一种花篮治具制造技术

本技术提供了一种花篮治具，包括：两边框、连接件，两边框相对设置，连接件设置在两个所述边框之间，并且所述连接件至少能够相对其中一个所述边框水平移动，以缩小和扩大两个所述边框之间的相对距离。本技术的花篮治具通过连接件相对边框移动，可以灵活地缩小和扩大两边框之间的相对距离，这样由两边框和连接件形成的整体框架结构的承载面相对缩小和扩大，从而可以形成不同规格尺寸的花篮治具。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备，特别涉及一种花篮治具。

技术介绍

1、在半导体制造中，有些晶圆会采用湿法清洗的方式以获得洁净的表面，湿法清洗指的是指利用各种化学试剂与吸附在晶圆表面上的杂质及油污发生化学反应或溶解作用。具体清洗时，一般先将多片晶圆对应放进花篮治具中固定数量的晶盒中，再通过机械手抓取花篮治具并放进清洗机盛装清洗液的清洗槽中。

2、由于不同种类清洗机的清洗槽的容积不一致，导致清洗槽内只能放入一定尺寸的花篮治具，例如有些清洗机只能配套装载4个晶盒的花篮治具，另外一些清洗机只能配套装载6个晶盒的花篮治具。此外，一般每一种清洗机可同时容纳6至7个对应类型的花篮治具，当需要使用多台不同种类清洗机时，就需要分别定制足够数量的不同尺寸的花篮治具。因此，此种方式增加了购买花篮治具的成本，进而导致综合生产成本较高。

技术实现思路

1、基于此，本技术的目的是提供一种花篮治具，可以通过变化尺寸大小而适用于不同种类的清洗机，提高了通用性。

2、本技术提供了一种花篮治具，包括：两边框、连接件，两边框相对设置，连接件设置在两个所述边框之间，并且所述连接件至少能够相对其中一个所述边框水平移动，以缩小和扩大两个所述边框之间的相对距离。

3、上述花篮治具，通过连接件相对边框移动，可以灵活地缩小和扩大两边框之间的相对距离，这样由两边框和连接件形成的整体框架结构的承载面相对缩小和扩大，从而可以形成不同规格尺寸的花篮治具，在使用多台不同种类的清洗机时，无需专门定制满足对应清洗机适配尺寸的花篮治具，节省了生产成本。

4、另外，根据本技术上述的花篮治具，还可以具有如下附加的技术特征：

5、进一步地，所述连接件包括两相对设置的连接板，两所述连接板的同一端分别连接在其中一个所述边框的两侧边上，两所述连接板的另一端分别滑动设置在另一个所述边框的两侧边上。

6、进一步地，其中一个所述边框的两侧边内部均设置有滑动通道，所述连接板的一端滑动地穿设在所述滑动通道内。

7、进一步地，各所述连接板上均设有多个与设有所述滑动通道的所述边框配合的锁紧部。

8、进一步地，所述连接件包括两相对设置的连接板，两所述连接板的同一端分别滑动设置在其中一个所述边框的两侧边上，两所述连接板的另一端分别滑动设置在另一个所述边框的两侧边上。

9、进一步地，两个所述边框的两侧边内部均设置有滑动通道，各所述连接板的两端分别滑动地穿设在位于同一侧的所述滑动通道内。

10、进一步地，各所述连接板上设有多个与其两端的所述边框之间配合的锁紧部。

11、进一步地，所述边框与所述连接件形成的整体框架结构的相对两侧边之间可拆卸设置有多个间隔布置的限位杆。

12、进一步地，所述限位杆通过所述锁紧部固定在所述边框和所述连接板上。

13、进一步地，两所述边框之间至少设置有一加强杆。

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【技术保护点】

1.一种花篮治具，其特征在于，所述花篮治具包括：

2.根据权利要求1所述的花篮治具，其特征在于，所述连接件包括两相对设置的连接板，两所述连接板的同一端分别连接在其中一个所述边框的两侧边上，两所述连接板的另一端分别滑动设置在另一个所述边框的两侧边上。

3.根据权利要求2所述的花篮治具，其特征在于，其中一个所述边框的两侧边内部均设置有滑动通道，所述连接板的一端滑动地穿设在所述滑动通道内。

4.根据权利要求3所述的花篮治具，其特征在于，各所述连接板上均设有多个与设有所述滑动通道的所述边框配合的锁紧部。

5.根据权利要求1所述的花篮治具，其特征在于，所述连接件包括两相对设置的连接板，两所述连接板的同一端分别滑动设置在其中一个所述边框的两侧边上，两所述连接板的另一端分别滑动设置在另一个所述边框的两侧边上。

6.根据权利要求5所述的花篮治具，其特征在于，两个所述边框的两侧边内部均设置有滑动通道，各所述连接板的两端分别滑动地穿设在位于同一侧的所述滑动通道内。

7.根据权利要求6所述的花篮治具，其特征在于，各所述连接板上设有多个与其两端的所述边框之间配合的锁紧部。

8.根据权利要求4或7所述的花篮治具，其特征在于，所述边框与所述连接件形成的整体框架结构的相对两侧边之间可拆卸设置有多个间隔布置的限位杆。

9.根据权利要求8所述的花篮治具，其特征在于，所述限位杆通过所述锁紧部固定在所述边框和所述连接板上。

10.根据权利要求1至9任一项所述的花篮治具，其特征在于，两所述边框之间至少设置有一加强杆。

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【技术特征摘要】

1.一种花篮治具，其特征在于，所述花篮治具包括：

2.根据权利要求1所述的花篮治具，其特征在于，所述连接件包括两相对设置的连接板，两所述连接板的同一端分别连接在其中一个所述边框的两侧边上，两所述连接板的另一端分别滑动设置在另一个所述边框的两侧边上。

3.根据权利要求2所述的花篮治具，其特征在于，其中一个所述边框的两侧边内部均设置有滑动通道，所述连接板的一端滑动地穿设在所述滑动通道内。

4.根据权利要求3所述的花篮治具，其特征在于，各所述连接板上均设有多个与设有所述滑动通道的所述边框配合的锁紧部。

5.根据权利要求1所述的花篮治具，其特征在于，所述连接件包括两相对设置的连接板，两所述连接板的同一端分别滑动设置在其中一个所述边框的两侧边上，两所述连接板...

【专利技术属性】
技术研发人员：周发忠，曾宪瑞，康龙，胡瑶，董国庆，文国昇，金从龙，
申请(专利权)人：江西兆驰半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：