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用于基板库的卸载装置、基板库系统制造方法及图纸

技术编号:41290190 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-13 14:41
本发明专利技术涉及一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库(3、4、5)具有多个抽屉(7),在抽屉中可以安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面可以放置基板的、可驱控的传送带(25),具有至少一个可驱控的夹持臂(10),该夹持臂被构造用于将至少一个基板从所述基板库(3、4、5)的抽屉中推出到所述传送带(25)上,其中,所述传送带(25)和所述夹持臂(10)布置在一个共同的且可移动地支撑的载体(8)上,其中,所述夹持臂(10)至少在初始位置上布置在所述传送带(25)的下方,以从下方夹持至少一个基板向外推出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库具有多个抽屉,在抽屉中可以安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面可以放置基板的、可驱控的传送带,具有至少一个可驱控的夹持臂,该夹持臂被构造用于将至少一个基板从基板库的抽屉中推出到所述传送带上,其中,所述传送带和所述夹持臂布置在一个共同的且可移动地支撑的载体上,其中,所述夹持臂至少在初始位置上布置在传送带的下方,以从下方夹持至少一个基板。此外,本专利技术还涉及一种用于平坦基板装配线的基板库系统,其具有至少一个具有多个抽屉的基板库,在这些抽屉中可以布置用于存储或临时存储的基板。


技术介绍

1、上述类型的卸载装置是从现有技术中已知的。例如,公开文献de 10 2019 217033a1中描述了一种类属的卸载装置。它有支承在载体上的夹持臂,该夹持臂可以移动到基板库中,以将基板从库的抽屉中抽出。为此,该夹持臂在其自由的和首先要插入到库中端部上具有可摇转的夹持指,该夹持指在插入时朝着水平方向,从而使得其能够插入到叠置的基板或抽屉之间,并且在已插入状态下,该夹持指围绕着垂直的位置或朝向摇转,以在抽出夹持臂时将基板从抽屉中抽出或推入,从而将基板通过夹持臂推到传送带上。

2、如果基板库以如下方式构成,即,使得包含多个直接上下叠置的基板的基板堆可以被布置在一个抽屉中,则所述夹持臂不能被移动到两个上下叠置的基板之间,并且这堆基板总是只能由夹持臂一起从基板库中向外抽出。因此,上述文献设计的是,设计一个额外的可移动真空夹持器作为分离装置,其被构造成从上方夹持基板库中的一个基板,并由此将其从基板堆上取下或者说单独分开,并且单独地或者说与该基板堆的其他部分脱离开地放置到传送带上。


技术实现思路

1、本专利技术的基本任务是提供一种用于基板库的、改良后的卸载装置,该卸载装置尤其需要较少的安装空间和复杂度较低的、可用于进行分离的致动机构。

2、本专利技术的基本任务是一种卸载装置。这种卸载装置具有的优点是,在没有真空夹持器的情况下完成对基板堆的分离,其中,分离过程在所述卸载装置中而不是在基板库本身中进行,由此在基板库自身中不必保留空间,而对于用于分离基板库的真空夹持器来说,这个空间则原本是必要的。

3、根据本专利技术为此设计的是,所述夹持臂被构造成从传送带上方的抽屉之一中向外推出一个包含多个上下叠置的基板的基板堆,在传送带上方布置分离装置,基板堆可以由夹持臂被推入到这个分离装置中,并且所述分离装置被构造成将基板堆的最下面的基板从基板堆中分离开,并将其放置在下方的传送带上。通过根据本专利技术的方式将基板堆向下分离,因此将单个的基板从基板堆中向下取出,这样就提供了一种特别精简的解决方案,因为分离的基板可以直接地或几乎直接地放置在传送带上。由此使得不仅卸载装置的致动机构还有有利的构造空间与先前已知的解决方案相比都明显更小。

4、优选地,所述分离装置具有两个彼此间隔开布置的引导壁,基板堆可以以垂直引导的方式容纳在它们之间。通过这些引导壁得以实现的是,将基板堆可靠地保持在这些引导壁之间,并且尤其是保持一定的阵形。通过这些引导壁防止上下叠置的基板相对滑动。优选地,至少其中一个引导壁可水平移动地布置,以调节引导壁之间的距离以适应待容纳的或已容纳在引导壁之间的基板堆。在这种情况下,所述至少一个引导壁优选地被分配有可驱控的致动器,通过它能够自动化地推移所述引导壁。尤其设计的是,在将基板堆导入分离装置中之后,所述至少一个引导壁朝向另一引导壁移动,以将置于它们之间的基板堆对齐,并且在必要时将这个基板堆中移位的基板推到一起。

5、此外,优选地设计的是,导向壁的下端分配有两个间隔开且相互平行布置的导轨,基板堆可以按如下方式在导向壁之间被推动到该导轨上,即,使得最下面的基板搁置在各其中一个导轨上彼此相背的两个侧边缘上。这些导轨为此优选地从相应的引导壁朝着所述相对置的引导壁的方向竖立,从而使得导轨上的基板或基板堆可以放置在引导壁之间的边缘上。由于基板或基板堆因此仅保持在边缘上,所以导轨之间的区域可用于所述卸载装置的其他致动机构,尤其是可用于夹持臂。

