【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体流量检测领域，具体而言，涉及一种文丘里式机械流量计。
技术介绍
1、在整个半导体行业中，需要对各种材料和溶液进行精确的流量控制，以确保每个工艺步骤的精度和效果，整个工艺过程中流量监测与控制对于保证产品质量和提高良品率具有至关重要的作用。
2、目前厂务系统不具有流量监测和控制系统，但是准确的流量监测和控制系统对厂务系统有如下好处：
3、（1）可以确保生产过程中各种液体的精确分配，避免由于流量不准确造成的生产步骤延误，提高生产效率；
4、（2）准确的流量监测和控制系统可以记录流量数据，便于在出现问题时进行故障排查，提高故障处理的效率；
5、（3）目前换瓶条件是压力和重量，由于不同介质的密度，粘性不同，压力和重量的换瓶条件一般设置较高，会有大量剩余介质浪费，如果将换瓶条件改为流量，可以最大限度的减少钢瓶介质的残余量；
6、（4）准确的流量监测和控制系统可以在第一时间发现流量异常，及时采取措施，避免可能的生产事故和损失。
7、现有的半导体行业中，对各种介质进行精确的流量控制时，采用的流量计分别为浮子流量计或质量流量计。
8、浮子流量计由一个管道和一个浮子组成。流体从管道中流过时，浮子会随着流体的速度而上升或下降，浮子的位置可以通过透明的管道或指示器来观察，并用于测量流体的流量。在半导体行业中，使用浮子流量计时，具有很多不方便的地方，如有移动部件，需要更频繁的维护；浮子可能会因流体的污染或粘附物而卡住；对流体密度和粘度敏感；安装方向要求
9、质量流量计（mfc）是一种用于测量质量流量的设备，其主要功能是测量实时流量（也叫瞬时流量）以及累计流量。质量流量计主要有热式和差压式两种类型。在半导体行业中，使用质量流量计时，具有很多不方便的地方，如价格高不适用于厂务系统；热式的需要进行预热，工艺繁琐；制造难度较高，周期长。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种文丘里式机械流量计，其能够解决上述技术问题。
2、本专利技术的实施例是这样实现的：
3、本专利技术提供的文丘里式机械流量计，包括壳体、表盘、波登管、连杆机构、第一传动机构、第二传动机构、差速驱动机构和第一指针；
4、所述表盘、所述连杆机构、所述第一传动机构、所述第二传动机构和所述第一指针均设置在所述壳体内，所述连杆机构、所述第一传动机构和所述第二传动机构设置在所述表盘的同一侧，所述第一指针设置在所述表盘的另一侧；
5、所述波登管、所述连杆机构、所述第一传动机构、所述差速驱动机构、所述第二传动机构、所述连杆机构和所述波登管依次连接，且两根所述波登管的远离所述连杆机构的一端分别连接测量管路上的入口段和喉道；
6、所述差速驱动机构通过指针驱动轴连接所述第一指针。
7、在可选的实施方式中，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆、第三连杆、第一转轴、第二转轴和第三转轴；
8、所述第一连杆的一端连接所述波登管的一端，所述第一连杆的另一端连接第一转轴；
9、所述第二连杆的一端连接第一转轴，所述第二连杆的另一端连接第二转轴；
10、所述第三连杆的一端连接第二转轴，所述第三连杆的另一端连接第三转轴。
11、在可选的实施方式中，所述第二连杆和所述第三连杆一体设置。
12、在可选的实施方式中，所述连杆机构还包括复位装置，所述复位装置连接所述第三转轴，能够对所述第三转轴施加与所述第三连杆相反的驱动力。
13、在可选的实施方式中，所述第一传动机构包括第一传动齿轮、第一传动齿条和第一传动轴；
14、所述第一传动齿轮连接所述连杆机构，能够在所述连杆机构的带动下进行转动；
15、所述第一传动齿条的一端与所述第一传动齿轮啮合，所述第一传动齿条的另一端设置有所述第一传动轴，所述第一传动轴连接所述差速驱动机构。
16、在可选的实施方式中，所述第二传动机构包括第二传动齿轮、第二传动齿条和第三传动齿条；
17、所述第二传动齿轮与另一个所述连杆机构连接，能够在所述连杆机构的带动下进行转动；
18、所述第二传动齿条的一端与所述第二传动齿轮啮合，所述第二传动齿条的另一端连接所述第三传动齿条的一端，所述第三传动齿条的另一端连接所述差速驱动机构。
19、在可选的实施方式中，所述差速驱动机构包括差速齿轮、驱动凸轮、拨动齿和传动驱动轴；
20、所述差速齿轮与所述第一传动机构转动连接，能够通过所述第一传动机构带动所述差速齿轮做直线移动；
21、所述差速齿轮的外齿与所述第二传动机构啮合，能够通过所述第一传动机构和所述第二传动机构的差速带动所述差速齿轮进行转动；
