【技术实现步骤摘要】
本说明书涉及精密制造，特别涉及一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品。
技术介绍
1、在精密制造
中，常通过成像技术确定被加工对象（在一些实施例中，也可称为被拍摄物体）的误差信息。具体的，为了精确测量误差数据，需要对被加工对象进行准确对焦进而获得高清晰的图像，然后通过图像处理技术获取被加工对象的误差数据。由此可见，能否对被加工对象进行准确对焦，将会影响加工质量及效率。
2、为此，本说明书一些实施例提供了一种自动对焦方法、系统、装置以及计算机程序产品，以期提高对焦精准度以及效率。
技术实现思路
1、本说明书一个或多个实施例提供了一种自动对焦方法，包括：控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到所述第一方向上的第一目标位置以及所述第二方向上的第二目标位置；控制所述载物台的第三运动模组在第三方向上运动，以使得所述载物台从第三方向上的扫描起始位置起，在所述第三方向上运动一次或多次，每次运动的位移量为预设步距；控制所述第三运动模组在所述第三方向上运动，以使得所述载物台达到对焦位置；所述对焦位置从所述第三方向上所述一次或多次的运动对应的位置中确定出；其中，所述载物台用于承载被拍摄物体；所述第三方向与位于所述载物台上方的拍摄装置的对焦方向一致，所述第一方向与所述第二方向位于同一平面内，且所述平面与所述第三方向垂直。
2、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述第一方向与所述第二方向垂直；所述预设步距不超过20
3、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述第二运动模组堆叠设置于所述第一运动模组上，所述第三运动模组堆叠设置于所述第二运动模组上，所述载物台设置于所述第三运动模组上。
4、根据本说明书一些实施例所述的方法，控制载物台的第一运动模组在第一方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置，包括：获取所述第一方向上的第一目标位置；通过第一piv控制环基于所述第一目标位置生成第一驱动信号；向所述第一运动模组输出所述第一驱动信号，以控制所述第一运动模组运动，直到所述载物台在所述第一方向上的测量位置与所述第一目标位置的差值不超过第一预设误差窗。
5、控制载物台的第二运动模组运动在第二方向上，以使得所述载物台达到第二方向上的第二目标位置，包括：获取所述第二方向上的第二目标位置；通过第二piv控制环基于所述第二目标位置生成第二驱动信号；向所述第二运动模组输出所述第二驱动信号，以控制所述第二运动模组运动，直到所述载物台在所述第二方向上的测量位置与所述第二目标位置的差值不超过第二预设误差窗。
6、根据本说明书一些实施例所述的方法，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：获取所述第一运动模组和/或所述第二运动模组的运动参数；基于所述运动参数确定冲击补偿参数；至少基于所述冲击补偿参数生成第三驱动信号；向所述第三运动模组输出所述第三驱动信号，以控制所述载物台在所述第三方向上的测量位置的变化量不超过第三预设误差窗。
7、根据本说明书一些实施例所述的方法，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：获取所述第三方向上的扫描起始位置；获取所述第一运动模组和/或所述第二运动模组的运动参数；基于所述运动参数确定冲击补偿参数；通过第三piv控制环基于所述扫描起始位置以及所述冲击补偿参数生成第四驱动信号；向所述第三运动模组输出所述第四驱动信号，以控制所述第三运动模组运动，直到所述载物台在所述第三方向上的测量位置与所述扫描起始位置的差值不超过第三预设误差窗。
8、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述运动参数包括加速度和/或加加速度。
9、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述冲击补偿参数基于下式计算得到：uz=kx(accx+xd×jkx×ct)+ky(accy+yd×jky×ct)；式中，uz为所述冲击补偿参数，kx和ky分别为预设的第一比例系数和第二比例系数，accx和accy分别为第一运动模组的加速度和第二运动模组的加速度，xd和yd分别为预设的第一运动方向因子和第二运动方向因子，jkx和jky分别为第一运动模组的加加速度和第二运动模组的加加速度，ct为预设的控制周期。
10、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述至少基于所述冲击补偿参数生成第三驱动信号，包括：通过第三piv控制环基于所述载物台在所述第三方向上的测量位置以及所述冲击补偿参数生成第三驱动信号。
11、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述第三piv控制环中电流环的输入信号包括所述冲击补偿参数。
12、根据本说明书一些实施例所述的方法，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置之后，还包括：控制所述第三运动模组在所述第三方向上运动，以使所述载物台在所述第三方向上到达所述扫描起始位置；所述控制所述第三运动模组在所述第三方向上运动，以使所述载物台在所述第三方向上到达所述扫描起始位置，包括：获取所述第三方向上的所述扫描起始位置；通过第三piv控制环基于所述扫描起始位置生成第五驱动信号；向所述第三运动模组输出所述第五驱动信号，以控制所述第三运动模组运动，直到所述载物台在所述第三方向上的测量位置与所述扫描起始位置的差值不超过第三预设误差窗。
