【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片清洗，尤其涉及一种硅片用自动清洗装置。
技术介绍
1、随着社会的发展，硅片的应用越来越广泛，有的应用于太阳能发电，有的应用于制作半导体的材料，在半导体器件的制造过程中，硅片表面的清洁非常重要，这是由于硅片表面的任何污染物都可能会对所制造的器件的品质造成不良的影响，因此在半导体器件制造过程中，通常会利用含有离子水的清洗剂对其进冲洗。
2、在现有技术中，通常将承载有硅片的承载篮挂在悬臂式清洗机上清洗，然而该种清洗机在清洗过程中，通常是将整批硅片放在承载篮中同时进行冲洗，由于多个硅片之间的间距较小，使得部分表面不能被冲洗到，降低了清洁效果，而且放置在承载篮上方的硅片存在部分区域与承载篮始终接触，容易出现清洁不到的现象，难以实现彻底清洁，而且在清洗后将其取出时，其表面附着的清洗溶液较多，直接移动到下一区域时容易滴落从而对清洗设备造成污染，而且造成了溶液的浪费，因此，研究一种新的硅片用自动清洗装置来解决上述问题具有重要意义。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是在清洗过程中，通常是将整批硅片放在承载篮中同时进行冲洗，由于多个硅片之间的间距较小，使得部分表面不能被冲洗到，降低了清洁效果，而且放置在承载篮上方的硅片存在部分区域与承载篮始终接触，容易出现清洁不到的现象，难以实现彻底清洁，而且在清洗后将其取出时，其表面附着的清洗溶液较多，直接移动到下一区域时容易滴落从而对清洗设备造成污染，而且造成了溶液的浪费的问题。
2、为了实现上述目的，本专利
3、一种硅片用自动清洗装置，包括，
4、清洗机构，包括清洗设备及设在清洗设备中的多个清洗槽，所述清洗槽的内部设有两个网框，所述网框的内部装配有转动组件，所述转动组件的两侧均固定连接有两个用于对硅片固定的固定组件，两个网框的上方固定连接有同一支架；以及
5、辅助清洁机构，包括两个支撑板及装配在两个支撑板上的螺纹驱动组件，所述螺纹驱动组件位于网框的下方，两个支撑板固定连接在弹性组件的上方，所述网框卡合在弹性组件上，所述弹性组件的两侧均固定连接有限位组件，所述限位组件固定连接在清洗槽的底壁上，所述弹性组件固定连接在清洗槽的底壁上，所述弹性组件的两侧上方均固定连接有滑轮，所述滑轮的上方配合有抖动组件，所述抖动组件固定连接在支撑板上，两个抖动组件与螺纹驱动组件传动连接。
6、作为本专利技术的进一步方案：所述螺纹驱动组件包括丝杆，所述丝杆通过两个轴承分别转动连接在两个支撑板上，所述丝杆上螺纹连接有螺纹座，所述螺纹座的上方固定连接有齿段。
7、作为本专利技术的进一步方案：所述螺纹座滑动连接在导向条上，所述导向条的两端分别与两个支撑板固定连接，所述丝杆的两端连接有皮带传动结构。
8、作为本专利技术的进一步方案：所述抖动组件包括转轴，所述转轴通过轴承转动连接在支撑板上，所述转轴通过皮带传动结构与丝杆传动连接，所述转轴的一端固定连接有圆盘，所述圆盘外固定连接有三个凸起，三个凸起与滑轮交替配合，其中一个转轴与电机输出轴固定连接，所述电机通过支座固定连接在支撑板上。
9、作为本专利技术的进一步方案：所述转动组件包括限位框，所述限位框通过销轴转动连接在网框中，所述销轴的一端固定连接有齿轮，且限位框用于对硅片进行存放。
10、作为本专利技术的进一步方案：所述固定组件包括弹性气囊，所述弹性气囊固定连接在限位框中，所述弹性气囊的一侧连通有连接管，所述连接管的两端穿过限位框并与气囊头连通，所述气囊头固定连接在限位框的内壁两侧。
11、作为本专利技术的进一步方案：所述弹性组件包括支撑框，所述支撑框的四角均固定连接有滑套，所述滑套滑动连接在支撑杆上，所述滑轮固定连接在支撑框上。
12、作为本专利技术的进一步方案：所述支撑杆固定连接在清洗槽底壁上，所述滑套的下方固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底端与支撑杆的下方固定连接。
13、作为本专利技术的进一步方案：所述支撑框的上方固定连接有四个伸缩杆和四个第二弹簧，四个伸缩杆和四个第二弹簧的顶端与底框固定连接，所述底框上开设有四个限位口，所述网框的下方设有四个卡套，卡套卡合在限位口中。
14、作为本专利技术的进一步方案：所述限位组件包括固定板，所述固定板固定连接在支撑框上，所述固定板上开设有异形槽和垂直槽，垂直槽的上方与异形槽连通，所述异形槽的上方卡合在限位杆上，所述限位杆固定连接在清洗槽的底壁上，所述垂直槽底部的开槽深度小于异形槽底部的深度，垂直槽上方深度与异形槽相同。
