【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆，尤其涉及一种晶圆清洗用上下料机械手。
技术介绍
1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品。
2、晶圆在生产时需要对其进行清洗工作，现有的单片晶圆清洗设备对晶圆的清洗通过机械手对花篮内的晶圆夹持后输送进入清洗设备上进行清洗，等待清洗完成后，机械手将清洗设备的晶圆夹持后输送盛放清洗完成的花篮中，这种通过单一机械手完成对未清洗的晶圆和已清洗的晶圆夹持，会对清洗后的晶圆造成污染，影响晶圆的清洗效果；同时需要机械手逐一对晶圆进行输送，影响清洗速度，降低了晶圆清洗的效率。
技术实现思路
1、基于现有的晶圆清洗机械手对晶圆清洗时会造成清洗后的晶圆造成污染，影响晶圆的清洗效果，影响清洗速度，降低了晶圆清洗的效率的技术问题，本专利技术提出了一种晶圆清洗用上下料机械手。
2、本专利技术提出的一种晶圆清洗用上下料机械手，包括晶圆输送导轨，还包括安装在所述晶圆输送导轨上的框架体、送料装置、夹持装置以及输送装置。
3、所述框架体固定安装在所述晶圆输送导轨的移动平台上表面。
4、送料装置，所述送料装置位于所述晶圆输送导轨的上表面，并对需要进行清洗以及清洗后的晶圆进行输送，所述送料装置包括送料自动导轨、花篮、升降机构以及固定机构，所述升降机构对所述花篮进行升降动作，所述固定机构对所述花篮进行固定动作。
5、夹持装置，所述夹持装置
6、输送装置，所述输送装置位于所述框架体的外表面，并对未清洗和清洗后的晶圆进行输送至花篮上，所述输送装置包括驱动弧条以及固定块，所述驱动弧条转动对所述固定块进行偏转后对晶圆进行支撑。
7、优选地，所述送料自动导轨固定安装在所述晶圆输送导轨的移动平台上表面，所述花篮是由外框和固定在外框内部的支撑弧条构成。
8、通过上述技术方案，送料自动导轨能够带动花篮进行水平方向的移动，能够对盛放清洗后晶圆的花篮进行移动，便于将花篮进行搬运，同时能够将需要清洗的晶圆送至输送装置下进行输送。
9、优选地，所述升降机构包括升降液压缸，所述升降液压缸固定安装在两个送料自动导轨的移动平台上表面，所述送料自动导轨的移动平台上表面固定安装有带有伸缩杆的支撑台，所述伸缩杆的一端与所述送料自动导轨的移动平台上表面固定安装，所述支撑台的下表面与所述升降液压缸的活塞杆一端固定安装，所述框架体的外表面固定安装有测距传感器。
10、通过上述技术方案，通过升降液压缸能够调整花篮距离固定块之间间距，便于固定块上清洗后的晶圆输送进入花篮和固定块能够将花篮上需要清洗的晶圆取下，测距传感器与支撑液压缸电性连接，能够精准调整花篮与固定块的距离。
11、优选地，所述固定机构包括固定槽，所述固定槽开设在所述支撑台的上表面，所述固定槽的内壁与所述花篮的外表面滑动插接，所述固定槽的内壁通过通孔滑动插接有带滚珠的固定锁件，所述固定锁件的外表面固定安装有复位弹簧，所述复位弹簧的一端与所述固定槽的内壁固定安装，所述花篮的下表面开设有锁槽，所述锁槽的内壁与所述固定锁件的一端滑动插接。
12、通过上述技术方案，通过固定锁件插接进入花篮的锁槽内，能够将花篮固定在支撑台上，防止对晶圆的移动时，造成花篮发生移动或者倒塌，花篮移动对晶圆的夹持定位造成移动，花篮倒塌会造成晶圆的损坏，复位弹簧能够便于固定锁件的复位。
13、优选地，所述送料自动导轨的上表面固定安装有推动块，所述推动块的外表面与所述固定锁件的滚珠滑动连接。
14、通过上述技术方案，通过推动块的斜面，能够对固定锁件进行压迫，使得固定锁件在送料自动导轨的移动下，能够进行推动，使得固定锁件的另一端离开锁槽，便于花篮与支撑台的分离。
15、优选地，所述推动液压缸固定安装在所述框架体的外表面，所述固定板的外表面与所述框架体的外表面滑动插接。
16、通过上述技术方案，通过推动液压缸推动固定板进行水平移动。
17、优选地，所述夹持机构还包括旋转电机，所述旋转电机固定安装在所述固定板的上表面，所述旋转电机的输出轴一端贯穿所述固定板的下表面后通过连接板分别固定安装有上料液压缸和下料液压缸，所述上料液压缸的活塞杆一端与所述上料吸盘的外表面固定安装，所述下料液压缸的活塞杆一端与下料吸盘的外表面固定安装。
