【技术实现步骤摘要】
本申请属于半导体检测，尤其是涉及一种放大电路单元、模块及半导体检测设备。
技术介绍
1、近年来，半导体设备发展迅速，电子束缺陷检测技术有了非常大的应用空间，同时也有了快速的发展。
2、扫描电镜作为电子束检测设备的一种，其使用电子束来观察样品表面的高分辨率图像，被广泛应用于晶圆缺陷检测。目前，扫描电镜包括多路探测器，例如二次电子探测器、散射电子探测器等，这些探测器用于检测样品表面反射、散射、吸收等方式产生的信号，并转换成模拟信号并经由电路模块转换处理后发送给图像处理器，经由图像处理器进行处理以用于成像。
3、然而，现有的电路模块功能单一，难以适配多路探测器进行灵活配置，应用场景单一。
技术实现思路
1、本申请提供了一种放大电路单元、模块及半导体检测设备，以解决现有电路模块功能简单，应用场景单一的技术问题。
2、根据本申请的一个方面，提供了一种放大电路单元，包括放大器、第一输入支路及至少一条第二输入支路；放大器设有同向输入端、反向输入端以及输出端，第一输入支路连接于同向输入端，各第二输入支路并联设置并连接于反向输入端；第一输入支路设有可拆卸的第一电阻，各第二输入支路设有可拆卸的第二电阻。
3、在本申请可选的方案中，还包括环出支路，环出支路连接于输出端并设有可拆卸的第三电阻。
4、在本申请可选的方案中，其特征在于，还包括放大支路，放大支路设有第四电阻且一端连接于输出端、另一端连接于第二输入支路并位于第二电阻的下游。
6、根据本申请的另一个方面，提供了一种放大电路模块，包括多个上述的放大电路单元，多个放大电路单元包括第一放大电路单元及第二放大电路单元；第一放大电路单元的数量为多个，第二放大电路单元中第二输入支路的数量为多个，各第一放大电路单元的输出端一一对应连接于第二放大电路单元中各第二输入支路。
7、在本申请可选的方案中，多个放大电路单元还包括第三放大电路单元，第二放大电路单元的输出端连接于第三放大电路单元的第二输入支路。
8、在本申请可选的方案中，第二放大电路单元中第一输入支路设置为接地。
9、在本申请可选的方案中，第三放大电路单元中第一输入支路设置为接地。
10、在本申请可选的方案中，各第一放大电路单元中第一输入支路及第二输入支路相连并接入输入信号。
11、根据本申请的又一个方面，提供了一种半导体检测设备，其特征在于，半导体检测设备包括上述的放大电路模块。
12、综上所述，本申请提供的放大电路单元、模块及半导体检测设备至少具有以下有益效果：
13、该放大电路单元包括放大器、第一输入支路及第二输入支路，第一输入支路及第二输入支路均配置有可拆卸的电阻，不同支路上是否配置有电阻使得放大器可作为电压跟随器或取反器，实现不同功能。对于具备多个该放大电路单元的放大电路模块，可为每个放大电路单元中的各支路采用不同的配置方案实现不同功能组合，极大地丰富了对信号处理的应用场景。
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1.一种放大电路单元，其特征在于，包括放大器(11)、第一输入支路(12)及至少一条第二输入支路(13)；
2.根据权利要求1所述的放大电路单元，其特征在于，还包括环出支路(14)，所述环出支路(14)连接于所述输出端(113)并设有可拆卸的第三电阻(141)。
3.根据权利要求1所述的放大电路单元，其特征在于，还包括放大支路(15)，所述放大支路(15)设有第四电阻(151)且一端连接于输出端(113)、另一端连接于所述第二输入支路(13)并位于所述第二电阻(131)的下游。
4.根据权利要求1所述的放大电路单元，其特征在于，还包括平衡支路(16)，所述平衡支路(16)设有第五电阻(161)且一端接地、另一端连接于所述第一输入支路(12)并位于所述第一电阻(121)的下游。
5.一种放大电路模块，其特征在于，包括多个根据权利要求1至4中任一项所述的放大电路单元(100)，多个所述放大电路单元(100)包括第一放大电路单元(101)及第二放大电路单元(102)；
6.根据权利要求5所述的放大电路模块，其特征在于，多个所述
7.根据权利要求5所述的放大电路模块，其特征在于，所述第二放大电路单元(102)中第一输入支路(12)设置为接地。
8.根据权利要求6所述的放大电路模块，其特征在于，所述第三放大电路单元(103)中第一输入支路(12)设置为接地。
9.根据权利要求5所述的放大电路模块，其特征在于，各所述第一放大电路单元(101)中第一输入支路(12)及第二输入支路(13)相连并接入输入信号。
10.一种半导体检测设备，其特征在于，所述半导体检测设备包括根据权利要求5至9中任一项所述的放大电路模块(1000)。
...【技术特征摘要】
1.一种放大电路单元，其特征在于，包括放大器(11)、第一输入支路(12)及至少一条第二输入支路(13)；
2.根据权利要求1所述的放大电路单元，其特征在于，还包括环出支路(14)，所述环出支路(14)连接于所述输出端(113)并设有可拆卸的第三电阻(141)。
3.根据权利要求1所述的放大电路单元，其特征在于，还包括放大支路(15)，所述放大支路(15)设有第四电阻(151)且一端连接于输出端(113)、另一端连接于所述第二输入支路(13)并位于所述第二电阻(131)的下游。
4.根据权利要求1所述的放大电路单元，其特征在于，还包括平衡支路(16)，所述平衡支路(16)设有第五电阻(161)且一端接地、另一端连接于所述第一输入支路(12)并位于所述第一电阻(121)的下游。
5.一种放大电路模块，其特征在于，包括多个根据权利要求1至4中任一项所述的放大电路单元(100)，多个所述放大电路单元(...
【专利技术属性】
技术研发人员：王彦龙，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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