【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材清洁，尤其涉及一种靶材内壁清洁装置。
技术介绍
1、在制造液晶面板的过程中，通常需要使用到靶材。靶材主要分为三部分：法兰段、溅射段和端口段。在使用过程中，靶材内部要放入磁铁，靶材里面的磁铁做特定轨迹的运动，且通入水进行冷却。靶材法兰侧装入机台旋转底座，旋转底座带动靶材做周而复始地旋转。基座和法兰进行螺纹锁定，形成刚性连接。溅射段位于法兰段和端口段之间，溅射段的长度约为三米。端口段一般在吊装过程中使用，即，从靶材箱子中将靶材吊装起来，法兰端朝下，通过天车吊装至溅射机台对应的基座位置，然后工作人员将对应的螺栓分别旋进法兰端口的螺纹孔，并和基座上的螺纹孔固定，且法兰面和基座有密封圈，以防止冷却水溢出法兰面而造成腔内真空度下降的问题。靶材安装到位后，靶材的侧边有一根阳极棒，靶材作为阴极，阳极棒和靶材之间有电势差，通过电离溅射机台内部的氩气，形成氩气等离子体，氩气轰击靶材，靶材上的原子受到轰击从而离开靶材并沉积到对面的玻璃基板上，形成薄膜，以上即为靶材溅射的工艺过程。
2、在靶材的加工制造过程中会在靶材内部进行镗孔，并通入冷却液，这样会对靶材内壁形成一定程度的污染。尽管镗孔完毕后会将切削液(冷却液)倒出，但是依然会有部分切削液残留在靶材内壁上，因此需要将内壁的切削液清洗干净才能包装靶材。如果靶材内壁洁净度不够，容易造成磁棒污染，或者磁棒旋转的过程中卡顿，进而影响溅射制程。
3、如图1所示，现有技术中对靶材内壁的清洁方式是工人将净化布3000绑定在长杆2000的一端，手持长杆2000的另一端将净化布
4、现有技术中采用人工清洁的方式费时费力，工作效率低，且擦拭内壁的过程中容易出现清洁死角的现象；此外，靶材内壁自然风干耗时较长，影响生产作业进度。
5、因此，亟需设计一种靶材内壁清洁装置，来解决以上技术问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提出一种靶材内壁清洁装置，省时省力，能够提高清洁效率和清洁效果，提高生产作业进度。
2、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、本专利技术提供一种靶材内壁清洁装置，用于清洁靶材的内壁，所述靶材内壁清洁装置包括：
4、同轴设置的第一管道组件和第二管道组件，所述第一管道组件位于所述第二管道组件内部，所述第一管道组件的一端设置有第一进口，所述第一管道组件的另一端设置有第一喷嘴，所述第一进口用于流通液体和气体；所述第二管道组件的一端设置有第二进口，所述第二管道组件的外周侧设置有第二喷嘴，所述第二进口用于流通液体，且所述第一进口和所述第二进口同侧设置，所述第一进口和所述第二进口互相隔绝；
5、第三管道组件，所述第三管道组件位于所述第二管道组件外周侧，且所述第三管道组件与所述第二管道组件同轴设置，所述第三管道组件被配置为供液体流出。
6、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述第一喷嘴设置为至少一个，且所述第一喷嘴用于清洁所述靶材的端口段。
7、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述第二喷嘴等间隔地设置为多排，每一排所述第二喷嘴关于所述第二管道组件的周向呈环形均布。
8、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述第二管道组件的外周侧还设置有第三喷嘴，所述第三喷嘴位于靠近所述第一喷嘴的一侧，且所述第三喷嘴处于所述第一喷嘴和所述第二喷嘴之间，所述第三喷嘴与所述第一进口连通，以使所述第三喷嘴流通液体和气体。
9、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述第三喷嘴朝向所述第二喷嘴倾斜。
10、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述靶材内壁清洁装置还包括导向轮，所述导向轮套设在所述第二管道组件上，所述导向轮的外径小于所述靶材的内径。
11、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述导向轮设置为多个，且每一个所述导向轮上开设有至少一个流道，所述流道供清洁后的液体流通。
12、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述第三管道组件的外径与所述导向轮的外径相等。
13、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述导向轮上开设有避让口，所述导向轮通过所述避让口套设在所述第二管道组件上。
14、作为一种靶材内壁清洁装置的可选技术方案，所述第三管道组件设置有多个出液口，且多个所述出液口关于所述第三管道组件的轴线环形均布。
15、本专利技术的有益效果至少包括：