18、通过上述技术方案，通过旋转电机能够上料吸盘和下料吸盘之间进行切换，下料液压缸和下料液压缸能够调整上料吸盘和下料吸盘的位置，将清洗和未清洗的晶圆分别通过下料吸盘和上料吸盘进行夹持吸附，能够防止使用一个夹持装置对清洗后的晶圆造成污染，影响清洗效果。
19、优选地，所述输送装置还包括输送自动导轨，所述输送自动导轨固定安装在所述框架体的外表面，所述输送自动导轨的滑块外表面固定安装有调节液压缸，所述调节液压缸的活塞杆一端固定安装有连接外壳。
20、通过上述技术方案，通过调节液压缸和输送自动导轨的的调节，能够使得调整固定块与晶圆之间的位置后带动晶圆进行移动。
21、优选地，所述驱动弧条的两端与所述连接外壳的内壁转动连接后贯穿所述连接外壳的外表面，所述连接外壳的内壁固定安装有驱动电机，所述驱动弧条的外表面固定安装有驱动齿轮，所述驱动电机通过齿轮组与所述驱动齿轮的外表面啮合。
22、通过上述技术方案，通过驱动电机的驱动能够带动驱动弧条进行偏转，从而调整固定块的位置，便于对清洗和未清洗的晶圆进行固定。
23、优选地，所述固定块固定安装在所述驱动弧条的外表面，所述固定块的一端开设有放置槽，所述固定块的外表面固定粘接有支撑垫。
24、通过上述技术方案，放置槽能够对未清洗的晶圆进行固定，支撑垫对清洗后的晶圆进行固定，从而能够防止对支撑垫造成污染。
25、本专利技术中的有益效果为：
26、1、通过设置送料装置，能够对盛放清洗和未清洗晶圆的花篮自动进行输送，减少清洗时间，同时通过固定锁件插接在锁槽内，能够对花篮进行固定，防止花篮在移动的过程中出现晃动，造成晶圆的损坏，固定锁件与推动块之间的接触，能够挤压固定锁件达到解除对花篮的固定，从而能够便于对花篮的移动，能够节省对晶圆输送的时间，解决了现有的晶圆清洗机械手逐一输送晶圆影响清洗速度，降低了晶圆清洗的效率的技术问题。
27、2、通过设置夹持装置，能够对未清洗和清洗的晶圆分别进行夹持输送，防止使用同一个夹持件对清洗后的晶圆造成污染，通过旋转电机控制上料吸盘和下料吸盘的切换，能够将清洗后的晶圆提起后，立刻就能够将未清洗的晶本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆清洗用上下料机械手，包括晶圆输送导轨（1），其特征在于：还包括安装在所述晶圆输送导轨（1）上的框架体（11）、送料装置、夹持装置以及输送装置；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述送料自动导轨（2）固定安装在所述晶圆输送导轨（1）的移动平台上表面，所述花篮（21）是由外框和固定在外框内部的支撑弧条构成。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述升降机构包括升降液压缸（3），所述升降液压缸（3）固定安装在两个送料自动导轨（2）的移动平台上表面，所述送料自动导轨（2）的移动平台上表面固定安装有带有伸缩杆的支撑台（31），所述伸缩杆的一端与所述送料自动导轨（2）的移动平台上表面固定安装，所述支撑台（31）的下表面与所述升降液压缸（3）的活塞杆一端固定安装，所述框架体（11）的外表面固定安装有测距传感器（32）。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述固定机构包括固定槽（4），所述固定槽（4）开设在所述支撑台（31）的上表面，所述固定槽（4）的内壁与所
