一种沉积炉制造技术

本技术适用于沉积炉技术领域，提供了一种沉积炉，包括上炉体，上炉体底部滑动配合有下炉体；上炉体外周侧面固定有若干梯形柱，若干梯形柱之间固定有定位环，其中两梯形柱底部均固定有U形滑框，定位环底部固定有支撑杆，支撑杆底部固定有底座，其中两底座相对两侧面均固定有L形挡板，L形挡板一侧固定有气缸；下炉体周侧面固定有对称的两滑块，滑块相对两侧面均固定有第一销轴，第一销轴周侧面转动配合有提拉臂，两提拉臂一侧靠近底部均转动配合有第二销轴，两第二销轴之间固定有推板，该沉积炉简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，使得化学气体与待化学沉积物充分接触，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性，增加了化学沉积效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及沉积炉，更具体地说，它涉及一种沉积炉。

技术介绍

1、在碳碳复合材料正常生产中，沉积炉是必不可少的设备，通过对铸锭炉自主改造创新、创造出碳碳复合材料专用的化学气相沉积炉,具有节能降耗、降低生产成本、提高沉积密度等优势。

2、目前，市场上的沉积炉在其使用的过程中多存在以下技术问题：

3、现有的沉积炉的下炉体与上炉体之间的传动过程过于繁琐，且多是通过体滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降的方式进行，导致下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性较差，且现有的沉积炉在通入的化学气体时，难以均匀且持续的与待化学沉积物充分接触，降低了化学沉积的效果。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种能够代替原有的下炉体滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降，且该过程中简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性，且能够使得通入的化学气体均匀且持续的与置物板顶部的待化学沉积物充分接触，以此增加化学沉积效果的一种沉积炉。

2、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：

3、一种沉积炉,包括上炉体，所述上炉体底部滑动配合有下炉体；所述上炉体外周侧面固定有若干梯形柱，若干所述梯形柱之间固定有定位环，其中两所述梯形柱底部均固定有u形滑框，所述定位环底部固定有支撑杆，所述支撑杆底部固定有底座，其中两所述底座相对两侧面均固定有l形挡板，所述l形挡板一侧固定有气缸。

4、所述下炉体周侧面固定有对称的两滑块，所述滑块相对两侧面均固定有第一销轴，所述第一销轴周侧面转动配合有提拉臂，两所述提拉臂一侧靠近底部均转动配合有第二销轴，两所述第二销轴之间固定有推板，所述推板一侧固定有安装筒，所述安装筒与气缸伸缩端固定安装。

5、本技术进一步设置为：所述上炉体底部固定有第一贴合环，所述第一贴合环底部开设有密封槽。

6、所述下炉体顶部固定有第二贴合环，所述第二贴合环顶部固定有密封垫，所述密封垫与密封槽卡接配合。

7、本技术进一步设置为：所述上炉体外顶部贯穿连通有l形进气管，所述l形进气管一端位于上炉体内部连通有流通管，所述流通管一端连通有螺纹盘管，所述螺纹盘管周侧面连通有若干出气管。

8、本技术进一步设置为：所述下炉体内部固定有置物板，所述置物板顶部开设有若干透气孔。

9、本技术进一步设置为：所述下炉体外周侧面连通有若干出气管道，所述出气管道周侧面设置有泄气阀。

10、本技术进一步设置为：所述l形进气管另一端连通有储气箱，所述储气箱一侧连通有导气管。

11、本技术的优点是：

12、1、本技术通过提拉臂的相互收缩或扩张，可分别为两滑块提供一个向上或向下滑动的作用力，带动两滑块分别在两u形滑框内部向上或向下滑动，使得下炉体逐渐地与上炉体靠近或远离，以此代替原有的下炉体滚珠丝杠升降，或者电机及减速机构工作升降，且该过程中简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性。

13、2、本技术通过螺纹盘管及其周侧面所连通的若干出气管，可使得通入的化学气体能够均匀且持续的与置物板顶部的待化学沉积物充分接触，以此增加化学沉积效果。

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【技术保护点】

1.一种沉积炉，包括上炉体(1)，所述上炉体(1)底部滑动配合有下炉体(2)；其特征在于：所述上炉体(1)外周侧面固定有若干梯形柱(3)，若干所述梯形柱(3)之间固定有定位环(4)，其中两所述梯形柱(3)底部均固定有U形滑框(5)，所述定位环(4)底部固定有支撑杆(6)，所述支撑杆(6)底部固定有底座(7)，其中两所述底座(7)相对两侧面均固定有L形挡板(8)，所述L形挡板(8)一侧固定有气缸(9)；

2.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述上炉体(1)底部固定有第一贴合环(16)，所述第一贴合环(16)底部开设有密封槽(17)；

3.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述上炉体(1)外顶部贯穿连通有L形进气管(20)，所述L形进气管(20)一端位于上炉体(1)内部连通有流通管(21)，所述流通管(21)一端连通有螺纹盘管(22)，所述螺纹盘管(22)周侧面连通有若干出气管(23)。

4.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于：所述下炉体(2)内部固定有置物板(24)，所述置物板(24)顶部开设有若干透气孔(25)。</p>

5.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述下炉体(2)外周侧面连通有若干出气管道(26)，所述出气管道(26)周侧面设置有泄气阀。

6.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于：所述L形进气管(20)另一端连通有储气箱(27)，所述储气箱(27)一侧连通有导气管(28)。

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【技术特征摘要】

1.一种沉积炉，包括上炉体(1)，所述上炉体(1)底部滑动配合有下炉体(2)；其特征在于：所述上炉体(1)外周侧面固定有若干梯形柱(3)，若干所述梯形柱(3)之间固定有定位环(4)，其中两所述梯形柱(3)底部均固定有u形滑框(5)，所述定位环(4)底部固定有支撑杆(6)，所述支撑杆(6)底部固定有底座(7)，其中两所述底座(7)相对两侧面均固定有l形挡板(8)，所述l形挡板(8)一侧固定有气缸(9)；

2.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述上炉体(1)底部固定有第一贴合环(16)，所述第一贴合环(16)底部开设有密封槽(17)；

3.根据权利要求1所述的一种沉积炉，其特征在于：所述上炉体(1)外顶部贯穿连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：王冲普，高云豪，张杰，刘春茂，张晓琦，张彦峰，逯娟娟，
申请(专利权)人：包头晶旭碳碳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：