【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体的，尤其涉及一种高真空管道清灰用气动旋转装置。
技术介绍
1、目前，半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础，其中单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
2、在整个生产过程中原料熔融状态后易产生挥发物，随着单晶炉长时间运行，挥发物易附着在真空管道的管壁以及管口处。因此，设计一款高真空管道清灰用气动旋转装置是必不可少的。
技术实现思路
1、针对现有的真空管道清灰装置存在的上述问题，现旨在提供一种高真空管道清灰用气动旋转装置，通过驱动件来带动阀杆的旋转，阀杆连接清灰装置操纵杆，实现管道清灰装置的运行。
2、具体技术方案如下：
3、一种高真空管道清灰用气动旋转装置，包括：
4、阀体，所述阀体内具有两端开放的腔体，所述阀体位于所述腔体的周侧具有安装腔，所述安装腔内设有至少一个密封组件；
5、阀杆和压紧螺母，所述阀杆活动设于腔体内，所述压紧螺母设于所述安装腔内，且与所述阀体固定连接，所述压紧螺母与所述阀杆沿所述阀杆的轴向限位配合，且所述压紧螺母抵压所述密封组件，以使所述密封组件的内周缩径和所述密封组件的外周扩径，所述密封组件的内周与所述阀杆的周侧密封配合，所述密封组件的外周与所述安装腔的内壁密封配合。
6、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，还包括：驱动件，所述驱动件设于所述阀体上，所述驱动件与所述阀杆传动连接，以使所述
7、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，所述安装腔内设有抵压组件，所述抵压组件抵设于所述压紧螺母与所述密封组件之间，所述阀杆限位于所述抵压组件与所述压紧螺母之间。
8、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，每一所述密封组件包括：密封圈，所述密封圈抵设于所述抵压组件与所述安装腔的端部之间。
9、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，每一所述密封组件还包括：垫片，所述垫片抵设于所述密封圈与所述抵压组件之间。
10、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，所述安装腔内设置若干所述密封组件，若干所述密封圈分别与若干所述垫片间隔设置，若干所述密封圈分别与所述阀杆、所述阀体采用过盈密封配合。
11、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，所述抵压组件包括：至少一压垫，所述压垫抵设于所述垫片与所述压紧螺母之间。
12、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，所述阀杆的外周具有凸环，所述凸环限位于所述压垫与所述压紧螺母之间；
13、所述压紧螺母的内周具有环槽，所述凸环伸入所述环槽内，所述凸环限位于所述环槽与所述压垫之间。
14、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，所述安装腔的内壁与所述压紧螺母的外周螺纹连接。
15、上述的高真空管道清灰用气动旋转装置，其中，所述安装腔的一端为台阶，另一端开放设置，所述密封组件抵靠在所述台阶上。
16、上述技术方案与现有技术相比具有的积极效果是：
17、本技术通过驱动件来带动阀杆的旋转，阀杆连接清灰装置操纵杆，实现管道清灰装置的运行，以及阀体与阀杆通过密封组件实现密封配合，并保证低扭矩。
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1.一种高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，还包括：驱动件，所述驱动件设于所述阀体上，所述驱动件与所述阀杆传动连接，以使所述阀杆旋转。
3.根据权利要求1所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，所述安装腔内设有抵压组件，所述抵压组件抵设于所述压紧螺母与所述密封组件之间，所述阀杆限位于所述抵压组件与所述压紧螺母之间。
4.根据权利要求3所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，每一所述密封组件包括：密封圈，所述密封圈抵设于所述抵压组件与所述安装腔的端部之间。
5.根据权利要求4所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，每一所述密封组件还包括：垫片，所述垫片抵设于所述密封圈与所述抵压组件之间。
6.根据权利要求5所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，所述安装腔内设置若干所述密封组件，若干所述密封圈分别与若干所述垫片间隔设置，若干所述密封圈分别与所述阀杆、所述阀体采用过盈密封配合。
7.根据权利要求6所述高真空管道清
8.根据权利要求7所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，所述阀杆的外周具有凸环，所述凸环限位于所述压垫与所述压紧螺母之间；
9.根据权利要求8所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，所述安装腔的内壁与所述压紧螺母的外周螺纹连接。
10.根据权利要求1所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，所述安装腔的一端为台阶，另一端开放设置，所述密封组件抵靠在所述台阶上。
...【技术特征摘要】
1.一种高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，还包括：驱动件，所述驱动件设于所述阀体上，所述驱动件与所述阀杆传动连接，以使所述阀杆旋转。
3.根据权利要求1所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，所述安装腔内设有抵压组件，所述抵压组件抵设于所述压紧螺母与所述密封组件之间，所述阀杆限位于所述抵压组件与所述压紧螺母之间。
4.根据权利要求3所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，每一所述密封组件包括：密封圈，所述密封圈抵设于所述抵压组件与所述安装腔的端部之间。
5.根据权利要求4所述高真空管道清灰用气动旋转装置，其特征在于，每一所述密封组件还包括：垫片，所述垫片抵设于所述密封圈与所述抵压组件之间。
6.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋良锰，谢贤锋，
申请(专利权)人：上海高川阀门制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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