System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种精确振动抑制平台组合装置制造方法及图纸_技高网

一种精确振动抑制平台组合装置制造方法及图纸

技术编号:41309527 阅读:6 留言:0更新日期:2024-05-13 14:53
本发明专利技术涉及振动抑制平台领域,特别是一种精确振动抑制平台组合装置,精确振动抑制平台组合装置,其包括平台机构,其包括第一平台组件,以及设置在第一平台组件上方的第二平台组件;存放移动机构,其包括设置在平台机构外部的保护框架组件、设置在保护框架组件中间的抗压组件,以及设置在抗压组件中的自解锁组件。通过平台机构和存放移动机构的相互配合,能避免振动抑制平台在批量运送时的挤压,简化搬运过程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及振动抑制平台领域,特别是一种精确振动抑制平台组合装置


技术介绍

1、振动抑制平台是一种专门设计用于减少或抑制机械振动的设备;它通常由振动传感器、控制系统和减振装置组成,可以通过监测振动并实时调节减振装置来抑制振动;振动抑制平台通常用于需要高精度和稳定性的设备或实验室环境中,例如光学系统、精密测量设备、半导体制造设备等,它的主要作用是减少外部振动对设备的影响,提高设备的工作精度和可靠性。

2、现有的振动抑制平台在批量运送过程中需要堆叠运送,但堆叠时平台之间的互相挤压会导致压力超过气体室的承压极限,导致振动抑制平台的精度下降;与此同时,振动抑制平台的在运送至目的地后如何搬运也是一大问题,常规的人工搬运费时费力。


技术实现思路

1、鉴于上述或现有技术中存在的问题,提出了本专利技术。

2、因此,本专利技术的目的是提供一种精确振动抑制平台组合装置,其能解决振动抑制平台在批量运送时的挤压问题和搬运麻烦的问题。

3、为解决上述技术问题,本专利技术提供如下技术方案:一种精确振动抑制平台组合装置,其包括平台机构,其包括第一平台组件,以及设置在第一平台组件上方的第二平台组件;存放移动机构,其包括设置在平台机构外部的保护框架组件、设置在保护框架组件中间的抗压组件,以及设置在抗压组件中的自解锁组件。

4、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述第一平台组件包括第一工作台、以及设置在第一工作台上部的伺服电机和激光干涉仪接收端。

5、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述第二平台组件包括第二工作台、连接第二工作台和第一工作台的波纹管、固定在第二工作台底部且位于激光干涉仪接收端正上方的激光干涉仪输出端、通过气管连接至波纹管的气体室,以及电性连接至气体室的单片机。

6、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述保护框架组件包括设置在第一工作台底部的保护底板、铰接在保护底板外壁上的第一折板件,以及铰接在第一折板件上部的第二折板件;所述第一折板件包括第一直部和第二直部,所述第一直部一端铰接在保护底板外壁上,所述第二直部端部固定在所述第一直部另一端;所述第二折板件包括一端铰接在第二直部中段的第三直部,以及端部固定在第三直部另一端的第四直部。

7、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述抗压组件包括抗压壳,所述抗压壳中间开设有拉孔、同轴连通于拉孔底部的活动腔,以及同轴连通于活动腔底部的压孔;所述活动腔侧壁上开设有于活动腔轴向方向平行的滑槽,所述活动腔侧壁上距滑槽间隔一定角度还开设有滑块孔,所述滑块孔连通外部还依次开设有滑板腔和滑板孔。

8、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述抗压组件还包括滑动设置在活动腔中的调节柱,以及滑动设置在调节柱中的拉件;所述调节管包括滑动设置在活动腔中的第一限位环,以及滑动设置在拉孔中的调节柱体;所述调节柱体中开设有拉盖孔、同轴连通于拉盖孔下部的第一连柱孔、同轴连通于第一连柱孔下部的拉盖腔,以及不同轴连通于拉盖腔下部的第二连柱孔。

9、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述拉件包括滑动设置在拉盖孔中的第一拉盖、滑动设置在第一连柱孔中且固定在第一拉盖下部的第一连柱、滑动设置在拉盖腔底部且固定在第一连柱下部的第二拉盖、固定在第二拉盖底部且滑动设置在第二连柱孔中的第二连柱,所述第一连柱上还套设有第一弹簧。

10、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述自解锁组件包括设置在第一限位环下部的旋件、设置在滑板腔中的滑板件,以及设置在旋件中间的压板件。

11、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述旋件包括转动设置在第一限位环下部的第一旋管,以及套设在第一旋管外部的第二旋管;所述第一旋管侧壁上开设有第一旋槽和第二旋槽,所述第二连柱一端滑动连接至第一旋槽底部;所述第二旋管内壁上固定有滑动柱,所述滑动柱一端滑动连接至第二旋槽顶部。

12、作为本专利技术所述精确振动抑制平台组合装置的一种优选方案,其中:所述滑板件包括滑动设置在滑板腔中的第一滑板,所述一端能够探出滑板孔;所述第一滑板正对滑块孔的一端还开设有滑块腔,所述滑块腔中滑动设置有滑块,以及两端接触滑块和滑块腔的第二弹簧,所述滑块伸入活动腔的部分的顶部棱边经过倒圆处理;所述压板件包括固定在调节柱下端的伸缩杆、套设在伸缩杆上的第三弹簧、固定在伸缩杆下端且滑动设置在活动腔中的第一压板、固定在第一压板下部且滑动设置在压孔中的压柱,以及固定在压柱下端且接触第二工作台顶部的第二压板。