13、根据本说明书一些实施例所述的方法，所述控制所述载物台的第三运动模组在第三方向上运动，以使得所述载物台从第三方向上的扫描起始位置起，在所述第三方向上运动一次或多次，其中的一次运动包括：基于所述一次运动前所述载物台的测量位置以及所述预设步距确定扫描目标位置；通过第三piv控制环基于所述扫描目标位置生成第六驱动信号；向所述第三运动模组输出所述第六驱动信号，以控制所述第三运动模组带动所述载物台在所述第三方向上完成一次运动；或者包括：基于所述扫描起始位置以及所述预设步距确定扫描目标位置；通过第三piv控制环基于所述扫描目标位置生成第六驱动信号；向所述第三运动模组输出所述第六驱动信号，以控制所述第三运动模组带动所述载物台在所述第三方向上完成一次运动。
14、根据本说明书一些实施例所述的方法，还包括：从所述第三方向上所述一次或多次的运动对应的位置中确定出所述载物台的对焦位置；所述从所述第三方向上所述一次或多次的运动对应的位置处确定出所述载物台的对焦位置，包括：获取所述载物台在所述一次或多次的运动对应的位置处时，对焦传感器对所述被拍摄物体的对焦信号；将满足预设条件的对焦信号对应的位置确定为所述对焦位置；所述对焦传感器位于所述载物台的上方，其对焦方向与所述拍摄装置的对焦方向一致；本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种自动对焦方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直；所述预设步距不超过20nm或不超过10nm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二运动模组堆叠设置于所述第一运动模组上，所述第三运动模组堆叠设置于所述第二运动模组上，所述载物台设置于所述第三运动模组上。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制载物台的第一运动模组在第一方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：
7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述冲击补偿参数基于下式计算得到：
9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述至少基于所述冲击补偿参数生成第三驱动信号，包括：
10.根据权利要求6或9所述的方法，其特征在于，所述第三PIV控制环中电流环的输入信号包括所述冲击补偿参数。
11.根据权利要求1或5所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置之后，还包括：
12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制所述载物台的第三运动模组在第三方向上运动，以使得所述载物台从第三方向上的扫描起始位置起，在所述第三方向上运动一次或多次，其中的一次运动包括：
13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：从所述第三方向上所述一次或多次的运动对应的位置中确定出所述载物台的对焦位置；
14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述控制所述第三运动模组在所述第三方向上运动，以使得所述载物台达到对焦位置之后，还包括：
15.一种自动对焦系统，其特征在于，包括：
16.一种自动对焦装置，包括存储介质以及处理器，所述存储介质存储有计算机指令，所述处理器用于执行所述计算机指令中的至少部分，以实现如权利要求1~14中任一项所述的方法。
17.一种计算机程序产品，包括计算机指令或计算机程序，当所述计算机指令或所述计算机程序中的至少部分被处理器执行时，能够实现如权利要求1~14中任一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种自动对焦方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直；所述预设步距不超过20nm或不超过10nm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二运动模组堆叠设置于所述第一运动模组上，所述第三运动模组堆叠设置于所述第二运动模组上，所述载物台设置于所述第三运动模组上。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制载物台的第一运动模组在第一方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置，包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在控制载物台的第一运动模组以及第二运动模组分别在第一方向上和第二方向上运动，以使得所述载物台达到第一方向上的第一目标位置以及第二方向上的第二目标位置时，还包括：
7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述运动参数包括加速度和/或加加速度。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述冲击补偿参数基于下式计算得到：
9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述至少基于所述冲击补偿参数生成第三驱动信号，包括：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：张申恺，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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