【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆测试，尤其涉及一种探针卡固定工装及维护系统。
技术介绍
1、探针卡是用于测试芯片中的晶圆的一种测试接口，在探针卡测试芯片的过程中，探针卡上的探针会出现磨损或位置偏移，影响测试质量，所以要对探针进行日常维护，在探针卡的维护过程中主要涉及磨针、调针、显微镜观察和化学腐蚀后烘烤等流程，在这些流程中需要固定探针卡。
2、现有技术中，仅依靠夹片、泡沫板或其他种类的板件简单固定探针卡，在维护过程中，探针卡不能被良好固定，导致现有的维护流程效率低且探针卡容易被损坏。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种探针卡固定工装及维护系统，以解决现有技术中探针卡在维护过程中不能被良好固定，容易被损坏的问题，提高了探针卡的维护效率，降低了探针卡的损坏率。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、探针卡固定工装，用于将探针卡固定于不同的维护装置上，包括：
4、固定板和底座，所述固定板上设置有承载孔，所述探针卡可拆卸的设置于所述固定板上，所述探针卡的探针穿过所述承载孔；所述底座设置于所述固定板的下方，且与所述固定板可拆卸连接，所述底座上设置有让位孔，所述让位孔与所述承载孔相对设置；所述固定板可选择性地通过所述底座与所述维护装置连接，或直接与所述维护装置连接。
5、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，所述探针卡固定工装还包括连接件，所述连接件设于所述固定板和所述底座之间，所述连接件与所述固定板可拆卸连接。
6、作为一
7、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，所述探针卡的形状为方形，所述承载孔设置为与方形的所述探针卡相适配的方孔。
8、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，所述承载孔设置为阶梯孔，所述阶梯孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔的口径大于所述第二孔的口径，所述探针卡设于所述第一孔和所述第二孔的连接面上，所述探针卡的外壁与所述第一孔的内壁配合。
9、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，圆形的所述探针卡上设置有通孔，所述连接面上设置有第一螺纹孔，螺钉穿过所述通孔与所述第一螺纹孔螺接，以将所述探针卡固定于所述固定板。
10、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，所述探针卡固定工装还包括限位件，所述限位件可移动的设置于所述固定板远离所述底座的一侧，所述限位件向靠近所述承载孔的方向移动，所述限位件与所述探针卡配合，以固定所述探针卡；所述限位件向远离所述承载孔的方向移动，所述限位件与所述探针卡脱离配合，以拆卸所述探针卡。
11、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，所述限位件为限位板，所述限位板移动至所述承载孔的上方以将所述探针卡固定于所述承载孔。
12、作为一种探针卡固定工装的可选技术方案，所述探针卡固定工装设置为电镀件。
13、维护系统，包括多个所述维护装置，还包括如上述的探针卡固定工装，所述探针卡固定工装的所述固定板能够将所述探针卡选择性的通过所述底座与所述维护装置连接，或直接与所述维护装置连接。
14、本技术的有益效果：
15、本技术提供的探针卡固定工装，包括固定板和底座，固定板上设置有承载孔，探针卡可拆卸的设置于固定板上，探针卡的探针穿过承载孔，以实现探针卡在调针机和磨针机中的固定。底座设置于固定板的下方，底座上设置有让位孔，让位孔与承载孔相对设置，让位孔用于与显微镜配合以检测穿过承载孔的探针，以实现在通过显微镜检测探针时或在烘烤机中固定探针卡。固定板能选择性地与底座连接或拆卸，以实现探针卡固定工装的通用性，即一个探针卡固定工装，实现探针卡在不同维护装置中的固定，适用性更广泛。本技术提供的探针卡固定工装，利用固定板固定探针卡，将固定板与底座连接以应用于显微镜，解决了现有技术中探针卡在维护过程中不能被良好固定，容易被损坏的问题，提高了探针卡的维护效率，降低了探针卡的损坏率，而且能应用于不同的维护装置中，降低了维护成本。
16、本技术提供的维护系统，包括多个维护装置，还包括上述的探针卡固定工装，探针卡固定工装设于维护系统上，用于固定探针卡，上述探针卡固定工装能适用于调针机、磨针机、烘烤机和显微镜等，解决了现有技术中探针卡在维护过程中不能被良好固定，容易被损坏的问题，而且能应用于不同的维护装置中，降低了维护成本，并提高了探针卡的维护效率，降低了探针卡的损坏率。
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1.探针卡固定工装，用于将探针卡固定于不同的维护装置上，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡固定工装还包括连接件(3)，所述连接件(3)设于所述固定板(1)和所述底座(2)之间，所述连接件(3)与所述固定板(1)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡的形状为圆形，所述承载孔(11)设置为与圆形的所述探针卡相适配的圆孔。
4.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡的形状为方形，所述承载孔(11)设置为与方形的所述探针卡相适配的方孔。
5.根据权利要求3或4所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述承载孔(11)设置为阶梯孔，所述阶梯孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔的口径大于所述第二孔的口径，所述探针卡设于所述第一孔和所述第二孔的连接面(12)上，所述探针卡的外壁与所述第一孔的内壁配合。
6.根据权利要求5所述的探针卡固定工装，其特征在于，圆形的所述探针卡上设置有通孔，所述连接面(12)上设置有第一螺纹孔(121)，螺钉穿过所
7.根据权利要求5所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡固定工装还包括限位件，所述限位件可移动的设置于所述固定板(1)远离所述底座(2)的一侧，所述限位件向靠近所述承载孔(11)的方向移动至与所述探针卡配合，以固定所述探针卡；所述限位件向远离所述承载孔(11)的方向移动，以将所述探针卡解除固定。
8.根据权利要求7所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述限位件为限位板，所述限位板移动至所述承载孔(11)的上方以将所述探针卡固定于所述承载孔(11)。
9.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡固定工装设置为电镀件。
10.维护系统，包括多个所述维护装置，其特征在于，还包括如权利要求1-9任一项所述的探针卡固定工装，所述探针卡固定工装的所述固定板(1)能够将所述探针卡选择性的通过所述底座(2)与所述维护装置连接，或直接与所述维护装置连接。
...【技术特征摘要】
1.探针卡固定工装，用于将探针卡固定于不同的维护装置上，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡固定工装还包括连接件(3)，所述连接件(3)设于所述固定板(1)和所述底座(2)之间，所述连接件(3)与所述固定板(1)可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡的形状为圆形，所述承载孔(11)设置为与圆形的所述探针卡相适配的圆孔。
4.根据权利要求1所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述探针卡的形状为方形，所述承载孔(11)设置为与方形的所述探针卡相适配的方孔。
5.根据权利要求3或4所述的探针卡固定工装，其特征在于，所述承载孔(11)设置为阶梯孔，所述阶梯孔包括第一孔和第二孔，所述第一孔的口径大于所述第二孔的口径，所述探针卡设于所述第一孔和所述第二孔的连接面(12)上，所述探针卡的外壁与所述第一孔的内壁配合。
6.根据权利要求5所述的探针卡固定工装，其特征在于，圆形的所述探针卡上设置有通孔，所述连接...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏广峰，周友，
申请(专利权)人：安测半导体技术义乌有限公司，
类型：新型
国别省市：
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