6、此外,优选地设计的是,所述引导壁中的第一引导壁的末端与分配给它的第一导轨具有一定的距离,该距离至少等于最下面的基板的高度,从而使得最下面的基板可以从侧面被推入到由第一引导壁和第一导轨之间的距离构成的容纳部中。尤其是这个距离小于两个上下叠置的基板的总高度,从而通过所述这个引导壁防止两个基板会同时被推入到这个容纳部中。优选地,这个距离是可调节的,从而使得所述装载和卸载装置可以适用于不同的基板或基板堆。为此,例如所述引导壁可以在高度上或者说可以垂直推移地受支承,其中,为所述引导壁优选地分配有可驱控的致动器,尤其是电动的、气动的或液压的致动器,通过该致动器可以垂直地推移所述引导壁。如果现在最下面的基板被移动,则确保只有最下面的基板被推入到容纳部中。由此使得最下面的基板已经与剩余的基板堆分离开。

7、优选地,所述分离装置具有用于将最下面的基板推移到所述容纳部中的致动器装置,其中,所述容纳部的深度至少等于所述第二引导壁前方的导轨的宽度,即对面那个引导壁前方的对面的导轨的宽度。这确保了基板可以按如下方式被推入到所述容纳部的一定深度,使得该基板在对面一侧上不再被导轨支撑住。因此,一旦基板已经被足够深地推入到容纳部中,它就在第二导轨的一侧从上面向传送带的方向落下。由此使得基板的至少部分区域从基板堆上分离。如果容纳部的高度足够高,这就可能导致这个基板也从容纳部中自动地整体落到传送带上。

8、此外,优选地设计的是,所述致动器装置被构造成将最下面的基板超过第二导轨推入到所述容纳部中。优选地,所述第一致动器装置分配给第二引导壁和导轨,并且构造成推动装置。为此,所述致动器装置优选地具有可驱控的致动器和致动器元件,该致动器元件优选地构造为可水平移动地被支承的滑板,以朝着容纳部的方向推动一个基板。该滑板尤其是穿过由第二引导壁和第二导轨之间形成的开口。

9、此外,优选地设计的是,所述分离装置具有第二致动器装置,其被设计为将最下面的基板从容纳部中超出第一导轨向外推移。通过所述第二致动器装置,于是又可以将一度已经被推入到容纳部中的基板再次向外推出。因为这个基板此时已经与第二导轨分离并且朝着传送带的方向上掉落或翻转,所以通过将它从容纳部中推回去可以实现让这个基板现在完全从分离装置上脱离,并被抛落下面的传送带上。通过所述第二致动器装置此外还实现了第一引导壁和第一导轨之间的距离只需要构造成仅略大于待容纳的基板的高度,因为即使当在反侧上已经朝着传送带方向翻转的基板在容纳部中被卡出,通过这个致动器装置也可以将这个基板从卡紧中释放。

10、优选地,在导轨的下方尤其是相距一定垂直距离的位置布置所述至少一个传送带,这个垂直距离大于最下面的基板的高度。由此确保了从容纳部中被推回的那个最下面的基板可以被完全推到第一导轨下方,以与第二导轨脱离。

11、此外,优选地设计的是,所述分离装置被如下地设计,即,使得最下面的基本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库(3、4、5)具有多个抽屉(7),在所述抽屉中能够安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面能够放置基板的、可驱控的传送带(25),具有至少一个可驱控的夹持臂(10),所述夹持臂被构造用于将至少一个基板从所述基板库(3、4、5)的抽屉中推出到所述传送带(25)上,其中,所述传送带(25)和所述夹持臂(10)布置在一个共同的且可移动地支撑的载体(8)上,其中,所述夹持臂(10)至少在初始位置上布置在所述传送带(25)的下方,以从下方夹持至少一个基板向外推出,其特征在于,所述夹持臂(10)被构造用于从所述传送带(25)上方的抽屉(7)之一中向外推出基板堆(29),所述基板堆(29)包含多个上下叠置的基板(30_1-30_5),在所述传送带(25)上方布置分离装置(15),所述基板堆(29)能够由所述夹持臂(10)推入到所述分离装置,并且所述分离装置(15)被构造成将基板堆(29)的最下面的基板(30_5)从基板堆(29)中分离开,并将其放置在下方的传送带(25)上。

2.根据权利要求1所述的卸载装置,其特征在于,所述分离装置(15)具有两个相互间隔开布置的引导壁(16、17),在引导壁之间能够垂直引导地容纳所述基板堆(29)。

3.根据权利要求2所述的卸载装置,其特征在于,所述导向壁(16、17)的下端分配有两个间隔开且相互平行布置的导轨(18、19),基板堆(29)能够在所述导向壁(16、17)之间被推动到所述导轨上,使得所述基板堆(29)的最下面的基板(30_5)搁置在各其中一个导轨(18、19)上彼此相背的两个侧边缘上。

