【技术实现步骤摘要】
本申请涉及探针卡测试领域,尤其是涉及一种探针卡测试用的紧凑型调节装置。
技术介绍
1、探针卡测试设备,主要用于对探针卡上的多个探针进行性能测试,如针压、针尖位置、针的高低度、针的端面大小及接触电阻的性能测试。在对探针进行性能测试时,通常将探针卡固定,而在竖直方向上移动测试仪器,这样测试仪器就可接近或接触探针卡上的探针,最终获得测试结果。
2、为了能够在竖直方向上移动测试仪器,现有的探针卡测试设备是将测试仪器直接固定于驱动部件的输出端,通过驱动部件的输出端在竖直方向上的移动,来实现测试仪器的竖直方向上的移动。
3、针对上述现有技术,专利技术人认为这种探针卡测试设备需要将驱动电机或驱动气缸等驱动设备安装在竖直方向上,会明显增加探针测试设备的高度,即增加了探针测试设备的体积;若探针测试设备的高度过高,还会增加测试仪器移动过程中的晃动,进而影响测试结果的准确性。
技术实现思路
1、为了减小探针测试设备的体积,增加测试结果的准确性,本申请提供一种探针卡测试用的紧凑型调节装置。
2、本申请提供的一种探针卡测试用的紧凑型调节装置采用如下的技术方案:
3、一种探针卡测试用的紧凑型调节装置,包括:
4、机架,具有用于安装探针卡的安装位;
5、高度调节机构,设置于所述安装位下方;所述高度调节机构包括具有第一斜面的上滑动斜块、具有第二斜面的下滑动斜块和竖直导向件,所述第一斜面滑接于所述第二斜面,所述上滑动斜块沿着竖直方向滑接于所述竖
6、测试仪器,设置于所述上滑动斜块;
7、其中,所述高度调节机构还包括第一驱动组件,所述第一驱动组件的动力输出端沿着水平方向连接于所述下滑动斜块,以使所述下滑动斜块沿着水平方向滑动,进而使所述上滑动斜块沿着所述竖直导向件竖直方向滑动,最终使安装于所述上滑动斜块的测试仪器沿着竖直方向靠近或远离所述探针卡。
8、可选的,所述高度调节机构还包括第一底板,所述下滑动斜块滑接于所述第一底板;所述第一驱动组件工作时,所述下滑动斜块沿着所述第一底板的表面进行水平方向的滑动。
9、可选的,所述第一驱动组件包括第一电机、第一丝杠和第一螺母座,所述第一电机的输出端连接于所述第一丝杠的端部,所述第一螺母座螺纹连接于所述第一丝杠的外壁,且所述第一丝杠整体呈水平设置;所述第一螺母座固连于所述下滑动斜块。
10、可选的,所述竖直导向件为竖直板,所述第一丝杠穿设于所述竖直导向件,所述第一电机和所述第一螺母座分设于所述竖直导向件的两侧。
11、可选的,所述上滑动斜块具有竖直平面,所述上滑动斜块的竖直平面与所述竖直导向件之间通过第一滑接组件滑接。
12、可选的,所述上滑动斜块的下部设置有延伸部,所述延伸部的竖直平面与所述上滑动斜块的竖直平面在同一平面内以便于安装所述第一滑接组件。
13、可选的,所述延伸部与所述上滑动斜块一体成型。
14、可选的,所述高度调节机构还包括用于获取所述上滑动斜块的高度的光栅组件,所述光栅组件包括相互对应的光栅尺和扫码头,所述光栅尺沿着竖直方向设置于所述竖直导向件,所述扫码头设置于所述上滑动斜块。
15、可选的,所述光栅组件还包括用于限制所述上滑动斜块在竖直方向上的位移的第一限位件和第二限位件,所述第一限位件和所述第二限位件一一对应地设置于所述光栅尺的两端的附近,且所述第一限位件和所述第二限位件分别与所述扫码头对应设置。
16、可选的,测试仪器包括固连于所述上滑动斜块的摄像机和/或压力传感器,所述摄像机用于获取所述探针卡的针尖图像,所述压力传感器用于测量所述探针卡的针压。
17、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
18、该高度调节机构通过上滑动斜块与下滑动斜块的滑接设置,以及竖直导向件的导向作用,将水平方向的直线动力转化为竖直方向的直线动力;使得第一驱动组件可呈水平安装,不会占用太多竖直方向上的安装空间,有利于减少探针卡测试设备体积;该高度调节机构不会占用太多竖直方向上的安装空间,避免了高度调节机构整体过高而造成工作时的摇晃,有利于提高探针测试设备的测试结果的准确性;上滑动斜块由于自身的重力作用,会同时紧贴于下滑动斜块和竖直导向件滑动,滑动过程较为平稳。
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1.一种探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述高度调节机构(2)还包括第一底板(25),所述下滑动斜块(22)滑接于所述第一底板(25);所述第一驱动组件(24)工作时,所述下滑动斜块(22)沿着所述第一底板(25)的表面进行水平方向的滑动。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述第一驱动组件(24)包括第一电机(241)、第一丝杠(242)和第一螺母座(243),所述第一电机(241)的输出端连接于所述第一丝杠(242)的端部,所述第一螺母座(243)螺纹连接于所述第一丝杠(242)的外壁,且所述第一丝杠(242)整体呈水平设置;所述第一螺母座(243)固连于所述下滑动斜块(22)。
