一种光罩除尘设备制造技术

本申请提供一种光罩除尘设备，涉及半导体加工技术领域，包括传送装置、图像采集装置、除尘装置和控制器，本申请采用传送装置将光罩从光罩传输盒传送至除尘工位，并采用图像采集装置实时监测位于除尘工位的光罩的工作面的图像，并识别灰尘，然后采用除尘装置对工作面的灰尘进行清扫，通过将控制器分别与传送装置、除尘装置和图像采集装置电连接，使得控制器可以根据图像采集装置反馈的信息控制传送装置和除尘装置的工作状态，从而实现对光罩的自动化和智能化除尘，减少了操作人员的干预，提高了除尘效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体加工，具体而言，涉及一种光罩除尘设备。

技术介绍

1、光刻，是一种通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的光罩，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到半导体器件上的工艺。随着半导体器件的不断发展，其图形尺寸和表面沉积层厚度已经降至纳米级别，光罩上的颗粒物在曝光时会造成半导体光刻胶图案的缺陷，导致产品良率降低，因此，光罩的洁净度是确保光刻质量的重要因素。

2、目前，光罩在入库储存前是由人工将光罩从光罩传输盒中取出并观察其表面是否有污染，将表面无污染的光罩入库储存，并将表面有污染的光罩放入除尘设备进行除尘，且在除尘过程中需多次观察其洁净度，此方式效率低，且反复操作容易损坏光罩。

技术实现思路

1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种光罩除尘设备，通过将控制器分别与传送装置、除尘装置和图像采集装置电连接，使得控制器可以根据图像采集装置反馈的信息控制传送装置和除尘装置的工作状态，从而实现对光罩的自动化和智能化除尘，减少了操作人员的干预，提高了除尘效率，以解决现有技术中人工操作效率低，且在操作过程中容易损坏光罩的问题。

2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

3、本申请实施例提供一种光罩除尘设备，包括传送装置、图像采集装置和除尘装置，传送装置用于将光罩传送至除尘工位，图像采集装置用于采集位于除尘工位的光罩的工作面的图像，除尘装置用于清扫位于除尘工位的光罩的工作面；

