一种供气配盘制造技术

本申请公开了一种供气配盘，供气配盘包括第一输入管路和第二输入管路，第一输入管路设有第一入口；第二输入管路设有第二入口；第一阀门，第一阀门具有输入端和输出端，输入端分别与第一输入管路和第二输入管路连通；总输入管路与输出端连通，总输入管路上按照进气顺序设有泄压阀和第一出口，第一出口连通单晶炉。本申请提供的供气配盘，设有第一输入管路和第二输入管路，两条输入管路可输入不同的气体，能够实现将混气通入单晶炉。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于单晶炉，具体涉及一种供气配盘。

技术介绍

1、硅单晶拉晶生产的过程中，采用惰性气体(例如氩气、氦气)作为保护气，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶。

2、但是采用高纯度氩气作为保护气，会增加成本，因此，通过通入氩气与氮气的混合气来降低成本。在硅单晶拉制过程中也可以通过引入氢气可以达到降氧以及电阻率升高的目的。而在一些工序中，需要对单晶炉内的气体进行气体置换，保证单晶路的炉腔里被惰性气体占据。

3、但是，现有的供气配盘使用氮气进行拉晶，只能使用一种气体进行拉晶，不能适应硅单晶拉晶生产过程中通入混气的进气需求，影响单晶硅的质量。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种供气配盘，避免供气配盘只能使用一种气体进行拉晶，能够适应拉晶生产过程中通入混气的进气需求。

2、为实现上述技术目的，本申请采用以下技术方案。

3、本申请提供了一种供气配盘，包括：

4、第一输入管路，所述第一输入管路设有第一入口，用于通入第一气体；

5、第二输入管路，所述第二输入管路设有第二入口，用于通入第二气体；

6、第一阀门，所述第一阀门具有输入端和输出端，所述输入端与所述第一输入管路和所述第二输入管路连通；

7、总输入管路，所述总输入管路与所述输出端连通，所述总输入管路上按照进气顺序设有泄压阀和第一出口，所述第一出口与单晶炉连通。

8、进一步地，所述供气配盘应用于单晶炉的供气系统。

9、进一步地，所述总输入管路设有质量流量控制器，所述质量流量控制器与所述总输入管路相连。

10、进一步地，所述总输入管路设有气体侦测单元，所述气体侦测单元设于所述总输入管路外侧。

11、再进一步地，所述气体侦测单元设在所述第一阀门和所述泄压阀之间。

12、进一步地，所述供气配盘还包括：

13、第一支路：

14、所述第一支路与所述输出端连通，所述第一支路上按照进气顺序设有第二阀门和第二出口，所述第二出口与所述单晶炉连通；

15、所述总输入管路上设置第三阀门，所述第三阀门按照进气方向设于泄压阀之后。

16、再进一步地，所述供气配盘还包括：

17、第二支路；

18、所述第二支路与所述总输入管路连通，所述第二支路上设有第四阀门；

19、所述第二支路与所述总输入管路的连通位置位于所述泄压阀和所述第三阀门之间；

20、所述第二支路和所述第一支路通过三通管连通后接入所述第二出口。

21、再进一步地，所述第二阀门并联设有第二截止阀。

22、进一步地，所述第一输入管路或第二输入管路上设有第一截止阀。

23、进一步地，所述供气配盘还包括：

24、第三支路；

25、所述第三支路与所述总输入管路连通，且连通的位置按照气体进气顺序位于所述泄压阀之后；

26、所述第三支路上设有第五阀门和第三出口，所述第三出口与所述单晶炉连通。

27、再进一步地，所述第三支路设有浮子流量计，所述浮子流量计与所述第三支路相连。

28、与现有技术相比，本申请提供的供气配盘，设有第一输入管路和第二输入管路，并且设置了与第一输入管路和第二输入管路连通的第一阀门，该供气配盘还包括了连接第一阀门的总输入管路，总输入管路与单晶炉连通，第一输入管路和第二输入管路可通入不同的气体，能够实现将混气通入单晶炉，能够适应硅单晶拉晶生产过程中通入混气的进气需求。

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【技术保护点】

1.一种供气配盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的供气配盘，其特征在于，所述总输入管路(203)设有质量流量控制器(401)，所述质量流量控制器(401)与所述总输入管路(203)相连。

3.根据权利要求1所述的供气配盘，其特征在于，所述总输入管路(203)设有气体侦测单元(402)，所述气体侦测单元(402)设于所述总输入管路(203)外侧。

4.根据权利要求3所述的供气配盘，其特征在于，所述气体侦测单元(402)设在所述第一阀门(301)和所述泄压阀(302)之间。

5.根据权利要求1所述供气配盘，其特征在于，所述供气配盘还包括：

6.根据权利要求5所述供气配盘，其特征在于，所述供气配盘还包括：

7.根据权利要求5所述的供气配盘，其特征在于，所述第二阀门(303)并联设有第二截止阀(307)。

8.根据权利要求1所述的供气配盘，其特征在于，所述第一输入管路(201)或第二输入管路(202)上设有第一截止阀(306)。

9.根据权利要求1所述的供气配盘，其特征在于，所述供气配盘还包括：

10.根据权利要求9所述的供气配盘，其特征在于，所述第三支路(207)设有浮子流量计(403)，所述浮子流量计(403)与所述第三支路(207)相连。

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【技术特征摘要】

1.一种供气配盘，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的供气配盘，其特征在于，所述总输入管路(203)设有质量流量控制器(401)，所述质量流量控制器(401)与所述总输入管路(203)相连。

3.根据权利要求1所述的供气配盘，其特征在于，所述总输入管路(203)设有气体侦测单元(402)，所述气体侦测单元(402)设于所述总输入管路(203)外侧。

4.根据权利要求3所述的供气配盘，其特征在于，所述气体侦测单元(402)设在所述第一阀门(301)和所述泄压阀(302)之间。

5.根据权利要求1所述供气配盘，其特征在于，所述供...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林，张文霞，郭谦，康学兵，
申请(专利权)人：TCL中环新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：