4.根据权利要求3所述的卸载装置,其特征在于,所述引导壁(16、17)中的第一引导壁的末端与分配给它的第一导轨(18、19)具有一定的距离(x),所述距离至少等于最下面的基板的高度,从而使得最下面的基板能够被推入到由所述第一引导壁(16)和所述第一导轨(18)之间的距离(x)构成的容纳部(20)中。

5.根据权利要求4所述的卸载装置,其特征在于,所述容纳部(20)的深度至少等于所述第二引导壁(17)前方的第二导轨(19)的宽度。

6.根据权利要求4所述的卸载装置,其特征在于,所述分离装置(15)具有第一致动器装置(21),其被构造用于将所述最下面的基板(30_5)超出所述导轨(19)推入到容纳部(20)中。

7.根据权利要求6所述的卸载装置,其特征在于,所述分离装置(15)具有第二致动器装置(26),其被构造用于将所述最下面的基板(30_5)从所述容纳部(20)中超出所述第一导轨(18)向外推出去。

8.根据权利要求7所述的卸载装置,其特征在于,在所述导轨(18、19)下方一定距离处布置了所述至少一个传送带(25),所述一定距离大于所述最下面的基板(30_5)的高度。

9.根据权利要求8所述的卸载装置,其特征在于,所述分离装置(15)构造成使得所述最下面的基板(30_5)通过借助所述第一和/或第二致动器装置(21、26)的推移直接掉落到所述至少一个传送带(25)上。

10.根据权利要求3所述的卸载装置,其特征在于,两个传送带(25_1、25_2)相互平行且间隔开地布置,其中,每个传送带都各自分配有其中一个导轨(18、19)。

11.根据权利要求10所述的卸载装置,其特征在于,在所述载体(8)上布置至少一个支撑轨(32),并且将其构造成能够在高度上移动,以在所述导轨(18、19)之间位于相应传送带(25_1、25_2)的传送面上方和所述导轨(18、19)下方的拿取位置上,从而使得最下面的基板落在所述支撑轨(32)上,并位于传送面下方的放置位置上。

12.根据权利要求1所述的卸载装置,其特征在于,所述载体(8)构造成能够在高度上移动。

13.根据权利要求11所述的卸载装置,其特征在于,所述至少一个支撑轨(32)分配给所述第二导轨(19)。

14.一种用于加工线、尤其是装配线的、平面基板的基板库系统(1),其具有至少一个基板库(3、4、5),该基板库具有多个抽屉,在抽屉中能够存放或者临时存放多个基板和/或基板堆(29),其特征在于一种根据权利要求1至13中任一项所述的卸载装置(6)。

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【技术特征摘要】

1.一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库(3、4、5)具有多个抽屉(7),在所述抽屉中能够安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面能够放置基板的、可驱控的传送带(25),具有至少一个可驱控的夹持臂(10),所述夹持臂被构造用于将至少一个基板从所述基板库(3、4、5)的抽屉中推出到所述传送带(25)上,其中,所述传送带(25)和所述夹持臂(10)布置在一个共同的且可移动地支撑的载体(8)上,其中,所述夹持臂(10)至少在初始位置上布置在所述传送带(25)的下方,以从下方夹持至少一个基板向外推出,其特征在于,所述夹持臂(10)被构造用于从所述传送带(25)上方的抽屉(7)之一中向外推出基板堆(29),所述基板堆(29)包含多个上下叠置的基板(30_1-30_5),在所述传送带(25)上方布置分离装置(15),所述基板堆(29)能够由所述夹持臂(10)推入到所述分离装置,并且所述分离装置(15)被构造成将基板堆(29)的最下面的基板(30_5)从基板堆(29)中分离开,并将其放置在下方的传送带(25)上。

2.根据权利要求1所述的卸载装置,其特征在于,所述分离装置(15)具有两个相互间隔开布置的引导壁(16、17),在引导壁之间能够垂直引导地容纳所述基板堆(29)。

3.根据权利要求2所述的卸载装置,其特征在于,所述导向壁(16、17)的下端分配有两个间隔开且相互平行布置的导轨(18、19),基板堆(29)能够在所述导向壁(16、17)之间被推动到所述导轨上,使得所述基板堆(29)的最下面的基板(30_5)搁置在各其中一个导轨(18、19)上彼此相背的两个侧边缘上。

4.根据权利要求3所述的卸载装置,其特征在于,所述引导壁(16、17)中的第一引导壁的末端与分配给它的第一导轨(18、19)具有一定的距离(x),所述距离至少等于最下面的基板的高度,从而使得最下面的基板能够被推入到由所述第一引导壁(16)和所述第一导轨(18)之间的距离(x)构成的容纳部(20)中。

5.根据权利要求4所述的卸载装置,其特征在于,所述容纳部(20)的深度至少等于所述第二引...

【专利技术属性】
技术研发人员:M·格拉斯M·拜克A·斯特雷尔
申请(专利权)人:亚席斯自动化系统有限公司
类型:发明
国别省市:

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