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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜,具体涉及一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法。
技术介绍
1、真空镀膜是一种将金属蒸汽沉积在基材表面形成薄膜的技术,在如冲棒等棒状工件的镀膜过程中得到广泛应用。但是,在实际操作中,由于棒状部件的形状特殊,常常存在厚度不均匀、控制不准确的问题。特别的,棒状工件的镀膜分为端部和棒身两部分,对棒身镀膜厚度的控制尤为困难。
2、现阶段,一些先进的技术被应用于棒状部件镀膜厚度的控制中。例如,利用传感器实时监测薄膜的生长速率和厚度,通过反馈系统来精确调节镀膜过程。还有一些基于模型的方法,结合数学建模和仿真技术,预测并优化棒状部件的镀膜厚度。但这些技术都比较复杂,其控制系统成本也较高,在生产实践的大规模推广应用受到限制。基于此,有必要开发一种成本可控、容易实现的棒状工件真空镀膜涂层厚度控制方法。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的上述缺陷,本专利技术提供了一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法。
2、本专利技术采用的技术方案如下:一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,包括以下步骤:
3、s1. 将棒状的测试工件定位并固定,要求前端对准靶材,确保准确稳定的镀膜;
4、s2. 设定镀膜工艺参数后,对测试工件进行镀膜;
5、s3. 在镀膜完成后,测量测试工件的前端及轴向不同位置处的镀膜厚度,形成膜厚与位置关系表;
6、s4. 通过拟合曲线来描述棒状工件镀膜的空间分布;
7、s5. 结合工件的实
8、s6. 将工件按最佳位置进行定位并固定,设定镀膜工艺参数后,对工件进行镀膜;
9、s7. 测量镀膜完成工件的端及轴向不同位置处的镀膜厚度,使用修正的数据点进行重新拟合,获得更准确的曲线模型。
10、优选的,所述步骤s1与步骤s6中,工件的装夹治具为旋转盘,所述旋转盘,中心为旋转驱动件的安装部,外缘为工件的固定部,所述固定部上布置安装孔,所述安装孔呈多道、环形布置。
11、优选的,所述步骤s2中,镀膜工艺参数包括镀膜材料的选择、镀膜时间及镀膜温度。
12、优选的,所述步骤s3中,对测试工件同一轴向位置的不同周向位置处进行多次测量并取平均值,为当前轴向位置的膜厚度
13、优选的,所述步骤s4具体为:
14、s4.1. 选择曲线模型和拟合算法;
15、s4.2. 根据步骤3所得的膜厚与位置关系表,进行曲线拟合和参数求解,获得膜厚的位置公式;
16、s4.3. 评估拟合曲线与实际数据的拟合程度,确保曲线描述棒状工件镀膜分布的准确性。
17、优选的,所述步骤s5具体为:
18、s5.1. 结合棒状工件实际镀膜需求,确定目标膜厚或膜厚范围;
19、s5.2. 根据拟合曲线,预测工件不同位置处的镀膜厚度;
20、s5.3. 确定使得镀膜厚度符合要求的最佳定位位置,满足工件的实际需求。
21、优选的,所述步骤s7中具体为:
22、s7.1 选择与所述膜厚与位置关系表中不同的轴向位置作为测量点,记录测得的镀膜厚度数据,与对应的位置数据进行配对,并更新所述膜厚与位置关系表;
23、s7.2 利用更新后的所述膜厚与位置关系表重新进行拟合,以获得更准确的曲线模型;
24、s7.3 根据拟合曲线的结果,分析镀膜厚度与位置的关系,重新评估拟合程度。
25、本专利技术具有如下有益效果:
26、1. 解决了棒状工件镀膜厚度控制不准确的问题,通过采用拟合曲线模型,实现对棒状工件镀膜厚度的空间分布进行描述和预测,从而提高了镀膜的控制精度;
27、2. 使用工件装夹定位的方法,在镀膜过程中能够准确稳定地保持工件的位置,确保棒状工件前端对准靶材,有助于实现更准确的镀膜结果,并避免不必要的测量和调整过程;
28、3. 通过修正的数据点进行重新拟合,能够获得更准确的曲线模型,进一步提高了对棒状工件镀膜厚度分布的描述和预测能力;
29、4. 成本较低且易于实施,相对于一些先进的复杂技术,如传感器监测和反馈系统,以及基于数学建模和仿真的方法,更加经济实用,易于推广和应用于生产实践中。
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1.一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤S1与步骤S6中,工件的装夹治具为旋转盘(1),所述旋转盘(1),中心为旋转驱动件的安装部(2),外缘为工件的固定部(3),所述固定部(3)上布置安装孔(4),所述安装孔(4)呈多道、环形布置。
3.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤S2中,镀膜工艺参数包括镀膜材料的选择、镀膜时间及镀膜温度。
4.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤S3中,对测试工件同一轴向位置的不同周向位置处进行多次测量并取平均值,为当前轴向位置的膜厚度。
5.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤S4具体为:
6.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤S5具体为:
7.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制
...【技术特征摘要】
1.一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤s1与步骤s6中,工件的装夹治具为旋转盘(1),所述旋转盘(1),中心为旋转驱动件的安装部(2),外缘为工件的固定部(3),所述固定部(3)上布置安装孔(4),所述安装孔(4)呈多道、环形布置。
3.根据权利要求1所述的一种利用工件装夹定位控制涂层厚度的方法,其特征在于,所述步骤s2中,镀膜工艺参数包括镀膜材料的选择、镀膜时间及镀膜温度。<...
【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,请求不公布姓名,
申请(专利权)人:云祥新材料技术浙江有限公司,
类型:发明
国别省市:
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