传动连接机构及晶圆溅射装置制造方法及图纸

本申请提供了一种传动连接机构及晶圆溅射装置。所述传动连接机构包括：安装轴及连接件，安装轴的侧壁具有一向外凸起的第一定位销；所述连接件包括一套筒以及一闸板，所述套筒固定于所述闸板上，所述安装轴套接于所述套筒内，所述套筒的侧壁沿轴向设置有一定位槽，以将所述第一定位销容置于所述定位槽。上述技术方案，通过在安装轴的侧壁上设置第一定位销，并在套筒的侧壁沿轴向设置一容置第一定位销的定位槽，当安装轴套接于套筒内带动套筒旋转并进一步带动闸板运动时，所述定位槽能够对第一定位销在安装轴的径向方向上锁定，以避免安装轴与套筒脱落，从而进一步避免闸板由于安装轴与套筒的脱落停留在原处造成的生产问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及机械设备领域，尤其涉及一种传动连接机构及晶圆溅射装置。

技术介绍

1、对于varian 3000系列conmag ii的闸板(shutter)的安装，一般需要在闸板上设置定位孔并配置一具有定位销的安装轴，通过定位销与定位孔配合，将闸板安装固定于安装轴上，从而可以通过安装轴带动闸板转动。

2、但是，由于安装轴上的定位销与闸板上的定位孔通过螺丝固定，当螺丝松动或者脱落时，安装轴与闸板脱离，进而导致闸板停止不动并对产品工艺时造成部分遮挡，而安装轴继续空转，且由于设备检测的是安装轴驱动气缸的行程信号，设备并无报警提示，进而导致大量的产品报废，提高了生产成本。

3、因此，提供一种牢固的传动连接机构，以避免安装轴与闸板脱离导致的产品报废是亟需解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请所要解决的技术问题是提供一种传动连接机构及晶圆溅射装置，以避免安装轴与闸板脱离导致的产品报废。

2、为了解决上述问题，本申请提供了一种传动连接机构，包括安装轴及连接件，所述安装轴的侧壁具有一向外凸起的第一定位销；所述连接件包括一套筒以及一闸板，所述套筒固定于所述闸板上，所述安装轴套接于所述套筒内，所述套筒的侧壁沿轴向设置有一定位槽，以将所述第一定位销容置于所述定位槽。

3、在一些具体实施方式中，所述安装轴套接于所述套筒内的端部具有第二定位销，所述闸板具有与所述第二定位销匹配的定位孔，以用于在所述安装轴套接于所述套筒内时，将所述安装轴固定于所述闸板上。

4、在一些具体实施方式中，所述定位孔为通孔，并通过螺丝将所述第二定位销固定于所述通孔内。

5、在一些具体实施方式中，所述定位孔远离所述套筒的第一孔面的直径大于所述定位孔靠近所述套筒的第二孔面的直径。

6、在一些具体实施方式中，所述螺丝为外六角螺丝。

7、在一些具体实施方式中，所述第一定位销设置于所述安装轴的远离所述闸板的侧壁。

8、在一些具体实施方式中，所述定位槽的开口位于所述套筒远离所述闸板的一端，所述定位槽的深度大于三分之二所述套筒的高度。

9、在一些具体实施方式中，所述第一定位销包括本体及凸起部，所述凸起部设置于所述第一定位销远离所述安装轴的一端，所述凸起部的外缘宽度大于所述本体的外缘宽度。

10、在一些具体实施方式中，所述定位槽的宽度大于所述本体的外缘宽度并小于所述凸起部的外缘宽度。

11、为了解决上述问题，本申请还提供了一种晶圆溅射装置，包括相对设置的靶材、腔室、以及本申请所述的传动连接机构，所述靶材及所述腔室相对设置；所述传动连接机构的安装轴固定于所述腔室的边缘，所述传动连接机构的套筒套接于所述安装轴上，所述传动连接机构的闸板置于所述靶材及所述腔室之间，以遮挡置于所述腔室内的不需要进行溅射工艺的晶圆。

12、上述技术方案，通过在所述安装轴的侧壁上设置一向外凸起的第一定位销，并在连接件的所述套筒的侧壁沿轴向设置一能容置所述第一定位销的所述定位槽。当所述安装轴套接于所述套筒内带动所述套筒旋转并进一步带动所述闸板运动时，所述定位槽能够对所述第一定位销在所述安装轴的径向方向上锁定，以避免所述安装轴与所述套筒脱落，从而进一步避免所述闸板由于所述安装轴与所述套筒的脱落停留在原处造成的生产问题。

13、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本申请。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

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【技术保护点】

1.一种传动连接机构，其特征在于，包括：安装轴及连接件，

2.根据权利要求1所述的传动连接机构，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的传动连接机构，其特征在于，所述定位孔为通孔，并通过螺丝将所述第二定位销固定于所述通孔内。

4.根据权利要求3所述的传动连接机构，其特征在于，所述定位孔远离所述套筒的第一孔面的直径大于所述定位孔靠近所述套筒的第二孔面的直径。

5.根据权利要求4所述的传动连接机构，其特征在于，所述螺丝为外六角螺丝。

6.根据权利要求1所述的传动连接机构，其特征在于，所述第一定位销设置于所述安装轴的远离所述闸板的侧壁。

7.根据权利要求1所述的传动连接机构，其特征在于，所述定位槽的开口位于所述套筒远离所述闸板的一端，所述定位槽的深度大于三分之二所述套筒的高度。

8.根据权利要求1所述的传动连接机构，其特征在于，所述第一定位销包括本体及凸起部，所述凸起部设置于所述第一定位销远离所述安装轴的一端，所述凸起部的外缘宽度大于所述本体的外缘宽度。

9.根据权利要求8所述的传动连接机构，其特征在于，所述定位槽的宽度大于所述本体的外缘宽度并小于所述凸起部的外缘宽度。

10.一种晶圆溅射装置，其特征在于，包括靶材、腔室、以及所述权利要求1至9任一项所述的传动连接机构；

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【技术特征摘要】

1.一种传动连接机构，其特征在于，包括：安装轴及连接件，

2.根据权利要求1所述的传动连接机构，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的传动连接机构，其特征在于，所述定位孔为通孔，并通过螺丝将所述第二定位销固定于所述通孔内。

4.根据权利要求3所述的传动连接机构，其特征在于，所述定位孔远离所述套筒的第一孔面的直径大于所述定位孔靠近所述套筒的第二孔面的直径。

5.根据权利要求4所述的传动连接机构，其特征在于，所述螺丝为外六角螺丝。

6.根据权利要求1所述的传动连接机构，其特征在于，所述第一定位销设置于所述安装轴的远离所述闸板的侧壁。...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振云，陈敬海，张伟，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：