一种红外半导体晶体膜镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:41310986 阅读:2 留言:0更新日期:2024-05-13 14:54
本技术涉及一种红外半导体晶体膜镀膜装置,包括对圆柱基材(10)的外表面进行镀膜的镀膜枪(11),镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动,以对圆柱基材(10)外表面的一个圆周区域进行镀膜;还包括能够转动的柱体(21),柱体(21)的外圆周面开设有多段首尾依次连通的环状槽(22),环状槽(22)内设有沿其滑动的卡销(23),通过卡销(23)在多段首尾依次连通的环状槽(22)移动,使镀膜枪(11)能够沿圆柱基材(10)的长度方向间歇移动,以切换对圆柱基材(10)外表面进行镀膜的圆周区域,自动对圆柱基材(10)外表面进行完整镀膜,形成的膜层层厚均匀,提升镀膜效率和镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体发热膜,尤其是一种红外半导体晶体膜镀膜装置


技术介绍

1、红外半导体是将材料分子做层叠排列制成的晶体膜,又称金属氧化物电热膜,具有熔点高、硬度大、电阻低、热效率高且化学稳定性好等特点。利用纳米半导体生长镀膜技术和积淀处理工艺,经过高温烧结,在绝缘体(如玻璃、陶瓷、碳化硅等)表面形成一层极薄的膜层,通电后可在直流或交流电压下工作,发出的热量可达500℃以上,可替代金属电热丝的传统方法,具有节能环保、安全且成本低等优势。目前对绝缘体表面进行镀膜的装置形成的膜层层厚不均匀,且镀膜效率不高,影响成品的质量。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题在于现有对绝缘体表面进行镀膜的装置形成的膜层层厚不均匀,且镀膜效率不高,影响成品的质量。

2、为了解决上述问题,本技术提供一种红外半导体晶体膜镀膜装置,包括对圆柱基材的外表面进行镀膜的镀膜枪,其特征在于,镀膜枪与圆柱基材相对转动,以对圆柱基材外表面的一个圆周区域进行镀膜;

3、还包括能够转动的柱体,柱体的外圆周面开设有多段首尾依次连通的环状槽,环状槽内设有沿其滑动的卡销,柱体转动使卡销、镀膜枪沿圆柱基材的长度方向间歇移动,以切换对圆柱基材外表面进行镀膜的圆周区域。

4、本技术提供的红外半导体晶体膜镀膜装置还具有以下技术特征:

5、所述环状槽包括相同数量的斜槽、水平槽,斜槽与水平槽间隔设置且首尾依次连通。

6、所述“镀膜枪与圆柱基材相对转动”的方式为:柱体与电机的输出轴同轴固定,电机固定在支架上,柱体顶部同轴固定有不完全齿圈,不完全齿圈与第一齿轮啮合,第一齿轮与方轴的一端同轴固定,方轴的另一端通过轴承安装在支架上,方轴上设有与其同步转动的第二齿轮,第二齿轮同轴开设有方孔,方轴设置在方孔内并沿其滑动;

7、所述第二齿轮与齿圈啮合,齿圈的内圆周面上固定有镀膜枪,齿圈通过轴承安装在第一支撑环上,第一支撑环设置在圆柱基材外侧并沿其移动,第一支撑环与第二支撑环固定,第二支撑环设置在方轴外侧并沿其移动,第二支撑环上通过轴承安装有第二齿轮,第二支撑环的外圆周面与卡销固定。

8、所述不完全齿圈的外圆周面等间隔设有多个齿牙组,齿牙组由多个齿牙组成,齿牙与第一齿轮啮合。

9、所述齿牙组的数量与斜槽、水平槽的数量相同,齿牙组对应的弧长与水平槽对应的弧长相同,两个齿牙组的间隔对应的弧长与斜槽对应的弧长相同,所述齿牙组的齿牙的数量能够使齿圈转动一周。

