【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备管理，具体为一种半导体设备报警管理系统。
技术介绍
1、半导体设备报警管理系统是用于监控和控制半导体制造过程中设备状态的一个关键系统。主要功能包括实时监测与报警、统一监控管理和集中报警中心。通过设定特定的阈值和规则，系统能够对设备状态进行实时监测，一旦设备出现异常情况，如温度过高或压力异常，系统会立即发出报警信号。半导体设备报警系统建立了统一的报警中心，避免了信息孤岛的问题，确保了信息的流通和共享，还可以集中显示和处理所有设备的报警信息，使得企业能够及时响应设备报警，快速处理异常情况，及时通知相关人员并干预生产过程，减少生产中断的风险，从而减小产品发生质量问题的风险，提高产品的良率。
2、目前，传统半导体设备报警管理系统难以适应新的监控需求和技术标准，可扩展性差，一定范围内限制了企业的发展和升级能力，集中监控、高度集成、智能化处理等系统性能有待提高，缺乏更有效的整合，信息孤岛容易导致系统误报，无法实现资源共享和统一管理，不能确保生产安全、生产质量和效率。
技术实现思路
1、（一）解决的技术问题
2、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种半导体设备报警管理系统，具备灵活适用多种监控流程可扩展性强、数据集成共享协同性高等优点，解决了传统半导体设备报警管理系统可扩展性差难以适应新的技术需求，数据集成协同性差容易误报的问题。
3、（二）技术方案
4、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：半导体设备报警管理系统，
5、所述实时监控模块包括初期监控单元、中期监控单元和后期监控单元，所述初期监控单元通过网络连接提拉法设备和热氧化炉采集初期数据集，进行编号后传输至集成分析模块，所述中期监控单元通过网络连接光刻机和刻蚀设备标记初期数据集，组成中期数据集后传输至集成分析模块，所述后期监控单元通过网络连接薄膜沉积设备和互连封装设备标记中期数据集，组成后期数据集后传输至集成分析模块，所述实时监控模块通过网络连接集成分析模块；
6、所述集成分析模块包括初期质检单元、中期质检单元、后期质检单元和集成质检单元，所述集成分析模块通过网络连接数据库采集参考数据集，并进行编号，所述初期质检单元根据初期数据集和参考数据集，筛选生成初期数据组，所述中期质检单元根据中期数据集和参考数据集，筛选生成中期数据组，所述后期质检单元根据后期数据集和参考数据集，筛选生成后期数据组，所述集成质检单元根据初期数据组、中期数据组和后期数据组，计算生成集成数据组，所述集成分析模块通过网络连接警报输出模块；
7、所述警报输出模块包括独立管控单元和整体管控单元，所述独立管控单元根据初期数据组、中期数据组和后期数据组对比参考数据集，生成对应指令传输至中央控制系统，所述整体管控单元根据集成数据组对比参考数据集，生成对应指令传输至中央控制系统。
8、优选的，所述初期监控单元根据初期数据集特征对每批次半导体晶圆加工和氧化绝缘环节数据进行编号，所述初期数据集编号为、、、...。
9、优选的，所述中期监控单元通过网络连接光刻机和刻蚀设备标记初期数据集中质检合格的初期半导体产品，标记为并组成中期数据集，所述后期监控单元通过网络连接薄膜沉积设备和互连封装设备标记中期数据集中质检合格的中期半导体产品，标记为并组成后期数据集。
10、优选的，所述参考数据集包括参考初期工艺标准、参考中期工艺标准、参考后期工艺标准、参考初期良品率、参考中期良品率、参考后期良品率和参考生产线良品率，所述集成分析模块根据参考数据集特征对其进行编号，所述参考数据集编号为、、、、、和。
11、优选的，所述初期质检单元根据初期数据集和参考数据集，筛选生成初期数据组，其筛选算法公式如下：
12、
13、
14、公式中，表示初期数据组，表示初期数据集中区间1到n的半导体晶圆加工和氧化绝缘环节数据对比参考初期工艺标准筛选出的质检合格的初期半导体产品，表示初期数据集中指定批次的半导体晶圆加工和氧化绝缘环节数据与参考初期工艺标准数据的离散程度，表示提拉法设备和热氧化炉生产指定批次时的良品率。
15、优选的，所述中期质检单元根据中期数据集和参考数据集，筛选生成中期数据组，其筛选算法公式如下：
16、
17、
18、公式中，表示中期数据组，表示中期数据集中区间1到n的半导体晶圆光刻和图案刻蚀环节数据对比参考中期工艺标准筛选出的质检合格的中期半导体产品，表示中期数据集中指定批次的半导体晶圆光刻和图案刻蚀环节数据与参考中期工艺标准数据的离散程度，表示光刻机和刻蚀设备生产指定批次时的良品率。
19、优选的，所述后期质检单元根据后期数据集和参考数据集，筛选生成后期数据组，其筛选算法公式如下：
20、
21、
22、公式中，表示后期数据组，表示后期数据集中区间1到n的半导体薄膜沉积和互连封装环节数据对比参考后期工艺标准筛选出的质检合格的后期半导体产品，表示后期数据集中指定批次的半导体薄膜沉积和互连封装环节数据与参考后期工艺标准数据的离散程度，表示薄膜沉积设备和互连封装设备生产指定批次时的良品率。
23、优选的，所述集成质检单元根据初期数据组、中期数据组和后期数据组，计算生成集成数据组，其计算公式如下：
24、
25、公式中，表示集成数据组，表示初期数据组良品率数据的权重指数，表示中期数据组良品率数据的权重指数，表示后期数据组良品率数据的权重指数，表示整条生产流水线数据集成在不同权重加持下的平均良品率。
26、优选的，所述独立管控单元根据初期数据组、中期数据组和后期数据组对比参考初期良品率、参考中期良品率和参考后期良品率，所述初期数据组低于参考初期良品率生成初期工艺警报指令传输至中央控制系统，所述中期数据组低于参考中期良品率生成中期工艺警报指令传输至中央控制系统，所述后期数据组低于参考后期良品率生成后期工艺警报指令传输至中央控制系统。
