ARC灭弧器的b端连接于所述电容C1与电容C2之间，且与变压器T2连接。
7.根据权利要求1所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述高压供电模块接直流电流传感器DCCT后与ARC灭弧器连接，所述直流电流传感器DCCT与电容C3并联。
8.根据权利要求7所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述直流电流传感器DCCT包括
9.根据权利要求1所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述电子枪EBS包括与变压器T2连接的灯丝FIL、水平偏转电极XSCAN与垂直偏转电极YSCAN。
...【技术特征摘要】
1.一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，包括电子枪ebs、灯丝供电模块、高压供电模块与arc灭弧器；
2.根据权利要求1所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述arc灭弧器的b端接电阻r1与电阻r2后接地。
3.根据权利要求2所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述arc灭弧器的d端接电阻r2后接地。
4.根据权利要求3所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述arc灭弧器的c端接地。
5.根据权利要求1所述一种电子枪的灭弧电路，其特征在于，所述变压器t2的输出线圈并联有电容c1与电容c2，所述电容c1与电容c2串联。
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖顺东，覃亚，
申请(专利权)人：广东北创光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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