【技术实现步骤摘要】
本申请属于晶圆研磨，具体涉及一种研磨滴液系统以及减薄抛光机。
技术介绍
1、在相关技术中，减薄抛光机的研磨滴液系统采用的是一体化结构，研磨滴液系统设置在减薄抛光机本体的内部，不便于对研磨滴液系统的工作情况进行检查，若研磨滴液系统出现漏液、出液异常等情况，无法及时发现处理，则会影响研磨滴液系统的出液效果，从而无法保证减薄抛光机的研磨效果。
技术实现思路
1、本申请旨在至少能够在一定程度上解决相关技术中的减薄抛光机的研磨滴液系统不便于进行检查工作状态的技术问题。为此，本申请提供了一种研磨滴液系统以及减薄抛光机。
2、本申请的技术方案为：
3、一方面，本申请提供了一种研磨滴液系统，所述研磨滴液系统包括：
4、料桶，具有出液口；
5、出液管，所述出液管的入口端与所述出液口连接；
6、泵体，设置在所述出液管上；
7、导液件，具有导液槽，所述出液管的出口端设置在所述导液槽内，所述导液件的部分伸入至研磨设备内，以使所述导液槽的出口与在所述研磨设备内进行研磨的晶圆对应设置。
8、在一些实施方式中，所述导液槽的出口设有多个。
9、在一些实施方式中，所述导液件包括主体以及与所述主体连接的多个支部；
10、所述导液槽包括连通的主槽以及多个出口槽，所述主槽设于所述主体，所述出液管的出口端设置在所述主槽内，所述出口槽设于所述支部，所述导液槽的出口设于所述出口槽。
11、在一些实施方式中，所
12、在一些实施方式中，所述出液管为软管；所述泵体为蠕动泵。
13、在一些实施方式中，所述出液口设于所述料桶的顶部；
14、所述出液管的入口端穿设于所述出液口，所述出液管的入口设于所述料桶的底部。
15、在一些实施方式中，所述研磨滴液系统还包括搅拌件，所述搅拌件设于所述料桶内。
16、在一些实施方式中，所述料桶的顶部设有配液口；
17、所述研磨滴液系统还包括透气盖，所述透气盖可拆卸地盖设于所述配液口。
18、在一些实施方式中，所述研磨滴液系统还包括支架，所述支架设置在所述导液件的底部。
19、另一方面，本申请还提供了一种减薄抛光机，所述减薄抛光机包括研磨设备以及上述的研磨滴液系统，所述研磨设备设置在所述减薄抛光机的本体的内部，所述研磨滴液系统设置在所述减薄抛光机的本体的外部；
20、所述研磨滴液系统的导液件的部分伸入至所述研磨设备内，使所述导液槽的出口用于与在所述研磨设备内进行研磨的晶圆对应设置。
21、本申请实施例至少具有如下有益效果：
22、本申请所提出的一种减薄抛光机，包括研磨滴液系统，研磨设备与研磨滴液系统均是减薄抛光机的主要组成部分，研磨设备用于对晶圆进行研磨，研磨滴液系统用于向研磨设备内进行研磨的晶圆滴注研磨液。料桶用于容纳研磨液，料桶上连接有出液管，并且在出液管上设置有泵体，以在泵体的作用下，将料桶内的研磨液抽入出液管内。由于导液件的部分伸入至研磨设备内，出液管的出口端设置在导液件的导液槽内，从而使出液管内的研磨液在泵体的作用下，进入到导液件的导液槽内。由于导液件的导液槽的出口与在研磨设备内进行研磨的晶圆对应设置，从而使导液槽内的研磨液能够从导液槽的出口滴落至在研磨设备内进行研磨的晶圆上，以实现晶圆在减薄抛光机内的研磨。一方面，研磨滴液系统的整体独立于研磨设备设置，仅导液件的设有出口的部分设置在研磨设备内，以此便于对研磨滴液系统的工作状态进行检查，及时发现研磨滴液系统是否出现漏液，从而及时进行处理，保证减薄抛光机的研磨效果，同时也便于对研磨滴液系统内的料桶、出液管、导液件等进行拆卸清洗。另一方面，研磨滴液系统通过导液件的导液槽将研磨液导至研磨设备内进行研磨的至晶圆上，便于通过导液件的导液槽观察研磨滴液系统的出液情况，以根据出液情况对研磨滴液系统进行调整，同样保证了减薄抛光机的研磨效果。
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1.一种研磨滴液系统，其特征在于，所述研磨滴液系统包括：
2.根据权利要求1所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述导液槽的出口设有多个。
3.根据权利要求2所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述导液件包括主体以及与所述主体连接的多个支部；
4.根据权利要求3所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述支部设有三个，每相邻两个支部之间的夹角为30°～120°。
5.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述出液管为软管；所述泵体为蠕动泵。
6.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述出液口设于所述料桶的顶部；
7.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述研磨滴液系统还包括搅拌件，所述搅拌件设于所述料桶内。
8.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述料桶的顶部设有配液口；
9.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述研磨滴液系统还包括支架，所述支架设置在所述导液件的底部。
10.一种减薄抛光
...【技术特征摘要】
1.一种研磨滴液系统，其特征在于，所述研磨滴液系统包括：
2.根据权利要求1所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述导液槽的出口设有多个。
3.根据权利要求2所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述导液件包括主体以及与所述主体连接的多个支部；
4.根据权利要求3所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述支部设有三个，每相邻两个支部之间的夹角为30°～120°。
5.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述出液管为软管；所述泵体为蠕动泵。
6.根据权利要求1-4任一项所述的研磨滴液系统，其特征在于，所述出液口设于...
【专利技术属性】
技术研发人员：王春琴，郭可满，程谦，余彬彬，
申请(专利权)人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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