15、与现有技术相比，本专利技术提供了一种硅片用自动清洗装置，具备以下有益效果：
16、1、该硅片用自动清洗装置，通过电机驱动转轴旋转，转轴通过皮带传动结构带动丝杆旋转，丝杆驱动螺纹座运动，使螺纹座带动齿段运动，齿段移动过程逐渐与两侧的齿轮进行啮合传动，使齿轮带动销轴盒限位框转动，使每个限位框依次进行翻转运动，使限位框翻向另一侧可保持与原排列的限位框相反设置，则可增加两个限位框之间的间距，增加对硅片的清洗面积，避免间距较小导致无法清洗，而且方便了硅片的清洗作业，提高清洗效果，其次在限位框翻转过程，上方的弹性气囊可将气囊头内部气体回收，而下方的弹性气囊通过受到限位框挤压将气体压入气囊头，使硅片的固定点可切换，实现对硅片的全面清洁作业；
17、2、该硅片用自动清洗装置，通过电机驱动转轴旋转，转轴带动圆盘旋转，圆盘带动凸起旋转，使凸起可交替与滑轮之间进行挤压运动，使滑轮带动支撑框向下运动，使第一弹簧形变，当凸起脱离圆盘，使第一弹簧的弹性力带动支撑框复位，使凸起可配合第一弹簧带动支撑框震动，使底框进行震动，从而可保持网框处于震动状态，从而可提高硅片的清洗效果，使硅片清洁的更为彻底，提高清洗质量；
18、3、该硅片用自动清洗装置，通过向下按压网框，网框下压底框带动支撑框向下移动，支撑框带动固定板向下运动，固定板下移可通过异形槽的斜面挤压限位杆产生弹性弯曲，使限位杆滑动至垂直槽上方，此时通过第一弹簧的弹性复位即可带动支撑框向上复位，使支撑框带动底框向上运动，使网框向上顶出清洗槽，从而使网框中的硅片脱离清洗溶液，便于硅片的沥水，此时可通过电机驱动转轴带动圆盘旋转，使凸起交错与滑轮挤压，每次挤压，使第一弹簧形变，使第一弹簧配合凸起可保持支撑框震动，使网框震动可将硅片上残留的水分快速沥掉，其次转轴还通过皮带传动结构带动丝杆旋转，丝杆驱动螺纹座和齿段移动，齿段依次与齿轮传动，使销轴带动限位框旋转，限位框旋转可带动硅片进行转向，从而可增大硅片之间的间隙，提高硅片的干燥效果，而且利于清洗设备的快速烘干。
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1.一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：包括，
2.如权利要求1所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述螺纹驱动组件（203）包括丝杆（2031），所述丝杆（2031）通过两个轴承分别转动连接在两个支撑板（207）上，所述丝杆（2031）上螺纹连接有螺纹座（2032），所述螺纹座（2032）的上方固定连接有齿段（2035）。
3.如权利要求2所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述螺纹座（2032）滑动连接在导向条（2033）上，所述导向条（2033）的两端分别与两个支撑板（207）固定连接，所述丝杆（2031）的两端连接有皮带传动结构（2034）。
4.如权利要求3所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述抖动组件（204）包括转轴（2041），所述转轴（2041）通过轴承转动连接在支撑板（207）上，所述转轴（2041）通过皮带传动结构（2034）与丝杆（2031）传动连接，所述转轴（2041）的一端固定连接有圆盘（2042），所述圆盘（2042）外固定连接有三个凸起（2043），三个凸起（2043）与滑轮（205）交替配合
5.如权利要求1所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述转动组件（104）包括限位框（1041），所述限位框（1041）通过销轴（1042）转动连接在网框（103）中，所述销轴（1042）的一端固定连接有齿轮（1043），且限位框（1041）用于对硅片进行存放。
6.如权利要求5所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述固定组件（105）包括弹性气囊（1051），所述弹性气囊（1051）固定连接在限位框（1041）中，所述弹性气囊（1051）的一侧连通有连接管（1052），所述连接管（1052）的两端穿过限位框（1041）并与气囊头（1053）连通，所述气囊头（1053）固定连接在限位框（1041）的内壁两侧。
