【技术实现步骤摘要】
本技术涉及静电消除，尤其是指一种oht天车表面消除静电的装置和系统。
技术介绍
1、在半导体制程中，需要在不同的生产机台之间转移晶圆，以使得晶圆完成不同的制备工序。为避免晶圆被污染或损坏，通常是将晶圆放入晶圆承载盒中，利用晶圆承载盒承载晶圆，实现晶圆在不同生产机台之间的转移。晶圆承载盒的转移通常采用自动化物料搬运系统(automated material handling system，amhs)来实现。而天车(overhead hoisttransfer，oht)作为amhs系统中的核心载体，能够沿水平布置的轨道运行并通过吊取组件抓取或放置货物。
2、半导体器件在制造、测试、存储、运输及装配过程中，仪器设备、材料及操作者都很容易因摩擦而产生几千甚至上万伏的静电电压。当晶圆片与这些带电体接触时，带电体就会进行放电，可能导致晶圆片的损伤。静电释放(electro-static discharge，esd)对半导体器件尤其是cmos集成电路、mos管和微波器件等静电敏感器件会带来严重危害。
3、现有的oht天车静电消除主要采用更改行走车轮或取放料抓取机构的材料特性，从而接触引导天车静电荷流向接地点。现有的静电消除主要采用单点的离子风机、条状离子棒等方式，需要人工手动操作，无法根据检测静电荷大小自动调节除静电功率，静电去除效率低且静电消除效果差，会出现除电未完全或过度除电的情况，导致能源浪费。随着oht天车在半导体搬运系统中的成熟应用，越来越多的研究聚焦于oht天车搬运场景中的静电消除，但是目前在该领域的研究基
技术实现思路
1、为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种oht天车表面消除静电的装置和系统，可以实时、高精度和高效地对oht天车消除静电。
2、为解决上述技术问题，本技术提供了一种oht天车表面消除静电的装置，包括：
3、支撑板，架设在oht天车轨道上并在oht天车经过时包裹oht天车；
4、离子风机模块，固定在所述支撑板上，包括至少一个离子风机；
5、电荷检测模块，设于oht天车表面，包括电荷传感器；
6、天车操作控制模块，通过无线方式和所述电荷检测模块连接，通过无线方式和oht天车连接并控制oht天车移动，通过无线方式和所述离子风机模块连接控制离子风机模块工作。
7、在本技术的一个实施例中，所述支撑板包括至少一个风机板，所述离子风机穿设并固定在所述风机板上；当所述风机板为多个时，多个所述风机板位于oht天车轨道的不同侧面上。
8、在本技术的一个实施例中，还包括电源模块，所述电源模块包括：
9、无线取电机构，分别与所述oht天车、所述离子风机模块、所述电荷检测模块、所述天车操作控制模块连接；
10、供电保护机构，与所述无线取电机构连接。
11、在本技术的一个实施例中，所述离子风机模块还包括：
12、风机供电模块，分别与所述离子风机、所述无线取电机构连接；
13、风机控制模块，分别与所述天车操作控制模块、所述风机供电模块连接。
14、在本技术的一个实施例中，还包括无线传输单元，分别与所述风机控制模块、所述天车操作控制模块连接。
15、在本技术的一个实施例中，所述支撑板还包括电控板，所述无线取电机构、供电保护机构、风机供电模块、风机控制模块、无线传输单元设于所述电控板上，所述电控板和所述离子风机的安装平面不在一个平面上。
16、在本技术的一个实施例中，还包括轨道支撑模块，所述轨道支撑模块包括：
17、轨道稳定模块，包括弓形杆，所述弓形杆架设在oht天车轨道上方和/或下方，在水平方向对oht天车轨道进行限位；
18、轨道吊装螺杆，设于oht天车轨道一侧或两侧，在竖直方向对oht天车轨道进行限位。
19、在本技术的一个实施例中，还包括离子风机保护罩，位于所述支撑板远离oht天车轨道的一侧并覆盖所述离子风机。
20、在本技术的一个实施例中，所述电荷检测模块还包括温度传感器和湿度传感器。
21、本技术还提供了一种oht天车表面消除静电的系统，包括多个所述的oht天车表面消除静电的装置和多条oht天车轨道，多条所述oht天车轨道间连通并穿设在所述oht天车表面消除静电的装置内，oht天车在所述oht天车轨道上移动。
22、本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
23、本技术通过支撑板，可以快速方便地安装在oht天车轨道上；同时，通过电荷检测模块实现了对oht天车表面存在的静电荷的实时检测，并在天车操作控制模块的配合下将oht天车移动到离子风机模块处，结合实时静电荷对oht天车进行静电消除操作，有效提高静电消除效果且静电去除效率高。
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1.一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板包括至少一个风机板，所述离子风机穿设并固定在所述风机板上；当所述风机板为多个时，多个所述风机板位于OHT天车轨道的不同侧面上。
3.根据权利要求1所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于，还包括电源模块，所述电源模块包括：
4.根据权利要求3所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述离子风机模块还包括：
5.根据权利要求4所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：还包括无线传输单元，分别与所述风机控制模块、所述天车操作控制模块连接。
6.根据权利要求5所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板还包括电控板，所述无线取电机构、供电保护机构、风机供电模块、风机控制模块、无线传输单元设于所述电控板上，所述电控板和所述离子风机的安装平面不在一个平面上。
7.根据权利要求1所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：还包括
8.根据权利要求1所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：还包括离子风机保护罩，位于所述支撑板远离OHT天车轨道的一侧并覆盖所述离子风机。
9.根据权利要求1-8任一项所述的一种OHT天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述电荷检测模块还包括温度传感器和湿度传感器。
10.一种OHT天车表面消除静电的系统，其特征在于：包括多个如权利要求1-9任一项所述的OHT天车表面消除静电的装置和多条OHT天车轨道，多条所述OHT天车轨道间连通并穿设在所述OHT天车表面消除静电的装置内，OHT天车在所述OHT天车轨道上移动。
...【技术特征摘要】
1.一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板包括至少一个风机板，所述离子风机穿设并固定在所述风机板上；当所述风机板为多个时，多个所述风机板位于oht天车轨道的不同侧面上。
3.根据权利要求1所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于，还包括电源模块，所述电源模块包括：
4.根据权利要求3所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述离子风机模块还包括：
5.根据权利要求4所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：还包括无线传输单元，分别与所述风机控制模块、所述天车操作控制模块连接。
6.根据权利要求5所述的一种oht天车表面消除静电的装置，其特征在于：所述支撑板还包括电控板，所述无线取电机构、供电保护机构、风...
【专利技术属性】
技术研发人员：范恒文，
申请(专利权)人：成川科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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