10、本技术具有如下有益效果:通过镀膜枪与圆柱基材相对转动,以对圆柱基材外表面的一个圆周区域进行镀膜,通过卡销在多段首尾依次连通的环状槽移动,使镀膜枪能够沿圆柱基材的长度方向间歇移动,以切换对圆柱基材外表面进行镀膜的圆周区域,自动对圆柱基材外表面进行完整镀膜,形成的膜层层厚均匀,提升镀膜效率和镀膜质量。

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【技术保护点】

1.一种红外半导体晶体膜镀膜装置,包括对圆柱基材(10)的外表面进行镀膜的镀膜枪(11),其特征在于,镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动,以对圆柱基材(10)外表面的一个圆周区域进行镀膜;

2.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述环状槽(22)包括相同数量的斜槽(221)、水平槽(222),斜槽(221)与水平槽(222)间隔设置且首尾依次连通。

3.根据权利要求1或2所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动的方式为:柱体(21)与电机(24)的输出轴同轴固定,电机(24)固定在支架(25)上,柱体(21)顶部同轴固定有不完全齿圈(26),不完全齿圈(26)与第一齿轮(27)啮合,第一齿轮(27)与方轴(28)的一端同轴固定,方轴(28)的另一端通过轴承安装在支架(25)上,方轴(28)上设有与其同步转动的第二齿轮(29),第二齿轮(29)同轴开设有方孔(30),方轴(28)设置在方孔(30)内并沿其滑动;

4.根据权利要求3所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述不完全齿圈(26)的外圆周面等间隔设有多个齿牙组(261),齿牙组(261)由多个齿牙组成,齿牙与第一齿轮(27)啮合。

5.根据权利要求4所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述齿牙组(261)的数量与斜槽(221)、水平槽(222)的数量相同,齿牙组(261)对应的弧长与水平槽(222)对应的弧长相同,两个齿牙组(261)的间隔对应的弧长与斜槽(221)对应的弧长相同,所述齿牙组(261)的齿牙的数量能够使齿圈(31)转动一周。

6.根据权利要求3所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述方轴(28)的另一端通过轴承安装在支架(25)上的方式为:方轴(28)的另一端与连接环(34)的中心固定,连接环(34)通过轴承安装在支撑台(35)上,支撑台(35)与支架(25)固定。

7.根据权利要求3所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述第一支撑环(32)与第二支撑环(33)固定的方式为:第一支撑环(32)的外圆周面与支撑板(36)的一端固定,支撑板(36)的另一端与第二支撑环(33)固定。

8.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,还包括夹持组件(12),其与圆柱基材(10)的内圆周面可拆卸固定。

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【技术特征摘要】

1.一种红外半导体晶体膜镀膜装置,包括对圆柱基材(10)的外表面进行镀膜的镀膜枪(11),其特征在于,镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动,以对圆柱基材(10)外表面的一个圆周区域进行镀膜;

2.根据权利要求1所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述环状槽(22)包括相同数量的斜槽(221)、水平槽(222),斜槽(221)与水平槽(222)间隔设置且首尾依次连通。

3.根据权利要求1或2所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述镀膜枪(11)与圆柱基材(10)相对转动的方式为:柱体(21)与电机(24)的输出轴同轴固定,电机(24)固定在支架(25)上,柱体(21)顶部同轴固定有不完全齿圈(26),不完全齿圈(26)与第一齿轮(27)啮合,第一齿轮(27)与方轴(28)的一端同轴固定,方轴(28)的另一端通过轴承安装在支架(25)上,方轴(28)上设有与其同步转动的第二齿轮(29),第二齿轮(29)同轴开设有方孔(30),方轴(28)设置在方孔(30)内并沿其滑动;

4.根据权利要求3所述的红外半导体晶体膜镀膜装置,其特征在于,所述不完全齿圈(26)的外圆周面等间隔设有多个齿牙组(...

【专利技术属性】
技术研发人员:任卫民张东升杨勇白雨晴
申请(专利权)人:信阳星原智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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