22、所述差速齿轮与所述驱动凸轮固定连接，能够带动所述驱动凸轮进行转动；
23、所述拨动齿固定设置在所述传动驱动轴上，且所述拨动齿与所述驱动凸轮抵接，能够在所述驱动凸轮的作用下进行摆动，带动所述传动驱动轴进行转动；
24、所述传动驱动轴连接所述第一指针。
25、在可选的实施方式中，所述差速驱动机构还包括传动半齿轮、驱动齿轮和指针驱动轴；
26、所述传动半齿轮设置在所述传动驱动轴上，能够在所述传动驱动轴的带动下进行转动；
27、所述驱动齿轮设置在所述指针驱动轴上，能够带动所述指针驱动轴进行转动；
28、所述传动半齿轮与所述驱动齿轮啮合；
29、所述第一指针设置在所述指针驱动轴的端部。
30、在可选的实施方式中，所述连杆机构上设置有第二指针。
31、在可选的实施方式中，所述表盘上设置有传感器，所述传感器用于检测所述第一指针的位置。
32、本专利技术实施例的有益效果是：
33、分别使用波登管的弹性形变，由连杆机构将波登管的弹性形变转换为旋转运动，在通过第一传动机构和第二传动机构将差速转换成旋转一定的角度问题，再通过差速设计差速驱动机构，最终转换成第一指针的旋转，来达到流量的指示。
34、本专利技术为纯机械结构，表针直接显示实时流量值，检测范围广，灵敏度高，精度高；无安装方向要求，安装距离小，使用范围广；无可移动部件，可靠性高，维护成本更低；流体粘性对其检测的精度影响小，稳定性高。
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1.一种文丘里式机械流量计，其特征在于，包括文丘里管、壳体、表盘、波登管、连杆机构、第一传动机构、第二传动机构、差速驱动机构和第一指针；
2.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆、第三连杆、第一转轴、第二转轴和第三转轴；
3.根据权利要求2所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第二连杆和所述第三连杆一体设置。
4.根据权利要求2所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构还包括复位装置，所述复位装置连接所述第三转轴，能够对所述第三转轴施加与所述第三连杆相反的驱动力。
5.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第一传动机构包括第一传动齿轮、第一传动齿条和第一传动轴；
6.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第二传动机构包括第二传动齿轮、第二传动齿条和第三传动齿条；
7.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述差速驱动机构包括差速齿轮、驱动凸轮、拨动齿和传动驱动轴；
8.根据权利要求7所述
9.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构上设置有第二指针。
10.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述表盘上设置有传感器，所述传感器用于检测所述第一指针的位置。
...【技术特征摘要】
1.一种文丘里式机械流量计，其特征在于，包括文丘里管、壳体、表盘、波登管、连杆机构、第一传动机构、第二传动机构、差速驱动机构和第一指针；
2.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆、第三连杆、第一转轴、第二转轴和第三转轴；
3.根据权利要求2所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第二连杆和所述第三连杆一体设置。
4.根据权利要求2所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述连杆机构还包括复位装置，所述复位装置连接所述第三转轴，能够对所述第三转轴施加与所述第三连杆相反的驱动力。
5.根据权利要求1所述的文丘里式机械流量计，其特征在于，所述第一传动机构包括第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚辉，
申请(专利权)人：鸿舸半导体设备上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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