一种掩膜板清洗溶剂检测装置制造方法及图纸

本技术公开了一种掩膜板清洗溶剂检测装置，涉及掩膜板技术领域。所述装置包括：一容器，用于容纳设定体积的掩膜板清洗溶剂；上金属片，金属面朝下固设于所述容器的侧壁；一垂直悬浮杆件，所述垂直悬浮杆件不导电，且可漂浮于掩膜板清洗溶剂内，所述垂直悬浮杆件的顶部设有下金属片，所述下金属片与所述上金属片的金属面相对形成电容；悬浮杆固定件，固设于所述容器的侧壁，并使所述垂直悬浮杆件沿所述悬浮杆固定件在掩膜板清洗溶剂内上下垂直漂浮；电容检测单元，用于对形成的电容值进行检测。本技术提供的一种掩膜板清洗溶剂检测装置，利用溶剂随有机物溶解量增多密度变大导致浮力增大的原理，实现溶剂内有机物浓度的检测。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及掩膜板，具体涉及一种掩膜板清洗溶剂检测装置。

技术介绍

1、在当前oled(organic light-emitting diode，有机电致发光二极管)蒸镀生产中的金属掩模板非常重要和关键，该部件直接决定oled产品的显示效果与品质。掩模板(mask)，特别是高精细金属掩模板(fine metal mask)，随着蒸镀片数增加其附着的有机材料也逐渐增多，其下垂量增大且像素开孔变小，造成蒸镀区域精准度欠佳及阴影效应等问题。

2、目前掩膜板清洗一般使用如n-甲基吡咯烷酮等去除各种有机材料，但随着掩膜板清洗数量增多溶剂中的有机物浓度增加，其纯度降低清洗能力下降，因此需要频繁更换药液。因oled蒸镀有机材料种类较多，目前并没有办法精准测量药液内有机物杂质含量，往往是人员根据液体的浑浊程度做出经验性判断，或者依据掩膜板清洗数量是否达到某一设定值，但以上方式均不够准确，由此带来的问题是：如果过早更换，因溶剂价格昂贵导致掩模板清洗成本大大增加，如果过晚更换，则可能由于溶液内有机物浓度过大导致掩模板清洗效果差，残留溶剂将影响oled显示屏的寿命，降低产品良率与品质。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题，在于提供一种掩膜板清洗溶剂检测装置，利用溶剂随有机物溶解量增多密度变大导致浮力增大的原理，实现溶剂内有机物浓度的检测。

2、本技术是这样实现的：

3、一种掩膜板清洗溶剂检测装置，包括：

4、一容器，用于容纳设定体积的掩膜板清洗溶剂；</p>

5、上金属片，金属面朝下固设于所述容器的侧壁；

6、一垂直悬浮杆件，所述垂直悬浮杆件不导电，且可漂浮于掩膜板清洗溶剂内，所述垂直悬浮杆件的顶部设有下金属片，所述下金属片与所述上金属片的金属面相对形成电容；

7、悬浮杆固定件，固设于所述容器的侧壁，并使所述垂直悬浮杆件沿所述悬浮杆固定件在掩膜板清洗溶剂内上下垂直漂浮；

8、电容检测单元，分别与所述上金属片和下金属片连接，用于对形成的电容值进行检测，从而根据电容值的大小得到对应的掩膜板清洗溶剂的有机物浓度。

9、进一步地，所述悬浮杆固定件为垂直设置的至少两个导环，所述垂直悬浮杆件穿设于悬浮杆固定件内，且所述导环的内径与所述垂直悬浮杆件的外径适配。

10、进一步地，还包括：第一管道，用于连接所述容器和掩膜板清洗槽。

11、进一步地，还包括泵和第一电磁阀，通过第一电磁阀控制泵将设定体积的掩膜板清洗溶剂经由所述第一管道抽取到所述容器内。

12、进一步地，还包括：第二管道，用于连接所述容器和洁净槽。

13、进一步地，还包括第二电磁阀，通过第二电磁阀控制泵将设定体积的洁净溶剂或不同浓度梯度的溶剂经由所述第二管道抽取到所述容器内。

14、进一步地，所述容器还包括排液口，用于将容纳的液体排出。

15、本技术的优点在于：

16、当溶剂有机物含量越大其浓度越高，垂直悬浮杆件上浮高度变大，对应电容的两电极金属片间距变小，从而使得电容值改变，因此可更精确判断溶剂中有机物溶解浓度是否已达更换标准，避免药剂提前更换造成的成本浪费，或延迟更换可能造成掩模板有机物清洗不彻底，以及易残留溶剂造成产品寿命降低的问题，提高产品良率及显示品质。

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【技术保护点】

1.一种掩膜板清洗溶剂检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述悬浮杆固定件为垂直设置的至少两个导环，所述垂直悬浮杆件穿设于悬浮杆固定件内，且所述导环的内径与所述垂直悬浮杆件的外径适配。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：第一管道，用于连接所述容器和掩膜板清洗槽。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括泵和第一电磁阀，通过第一电磁阀控制泵将设定体积的掩膜板清洗溶剂经由所述第一管道抽取到所述容器内。

5.根据权利要求1或4所述的装置，其特征在于，还包括：第二管道，用于连接所述容器和洁净槽。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，还包括第二电磁阀，通过第二电磁阀控制泵将设定体积的洁净溶剂或不同浓度梯度的溶剂经由所述第二管道抽取到所述容器内。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述容器还包括排液口，用于将容纳的液体排出。

【技术特征摘要】

1.一种掩膜板清洗溶剂检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述悬浮杆固定件为垂直设置的至少两个导环，所述垂直悬浮杆件穿设于悬浮杆固定件内，且所述导环的内径与所述垂直悬浮杆件的外径适配。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：第一管道，用于连接所述容器和掩膜板清洗槽。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，还包括泵和第一电磁阀，通过第一电磁阀控制...

【专利技术属性】
技术研发人员：张麒麟，白阳阳，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：