16、本专利技术提供一种靶材内壁清洁装置，该靶材内壁清洁装置用于清洁靶材的内壁，靶材内壁清洁装置包括第一管道组件、第二管道组件和第三管道组件。其中，第一管道组件、第二管道组件和第三管道组件三者均同轴设置，第一管道组件位于第二管道组件内部，第一管道组件的一端设置有第一进口，第一管道组件的另一端设置有第一喷嘴，第一进口与第一喷嘴连通，第一进口用于流通液体和气体；第二管道组件的一端设置有第二进口，第二管道组件的外周侧设置有第二喷嘴，第二进口与第二喷嘴连通，第二进口用于流通液体，且第一进口和第二进口同侧设置，第一进口和第二进口互相隔绝。第三管道组件位于第二管道组件外周侧，第三管道组件被配置为供液体流出。通过第一管道组件、第二管道组件和第三管道组件的设置，能够提高该靶材内壁清洁装置对靶材内壁的清洁效率，省时省力，无需现有技术中人工采用长杆和净化布的擦拭工序，通过第一喷嘴和第二喷嘴的设置能够实现对靶材内壁的全方位清洗，避免出现清洗死角的现象，提高对靶材内壁的清洁效果。同时，在清洁完毕以后，第一进口通入气体，气体经过第一喷嘴喷出，清洗后的液体在气体压力的作用下沿着法兰段的方向被气体不断赶走，从而使得清洗后的液体由第三管道组件流出，然后流出靶材之外。同时气体还能够对清洗后的靶材内壁进行吹拂，从而加快靶材内壁的干燥速率，节约时间，提高工作效率，解决了现有技术中通过自然风干耗时较长的问题。
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1.靶材内壁清洁装置，用于清洁靶材(1000)的内壁，其特征在于，所述靶材内壁清洁装置包括：
2.根据权利要求1所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第一喷嘴(120)设置为至少一个，且所述第一喷嘴(120)用于清洁所述靶材(1000)的端口段(1001)。
3.根据权利要求2所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第二喷嘴(220)等间隔地设置为多排，每一排所述第二喷嘴(220)关于所述第二管道组件(200)的周向呈环形均布。
4.根据权利要求1所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第二管道组件(200)的外周侧还设置有第三喷嘴(230)，所述第三喷嘴(230)位于靠近所述第一喷嘴(120)的一侧，且所述第三喷嘴(230)处于所述第一喷嘴(120)和所述第二喷嘴(220)之间，所述第三喷嘴(230)与所述第一进口(110)连通，以使所述第三喷嘴(230)流通液体和气体。
5.根据权利要求4所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第三喷嘴(230)朝向所述第二喷嘴(220)倾斜。
6.根据权利要求1所述的靶材内壁清洁
7.根据权利要求6所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述导向轮(400)设置为多个，且每一个所述导向轮(400)上开设有至少一个流道(410)，所述流道(410)供清洁后的液体流通。
8.根据权利要求6所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第三管道组件(300)的外径与所述导向轮(400)的外径相等。
9.根据权利要求6所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述导向轮(400)上开设有避让口(420)，所述导向轮(400)通过所述避让口(420)套设在所述第二管道组件(200)上。
10.根据权利要求1所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第三管道组件(300)设置有多个出液口(310)，且多个所述出液口(310)关于所述第三管道组件(300)的轴线环形均布。
...【技术特征摘要】
1.靶材内壁清洁装置，用于清洁靶材(1000)的内壁，其特征在于，所述靶材内壁清洁装置包括：
2.根据权利要求1所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第一喷嘴(120)设置为至少一个，且所述第一喷嘴(120)用于清洁所述靶材(1000)的端口段(1001)。
3.根据权利要求2所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第二喷嘴(220)等间隔地设置为多排，每一排所述第二喷嘴(220)关于所述第二管道组件(200)的周向呈环形均布。
4.根据权利要求1所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第二管道组件(200)的外周侧还设置有第三喷嘴(230)，所述第三喷嘴(230)位于靠近所述第一喷嘴(120)的一侧，且所述第三喷嘴(230)处于所述第一喷嘴(120)和所述第二喷嘴(220)之间，所述第三喷嘴(230)与所述第一进口(110)连通，以使所述第三喷嘴(230)流通液体和气体。
5.根据权利要求4所述的靶材内壁清洁装置，其特征在于，所述第三喷嘴(230)朝向所述第二喷嘴(220)倾斜。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，丁向前，王青松，
申请(专利权)人：武汉江丰电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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