7.如权利要求1所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述弹性组件（201）包括支撑框（2011），所述支撑框（2011）的四角均固定连接有滑套（2012），所述滑套（2012）滑动连接在支撑杆（2013）上，所述滑轮（205）固定连接在支撑框（2011）上。
8.如权利要求7所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述支撑杆（2013）固定连接在清洗槽（102）底壁上，所述滑套（2012）的下方固定连接有第一弹簧（2014），所述第一弹簧（2014）的底端与支撑杆（2013）的下方固定连接。
9.如权利要求7所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述支撑框（2011）的上方固定连接有四个伸缩杆（2016）和四个第二弹簧（2015），四个伸缩杆（2016）和四个第二弹簧（2015）的顶端与底框（2017）固定连接，所述底框（2017）上开设有四个限位口（2018），所述网框（103）的下方设有四个卡套，卡套卡合在限位口（2018）中。
10.如权利要求7所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述限位组件（202）包括固定板（2021），所述固定板（2021）固定连接在支撑框（2011）上，所述固定板（2021）上开设有异形槽（2023）和垂直槽（2022），垂直槽（2022）的上方与异形槽（2023）连通，所述异形槽（2023）的上方卡合在限位杆（2024）上，所述限位杆（2024）固定连接在清洗槽（102）的底壁上，所述垂直槽（2022）底部的开槽深度小于异形槽（2023）底部的深度，垂直槽（2022）上方深度与异形槽（2023）相同。
...【技术特征摘要】
1.一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：包括，
2.如权利要求1所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述螺纹驱动组件（203）包括丝杆（2031），所述丝杆（2031）通过两个轴承分别转动连接在两个支撑板（207）上，所述丝杆（2031）上螺纹连接有螺纹座（2032），所述螺纹座（2032）的上方固定连接有齿段（2035）。
3.如权利要求2所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述螺纹座（2032）滑动连接在导向条（2033）上，所述导向条（2033）的两端分别与两个支撑板（207）固定连接，所述丝杆（2031）的两端连接有皮带传动结构（2034）。
4.如权利要求3所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述抖动组件（204）包括转轴（2041），所述转轴（2041）通过轴承转动连接在支撑板（207）上，所述转轴（2041）通过皮带传动结构（2034）与丝杆（2031）传动连接，所述转轴（2041）的一端固定连接有圆盘（2042），所述圆盘（2042）外固定连接有三个凸起（2043），三个凸起（2043）与滑轮（205）交替配合，其中一个转轴（2041）与电机（206）输出轴固定连接，所述电机（206）通过支座固定连接在支撑板（207）上。
5.如权利要求1所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述转动组件（104）包括限位框（1041），所述限位框（1041）通过销轴（1042）转动连接在网框（103）中，所述销轴（1042）的一端固定连接有齿轮（1043），且限位框（1041）用于对硅片进行存放。
6.如权利要求5所述的一种硅片用自动清洗装置，其特征在于：所述固定组件（105）包括弹性气囊（1051），所述弹性气囊（1051）固定连接在限位框（1041）中，所述弹性气囊（1051）的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴开泰，王志红，沈星，
申请(专利权)人：江苏英思特半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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