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述送料自动导轨（2）的上表面固定安装有推动块（44），所述推动块（44）的外表面与所述固定锁件（41）的滚珠滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述推动液压缸（5）固定安装在所述框架体（11）的外表面，所述固定板（51）的外表面与所述框架体（11）的外表面滑动插接。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述夹持机构还包括旋转电机（6），所述旋转电机（6）固定安装在所述固定板（51）的上表面，所述旋转电机（6）的输出轴一端贯穿所述固定板（51）的下表面后通过连接板分别固定安装有上料液压缸（61）和下料液压缸（62），所述上料液压缸（61）的活塞杆一端与所述上料吸盘（63）的外表面固定安装，所述下料液压缸（62）的活塞杆一端与下料吸盘（64）的外表面固定安装。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述输送装置还包括输送自动导轨（7），所述输送自动导轨（7）固定安装在所述框架体（11）的外表面，所述输送自动导轨（7）的滑块外表面固定安装有调节液压缸（71），所述调节液压缸（71）的活塞杆一端固定安装有连接外壳（72）。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述驱动弧条（73）的两端与所述连接外壳（72）的内壁转动连接后贯穿所述连接外壳（72）的外表面，所述连接外壳（72）的内壁固定安装有驱动电机（74），所述驱动弧条（73）的外表面固定安装有驱动齿轮（75），所述驱动电机（74）通过齿轮组与所述驱动齿轮（75）的外表面啮合。
10.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述固定块（76）固定安装在所述驱动弧条（73）的外表面，所述固定块（76）的一端开设有放置槽（77），所述固定块（76）的外表面固定粘接有支撑垫（78）。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗用上下料机械手，包括晶圆输送导轨（1），其特征在于：还包括安装在所述晶圆输送导轨（1）上的框架体（11）、送料装置、夹持装置以及输送装置；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述送料自动导轨（2）固定安装在所述晶圆输送导轨（1）的移动平台上表面，所述花篮（21）是由外框和固定在外框内部的支撑弧条构成。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述升降机构包括升降液压缸（3），所述升降液压缸（3）固定安装在两个送料自动导轨（2）的移动平台上表面，所述送料自动导轨（2）的移动平台上表面固定安装有带有伸缩杆的支撑台（31），所述伸缩杆的一端与所述送料自动导轨（2）的移动平台上表面固定安装，所述支撑台（31）的下表面与所述升降液压缸（3）的活塞杆一端固定安装，所述框架体（11）的外表面固定安装有测距传感器（32）。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述固定机构包括固定槽（4），所述固定槽（4）开设在所述支撑台（31）的上表面，所述固定槽（4）的内壁与所述花篮（21）的外表面滑动插接，所述固定槽（4）的内壁通过通孔滑动插接有带滚珠的固定锁件（41），所述固定锁件（41）的外表面固定安装有复位弹簧（42），所述复位弹簧（42）的一端与所述固定槽（4）的内壁固定安装，所述花篮（21）的下表面开设有锁槽（43），所述锁槽（43）的内壁与所述固定锁件（41）的一端滑动插接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗用上下料机械手，其特征在于：所述送料自动导轨（2）的上表面固定安装有推动块（44），所述推动块（44）的外表面与所述固定锁件（41）的滚珠滑动连接。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：顾雪平，张世宇，华斌，
申请(专利权)人：苏州智程半导体科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。