13、本专利技术有益效果为:本专利技术所述的一种精确振动抑制平台组合装置,通过平台机构和存放移动机构的相互配合,能避免振动抑制平台在批量运送时的挤压,简化搬运过程。

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【技术保护点】

1.一种精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:包括,

2.根据权利要求1所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述第一平台组件(101)包括第一工作台(101a)、以及设置在第一工作台(101a)上部的伺服电机(101b)和激光干涉仪接收端(101c)。

3.根据权利要求2所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述第二平台组件(102)包括第二工作台(102a)、连接第二工作台(102a)和第一工作台(101a)的波纹管(102b)、固定在第二工作台(102a)底部且位于激光干涉仪接收端(101c)正上方的激光干涉仪输出端(102c)、通过气管连接至波纹管(102b)的气体室(102d),以及电性连接至气体室(102d)的单片机(102e)。

4.根据权利要求3所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述保护框架组件(201)包括设置在第一工作台(101a)底部的保护底板(201a)、铰接在保护底板(201a)外壁上的第一折板件(201b),以及铰接在第一折板件(201b)上部的第二折板件(201c);

5.根据权利要求4所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述抗压组件(202)包括抗压壳(202a),所述抗压壳(202a)中间开设有拉孔(K-1)、同轴连通于拉孔(K-1)底部的活动腔(K-2),以及同轴连通于活动腔(K-2)底部的压孔(K-3);

6.根据权利要求5所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述抗压组件(202)还包括滑动设置在活动腔(K-2)中的调节柱(202b),以及滑动设置在调节柱(202b)中的拉件(202c);

7.根据权利要求6所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述拉件(202c)包括滑动设置在拉盖孔(W-1)中的第一拉盖(202c-1)、滑动设置在第一连柱孔(W-2)中且固定在第一拉盖(202c-1)下部的第一连柱(202c-2)、滑动设置在拉盖腔(W-3)底部且固定在第一连柱(202c-2)下部的第二拉盖(202c-3)、固定在第二拉盖(202c-3)底部且滑动设置在第二连柱孔(W-4)中的第二连柱(202c-4),所述第一连柱(202c-2)上还套设有第一弹簧(202c-5)。

8.根据权利要求7所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述自解锁组件(203)包括设置在第一限位环(202b-1)下部的旋件(203a)、设置在滑板腔(K-6)中的滑板件(203b),以及设置在旋件(203a)中间的压板件(203c)。

9.根据权利要求8所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述旋件(203a)包括转动设置在第一限位环(202b-1)下部的第一旋管(203a-1),以及套设在第一旋管(203a-1)外部的第二旋管(203a-2);

10.根据权利要求9所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述滑板件(203b)包括滑动设置在滑板腔(K-6)中的第一滑板(203b-1),所述一端能够探出滑板孔(K-7);所述第一滑板(203b-1)正对滑块孔(K-5)的一端还开设有滑块腔(K-8),所述滑块腔(K-8)中滑动设置有滑块(203b-2),以及两端接触滑块(203b-2)和滑块腔(K-8)的第二弹簧(203b-3),所述滑块(203b-2)伸入活动腔(K-2)的部分的顶部棱边经过倒圆处理;

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【技术特征摘要】

1.一种精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:包括,

2.根据权利要求1所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述第一平台组件(101)包括第一工作台(101a)、以及设置在第一工作台(101a)上部的伺服电机(101b)和激光干涉仪接收端(101c)。

3.根据权利要求2所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述第二平台组件(102)包括第二工作台(102a)、连接第二工作台(102a)和第一工作台(101a)的波纹管(102b)、固定在第二工作台(102a)底部且位于激光干涉仪接收端(101c)正上方的激光干涉仪输出端(102c)、通过气管连接至波纹管(102b)的气体室(102d),以及电性连接至气体室(102d)的单片机(102e)。

4.根据权利要求3所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述保护框架组件(201)包括设置在第一工作台(101a)底部的保护底板(201a)、铰接在保护底板(201a)外壁上的第一折板件(201b),以及铰接在第一折板件(201b)上部的第二折板件(201c);

5.根据权利要求4所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述抗压组件(202)包括抗压壳(202a),所述抗压壳(202a)中间开设有拉孔(k-1)、同轴连通于拉孔(k-1)底部的活动腔(k-2),以及同轴连通于活动腔(k-2)底部的压孔(k-3);

6.根据权利要求5所述的精确振动抑制平台组合装置,其特征在于:所述抗压组件(202)还包括滑动设置在活动腔(k-2)中的调节柱(202b),以及滑动设置在调节柱(202b)中的拉件(202c);

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【专利技术属性】
技术研发人员:薛庆水崔天睿卢子譞高永福张天昊谈成龙孙晨曦李玉霞
申请(专利权)人:上海应用技术大学
类型:发明
国别省市:

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