【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于物理及半导体测试，涉及探针台的励磁组件和探针的定位，具体涉及一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构。
技术介绍
1、探针台测试设备是一种应用广泛的非破坏性测试手段，可用于物理及半导体领域的测试，。在此基础上，磁场探针台测试系统进一步提供了磁场环境，使得探针台测试设备可以进一步研究被测材料或器件在磁场下的性能表现及特性。
2、在使用磁场探针台进行被测物的检测时，需要使被测物处于预设的磁场环境中，一般通过对励磁组件产生的磁场环境进行标定，并使被测物处于相应的位置，从而推测被测物实际所处的磁场环境。但是，由于励磁组件产生的磁场的均匀区一般较小，当被测物的位置与预设位置之间出现微小差异时，将会导致被测物实际所处的磁场环境与根据标定结果推测的磁场环境之间出现较大差异，并导致检测结果与实际不相符，造成检测失败。
3、因此，需要提供一种机构，以使得被测物能够处于预设的磁场环境当中。
4、在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本专利技术背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、为了提供一种能够使被测物能够处于预设的磁场环境当中的机构，本专利技术提供了一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，包括用于产生磁场的励磁组件、用于测量电变量的探卡组件、限位装置，所述励磁组件包括励磁线圈、经所述励磁线圈并向外延伸的磁路、以及第一定位板，所述励磁线圈安装于所述第一定位板，所述磁路被配置为至少部分地在预设区域延伸，
2、优选地，所述励磁组件还包括极头，所述极头设置于所述磁路并使所述磁路延伸，所述极头的端部靠近所述预设区域。
3、进一步优选地，所述第二定位板设置有通孔，所述通孔被构造成能够使所述极头的端部穿过的形式，所述探针向远离所述第一定位板的一侧伸出。
4、进一步优选地，所述极头包括垂直极头、面内极头的其中至少之一。
5、优选地，所述第二定位板与所述限位装置搭接。
6、进一步优选地，所述限位装置为凸台，所述凸台与所述第二定位板的边缘搭接。
7、优选地，所述励磁组件、探卡组件分别设置有贯通的通孔，所述通孔被构造成在所述定位结构配合时在轴向上至少部分地重合的形式。
8、进一步优选地，所述励磁组件包括垂直极头，所述垂直极头安装于所述第一定位板并设置于所述励磁线圈所在磁路上，所述通孔沿所述垂直极头的轴向设置。
9、进一步优选地，所述探针卡设置有镂空部，所述探针自镂空部边缘向镂空部内侧伸出；所述第二定位板设置有与所述探针卡的所述镂空部至少部分地重合的通孔。
10、优选地，所述机构还包括驱动组件、支架组件，所述支架组件与所述限位装置固定连接，所述支架组件与所述励磁组件滑动连接，所述驱动组件与所述支架组件固定连接，所述驱动组件设置有移动端，所述移动端被构造成能够在所述驱动组件的带动下与所述励磁组件搭接或分离的形式。
11、进一步优选地，优选地，所述励磁组件设置于所述探卡组件上侧，所述移动端设置有能够与所述励磁组件的边缘搭接的顶升台。
12、本专利技术至少具有以下有益效果：通过定位结构使励磁组件与探卡组件的位置相对固定，具有磁场环境的预设区域与探卡组件的位置和方向也相对确定，进而对探针端部与预设区域的相对位置进行定位，实质上对被测物的被检测区域在磁场中的位置进行了定位，实现了对被测物的被检测区域在磁场中的位置的移动和定位，在多次检测时无需对预设区域的磁场进行标定，便于检测设备的使用。
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1.一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：包括用于产生磁场的励磁组件、用于测量电变量的探卡组件、限位装置，
2.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述励磁组件还包括极头，所述极头设置于所述磁路并使所述磁路延伸，所述极头的端部靠近所述预设区域。
3.如权利要求2所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述第二定位板设置有通孔，所述通孔被构造成能够使所述极头的端部穿过的形式，所述探针向远离所述第一定位板的一侧伸出。
4.如权利要求2所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述极头包括垂直极头、面内极头的其中至少之一。
5.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述第二定位板与所述限位装置搭接。
6.如权利要求5所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述限位装置为凸台，所述凸台与所述第二定位板的边缘搭接。
7.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述励磁组件、
8.如权利要求7所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述励磁组件包括垂直极头，所述垂直极头安装于所述第一定位板并设置于所述励磁线圈所在磁路上，所述通孔沿所述垂直极头的轴向设置。
9.如权利要求7所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述探针卡设置有镂空部，所述探针自镂空部边缘向镂空部内侧伸出；所述第二定位板设置有与所述探针卡的所述镂空部至少部分地重合的通孔。
10.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述机构还包括驱动组件、支架组件，所述支架组件与所述限位装置固定连接，所述支架组件与所述励磁组件滑动连接，所述驱动组件与所述支架组件固定连接，所述驱动组件设置有移动端，所述移动端被构造成能够在所述驱动组件的带动下与所述励磁组件搭接或分离的形式。
11.如权利要求10所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述励磁组件设置于所述探卡组件上侧，所述移动端设置有能够与所述励磁组件的边缘搭接的顶升台。
...【技术特征摘要】
1.一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：包括用于产生磁场的励磁组件、用于测量电变量的探卡组件、限位装置，
2.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述励磁组件还包括极头，所述极头设置于所述磁路并使所述磁路延伸，所述极头的端部靠近所述预设区域。
3.如权利要求2所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述第二定位板设置有通孔，所述通孔被构造成能够使所述极头的端部穿过的形式，所述探针向远离所述第一定位板的一侧伸出。
4.如权利要求2所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述极头包括垂直极头、面内极头的其中至少之一。
5.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述第二定位板与所述限位装置搭接。
6.如权利要求5所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述限位装置为凸台，所述凸台与所述第二定位板的边缘搭接。
7.如权利要求1所述的一种用于励磁组件与探卡组件定位的机构，其特征在于：所述励磁组件、探卡组件分别设置有贯...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜洪磊，刘洋，张学莹，周同德，
申请(专利权)人：致真精密仪器青岛有限公司，
类型：发明
国别省市：
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