27、优选的，所述整体管控单元根据集成数据组对比参考生产线良品率，所述集成数据组低于参考生产线良品率生成生产线异常警报指令传输至中央控制系统。
28、与现有技术相比，本专利技术提供了半导体设备报警管理系统，具备以下有益效果：
29、1、本专利技术通过实时监控模块设置初期监控单元网络连接提拉法设备和热氧化炉采集初期数据集，中期监控单元通过网络连接光刻机和刻蚀设备标记初期数据集中质检合格的初期半导体产品为，组成中期数据集，后期监控单元通过网络连接薄膜沉积设备和互连封装设备标记中期数据集中质检合格的中期半导体产品为，组成后期数据集，每个监控单元的数据源具有唯一性，避免了信息孤岛的问题，确保了信息的流通和共享，针对新的监控需求和技术标准，监控单元可任意增加或减少，数据源采集具有易扩展、稳定性高、跨平台等优势，实时监控模块通过本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.半导体设备报警管理系统，其特征在于：包括实时监控模块、集成分析模块和警报输出模块；
2.根据权利要求1所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述初期监控单元根据初期数据集特征对每批次半导体晶圆加工和氧化绝缘环节数据进行编号，所述初期数据集编号为、、、...。
3.根据权利要求2所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述中期监控单元通过网络连接光刻机和刻蚀设备标记初期数据集中质检合格的初期半导体产品，标记为并组成中期数据集，所述后期监控单元通过网络连接薄膜沉积设备和互连封装设备标记中期数据集中质检合格的中期半导体产品，标记为并组成后期数据集。
4.根据权利要求3所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述参考数据集包括参考初期工艺标准、参考中期工艺标准、参考后期工艺标准、参考初期良品率、参考中期良品率、参考后期良品率和参考生产线良品率，所述集成分析模块根据参考数据集特征对其进行编号，所述参考数据集编号为、、、、、和。
5.根据权利要求4所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述初期质检单元根据初期数据集和参考数据集，
6.根据权利要求5所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述中期质检单元根据中期数据集和参考数据集，筛选生成中期数据组，其筛选算法公式如下：
7.根据权利要求6所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述后期质检单元根据后期数据集和参考数据集，筛选生成后期数据组，其筛选算法公式如下：
8.根据权利要求7所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述集成质检单元根据初期数据组、中期数据组和后期数据组，计算生成集成数据组，其计算公式如下：
9.根据权利要求7所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述独立管控单元根据初期数据组、中期数据组和后期数据组对比参考初期良品率、参考中期良品率和参考后期良品率，所述初期数据组低于参考初期良品率生成初期工艺警报指令传输至中央控制系统，所述中期数据组低于参考中期良品率生成中期工艺警报指令传输至中央控制系统，所述后期数据组低于参考后期良品率生成后期工艺警报指令传输至中央控制系统。
10.根据权利要求8所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述整体管控单元根据集成数据组对比参考生产线良品率，所述集成数据组低于参考生产线良品率生成生产线异常警报指令传输至中央控制系统。
...【技术特征摘要】
1.半导体设备报警管理系统，其特征在于：包括实时监控模块、集成分析模块和警报输出模块；
2.根据权利要求1所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述初期监控单元根据初期数据集特征对每批次半导体晶圆加工和氧化绝缘环节数据进行编号，所述初期数据集编号为、、、...。
3.根据权利要求2所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述中期监控单元通过网络连接光刻机和刻蚀设备标记初期数据集中质检合格的初期半导体产品，标记为并组成中期数据集，所述后期监控单元通过网络连接薄膜沉积设备和互连封装设备标记中期数据集中质检合格的中期半导体产品，标记为并组成后期数据集。
4.根据权利要求3所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述参考数据集包括参考初期工艺标准、参考中期工艺标准、参考后期工艺标准、参考初期良品率、参考中期良品率、参考后期良品率和参考生产线良品率，所述集成分析模块根据参考数据集特征对其进行编号，所述参考数据集编号为、、、、、和。
5.根据权利要求4所述的半导体设备报警管理系统，其特征在于：所述初期质检单元根据初期数据集和参考数据集，筛选生成初期数据组，其筛选算法公式如下：
6.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：许海渐，王海荣，申凡平，孙军伟，
申请(专利权)人：南通优睿半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
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