【技术实现步骤摘要】
本技术涉及pvt长晶设备，具体涉及一种水平电感加热线圈。
技术介绍
1、加热线圈应用于pvt长晶设备结构中，是碳化硅材料制成设备的关键组件。碳化硅(sic)作为第三代宽禁带半导体材料的代表，由于具有十分出色的物理、化学和电性能特性，使其在功率半导体器件领域，特别是大功率、高电压和一些特殊环境，例如高温、高辐射等环境中有着重要的地位和良好的应用前景。
2、现有的加热线圈为螺旋式线匝，螺旋感应线匝自身电感、磁场的均匀性与对称性不足，从而导致内部加热热场温控不佳，影响长晶品质。（热场模拟显示）
技术实现思路
1、为解决上述问题，本技术提出了一种水平电感加热线圈。
2、本技术的技术方案：
3、一种水平电感加热线圈，所述线圈包括线圈主体，所述线圈主体由线缆绕成，具有若干层线匝；各层线匝水平排布。
4、所述线缆为一铜管，其两端口分别与水冷线缆连接；
5、各层线匝内均焊有铜排；各铜排与铜管接触连接。
6、相邻两层线匝之间通过隔环（优选，采用ptfe材质的隔环）隔开。
7、所述线圈还包括上铝环、下铝环；所述线圈主体竖置，所述上铝环安装在线圈主体上端，其与线圈主体之间通过隔环（优选，采用ptfe材质的隔环）隔开，所述下铝环安装在线圈主体下端，其与线圈主体之间通过隔环（优选，采用ptfe材质的隔环）隔开。
8、所述铜管外刷有绝缘漆。
9、接触连接各铜排与铜管外刷有绝缘漆。
10、本技
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1.一种水平电感加热线圈，所述线圈包括线圈主体，所述线圈主体由线缆绕成，具有若干层线匝；其特征在于，各层线匝水平排布；
2.根据权利要求1所述的一种水平电感加热线圈，其特征在于，所述线圈还包括上铝环、下铝环；所述线圈主体竖置，所述上铝环安装在线圈主体上端，其与线圈主体之间通过隔环隔开，所述下铝环安装在线圈主体下端，其与线圈主体之间通过隔环隔开。
3.根据权利要求1所述的一种水平电感加热线圈，其特征在于，所述铜管外刷有绝缘漆。
4.根据权利要求1所述的一种水平电感加热线圈，其特征在于，接触连接各铜排与铜管外刷有绝缘漆。
【技术特征摘要】
1.一种水平电感加热线圈，所述线圈包括线圈主体，所述线圈主体由线缆绕成，具有若干层线匝；其特征在于，各层线匝水平排布；
2.根据权利要求1所述的一种水平电感加热线圈，其特征在于，所述线圈还包括上铝环、下铝环；所述线圈主体竖置，所述上铝环安装在线圈主体上端，其与线圈主体...
【专利技术属性】
技术研发人员：张新峰，德米特罗维奇·德米特里，龙安泽，高欣，黄杰，杜陈，冒振东，石然，
申请(专利权)人：江苏卓远半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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