4.根据权利要求3所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述竖直导向件(23)为竖直板,所述第一丝杠(242)穿设于所述竖直导向件(23),所述第一电机(241)和所述第一螺母座(243)分设于所述竖直导向件(23)的两侧。
6.根据权利要求5所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述上滑动斜块(21)的下部设置有延伸部(212),所述延伸部(212)的竖直平面与所述上滑动斜块(21)的竖直平面在同一平面内以便于安装所述第一滑接组件(26)。
7.根据权利要求6所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述延伸部(212)与所述上滑动斜块(21)一体成型。
8.根据权利要求1所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述高度调节机构(2)还包括用于获取所述上滑动斜块(21)的高度的光栅组件(27),所述光栅组件(27)包括相互对应的光栅尺(271)和扫码头(272),所述光栅尺(271)沿着竖直方向设置于所述竖直导向件(23),所述扫码头(272)设置于所述上滑动斜块(21)。
9.根据权利要求8所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述光栅组件(27)还包括用于限制所述上滑动斜块(21)在竖直方向上的位移的第一限位件(273)和第二限位件(274),所述第一限位件(273)和所述第二限位件(274)一一对应地设置于所述光栅尺(271)的两端的附近,且所述第一限位件(273)和所述第二限位件(274)分别与所述扫码头(272)对应设置。
10.根据权利要求1所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述测试仪器(3)包括固连于所述上滑动斜块(21)的摄像机(31)和/或压力传感器(32),所述摄像机(31)用于获取所述探针卡的针尖图像,所述压力传感器(32)用于测量所述探针卡的针压。
...【技术特征摘要】
1.一种探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述高度调节机构(2)还包括第一底板(25),所述下滑动斜块(22)滑接于所述第一底板(25);所述第一驱动组件(24)工作时,所述下滑动斜块(22)沿着所述第一底板(25)的表面进行水平方向的滑动。
3.根据权利要求1所述的一种探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述第一驱动组件(24)包括第一电机(241)、第一丝杠(242)和第一螺母座(243),所述第一电机(241)的输出端连接于所述第一丝杠(242)的端部,所述第一螺母座(243)螺纹连接于所述第一丝杠(242)的外壁,且所述第一丝杠(242)整体呈水平设置;所述第一螺母座(243)固连于所述下滑动斜块(22)。
4.根据权利要求3所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述竖直导向件(23)为竖直板,所述第一丝杠(242)穿设于所述竖直导向件(23),所述第一电机(241)和所述第一螺母座(243)分设于所述竖直导向件(23)的两侧。
5.根据权利要求1所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述上滑动斜块(21)具有竖直平面,所述上滑动斜块(21)的竖直平面与所述竖直导向件(23)之间通过第一滑接组件(26)滑接。
6.根据权利要求5所述的探针卡测试用的紧凑型调节装置,其特征在于,所述上滑动斜块(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘志广,蒋文德,王润鹏,黎华盛,劳杰,
申请(专利权)人:深圳市道格特科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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