4、光罩除尘设备还包括控制器，控制器分别与传送装置、除尘装置和图像采集装置电连接，控制器用于根据图像采集装置反馈的信息控制传送装置和除尘装置的工作状态。

5、可选地，光罩除尘设备还包括吸尘装置，吸尘装置位于除尘工位的下方，吸尘装置与控制器电连接，控制器还用于根据除尘装置的工作状态控制吸尘装置的工作状态。

6、可选地，光罩除尘设备还包括显示装置，显示装置的输入端与图像采集装置电连接、输出端与控制器电连接，显示装置用于实时显示图像采集装置采集的图像并反馈给控制器。

7、可选地，传送装置包括第一驱动器和第一机械臂，第一机械臂与第一驱动器驱动连接，第一驱动器与控制器电连接。

8、可选地，除尘装置包括第二驱动器和气枪，气枪与第二驱动器驱动连接，第二驱动器与控制器电连接。

9、可选地，除尘装置还包括第二机械臂，气枪经第二机械臂与第二驱动器驱动连接。

10、可选地，吸尘装置包括吸尘泵和与吸尘泵连通的吸尘管道，吸尘泵将灰尘吸入吸尘管道中，吸尘泵与控制器电连接。

11、可选地，图像采集装置为显微镜。

12、可选地，光罩除尘设备还包括安装底座，第一机械臂和第二机械臂分别转动设置于安装底座。

13、可选地，光罩除尘设备还包括滑轨，滑轨垂直于位于除尘工位的光罩的工作面，图像采集装置滑动设置于滑轨。

14、本申请的有益效果包括：

15、本申请提供了一种光罩除尘设备，包括传送装置、图像采集装置和除尘装置，传送装置用于将光罩传送至除尘工位，图像采集装置用于采集位于除尘工位的光罩的工作面的图像，除尘装置用于清扫位于除尘工位的光罩的工作面；光罩除尘设备还包括控制器，控制器分别与传送装置、除尘装置和图像采集装置电连接，控制器用于根据图像采集装置反馈的信息控制传送装置和除尘装置的工作状态。本申请采用传送装置将光罩从光罩传输盒传送至除尘工位，并采用图像采集装置实时监测位于除尘工位的光罩的工作面的图像，并识别灰尘，然后采用除尘装置对工作面的灰尘进行清扫，通过将控制器分别与传送装置、除尘装置和图像采集装置电连接，使得控制器可以根据图像采集装置反馈的信息控制传送装置和除尘装置的工作状态，从而实现对光罩的自动化和智能化除尘，减少了操作人员的干预，提高了除尘效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光罩除尘设备，其特征在于，包括传送装置(200)、图像采集装置(300)和除尘装置(400)，所述传送装置(200)用于将光罩(100)传送至除尘工位，所述图像采集装置(300)用于采集位于所述除尘工位的所述光罩(100)的工作面的图像，所述除尘装置(400)用于清扫位于所述除尘工位的所述光罩(100)的工作面；

2.如权利要求1所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述光罩除尘设备还包括吸尘装置(500)，所述吸尘装置(500)位于所述除尘工位的下方，所述吸尘装置(500)与所述控制器电连接，所述控制器还用于根据所述除尘装置(400)的工作状态控制所述吸尘装置(500)的工作状态。

3.如权利要求1或2所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述光罩除尘设备还包括显示装置，所述显示装置的输入端与所述图像采集装置(300)电连接、输出端与所述控制器电连接，所述显示装置用于实时显示所述图像采集装置(300)采集的图像并反馈给所述控制器。

4.如权利要求1或2所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述传送装置(200)包括第一驱动器和第一机械臂(210)，所述第一机械臂(210)与所述第一驱动器驱动连接，所述第一驱动器与所述控制器电连接。

5.如权利要求4所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述除尘装置(400)包括第二驱动器和气枪(410)，所述气枪(410)与所述第二驱动器驱动连接，所述第二驱动器与所述控制器电连接。

6.如权利要求5所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述除尘装置(400)还包括第二机械臂(420)，所述气枪(410)经所述第二机械臂(420)与所述第二驱动器驱动连接。

7.如权利要求2所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述吸尘装置(500)包括吸尘泵(510)和与所述吸尘泵(510)连通的吸尘管道(520)，所述吸尘泵(510)将灰尘吸入所述吸尘管道(520)中，所述吸尘泵(510)与所述控制器电连接。

8.如权利要求1或2所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述图像采集装置(300)为显微镜(310)。

9.如权利要求6所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述光罩除尘设备还包括安装底座，所述第一机械臂(210)和所述第二机械臂(420)分别转动设置于所述安装底座。

10.如权利要求1、2或7所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述光罩除尘设备还包括滑轨(320)，所述滑轨(320)垂直于位于所述除尘工位的所述光罩(100)的工作面，所述图像采集装置(300)滑动设置于所述滑轨(320)。

...

【技术特征摘要】

1.一种光罩除尘设备，其特征在于，包括传送装置(200)、图像采集装置(300)和除尘装置(400)，所述传送装置(200)用于将光罩(100)传送至除尘工位，所述图像采集装置(300)用于采集位于所述除尘工位的所述光罩(100)的工作面的图像，所述除尘装置(400)用于清扫位于所述除尘工位的所述光罩(100)的工作面；

2.如权利要求1所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述光罩除尘设备还包括吸尘装置(500)，所述吸尘装置(500)位于所述除尘工位的下方，所述吸尘装置(500)与所述控制器电连接，所述控制器还用于根据所述除尘装置(400)的工作状态控制所述吸尘装置(500)的工作状态。

3.如权利要求1或2所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述光罩除尘设备还包括显示装置，所述显示装置的输入端与所述图像采集装置(300)电连接、输出端与所述控制器电连接，所述显示装置用于实时显示所述图像采集装置(300)采集的图像并反馈给所述控制器。

4.如权利要求1或2所述的光罩除尘设备，其特征在于，所述传送装置(200)包括第一驱动器和第一机械臂(210)，所述第一机械臂(210)与所述第一驱动器驱动连接，所述第一驱动器与所述控制器电连接。

5.如权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁晓涵，陈亚苓，王梅侠，亓晓峰，任士兵，邵金株，
申请(专利权)人：泉意光罩光电科技济南有限公司，
类型：新型
国别省市：