【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，特别是涉及一种打磨装置。
技术介绍
1、目前在外延片制备过程中，主要采用的是化学气相沉积(cvd)的制备方法。在工艺制备的过程中，可以通过加热反应室，使气体原料在反应室内发生化学反应，生成所需的沉积物，即碳化硅薄膜。其中，一部分反应物在碳化硅衬底上沉积形成薄膜，另一部分则会沉积在反应室的石墨配件上。
2、当石墨配件表面的碳化硅沉积物达到一定厚度时，将会将其取出并对其进行打磨。目前主要采用人工打磨的方式，效率低下且打磨效果较差，无法保证工艺参数的稳定性。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种打磨装置，所述打磨装置用于对外延生长装置中的石墨配件进行打磨；所述打磨装置包括电机固定座、打磨电机、打磨头以及打磨平台；
2、所述打磨电机固定于所述电机固定座，打磨头连接于所述打磨电机的输出轴，所述打磨头随所述打磨电机的输出轴的转动而转动，所述打磨平台设置于所述打磨头远离所述打磨电机的一侧，所述打磨平台设置有用于夹持石墨配件的夹具以及连接并调节所述夹具的自由度调节机构，所述自由度调节机构包括第一自由度调节组件、第二自由度调节组件、第三自由度调节组件以及第四自由度调节组件。
3、在其中一个实施例中，第一自由度为x轴方向的自由度，第二自由度为y轴方向的自由度，第三自由度为z轴方向的自由度，所述第四自由度为r轴方向的自由度。
4、在其中一个实施例中，所述第一自由度调节组件包括第一滑轨和第一调节件，所述第一滑轨沿所述x轴方
5、在其中一个实施例中，所述第二自由度调节组件包括第二滑轨和第二调节件，所述第二滑轨沿所述y轴方向延伸，所述第一自由度调节组件滑动连接于所述第二滑轨，在所述第二调节件的调节作用下，所述第一自由度调节组件在所述第二滑轨上沿所述y轴方向滑动。
6、在其中一个实施例中，所述第三自由度调节组件包括升降台和第三调节件，所述升降台通过压片连接所述第二自由度调节组件，所述升降台在所述第三调节件的调节作用下沿z轴升降。
7、在其中一个实施例中，所述第四自由度调节组件包括旋转台，所述旋转台连接所述升降台，所述旋转台能够带动所述升降台水平旋转。
8、在其中一个实施例中，所述第一调节件和所述第二调节件为手轮。
9、在其中一个实施例中，所述第三调节件为旋钮。
10、在其中一个实施例中，所述打磨头的材质为金刚石材质。
11、在其中一个实施例中，所述第一自由度调节组件、所述第二自由度调节组件、所述第三自由度调节组件以及所述第四自由度调节组件的调节精度达到0.01mm。
12、本申请实施例提供的打磨装置，设置有打磨电机、打磨头以及打磨平台，打磨电机的输出轴转动时，打磨头可以随之转动，以便对打磨平台中夹具夹持住的石墨配件进行打磨，由于夹具具有四种自由度的调节组件，因此，夹具可以带动石墨配件在第一自由度、第二自由度、第三自由度以及第四自由度自由调节位置，以便打磨头对石墨配件进行全方位的打磨，由此可以实现自动打磨，提高了打磨效果，打磨效果好，保障了后续工艺参数的稳定性。
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1.一种打磨装置，其特征在于，所述打磨装置用于对外延生长装置中的石墨配件进行打磨；所述打磨装置包括电机固定座、打磨电机、打磨头以及打磨平台；
2.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，第一自由度为X轴方向的自由度，第二自由度为Y轴方向的自由度，第三自由度为Z轴方向的自由度，第四自由度为R轴方向的自由度。
3.根据权利要求2所述的打磨装置，其特征在于，所述第一自由度调节组件包括第一滑轨和第一调节件，所述第一滑轨沿所述X轴方向延伸，所述夹具滑动连接于所述第一滑轨，在所述第一调节件的调节作用下，所述夹具在所述第一滑轨上沿所述X轴方向滑动。
4.根据权利要求3所述的打磨装置，其特征在于，所述第二自由度调节组件包括第二滑轨和第二调节件，所述第二滑轨沿所述Y轴方向延伸，所述第一自由度调节组件滑动连接于所述第二滑轨，在所述第二调节件的调节作用下，所述第一自由度调节组件在所述第二滑轨上沿所述Y轴方向滑动。
5.根据权利要求4所述的打磨装置，其特征在于，所述第三自由度调节组件包括升降台和第三调节件，所述升降台通过压片连接所述第二自由度调节组件，所
6.根据权利要求5所述的打磨装置，其特征在于，所述第四自由度调节组件包括旋转台，所述旋转台连接所述升降台，所述旋转台能够带动所述升降台水平旋转。
7.根据权利要求4所述的打磨装置，其特征在于，所述第一调节件和所述第二调节件为手轮。
8.根据权利要求5所述的打磨装置，其特征在于，所述第三调节件为旋钮。
9.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述打磨头的材质为金刚石材质。
10.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，所述第一自由度调节组件、所述第二自由度调节组件、所述第三自由度调节组件以及所述第四自由度调节组件的调节精度达到0.01mm。
...【技术特征摘要】
1.一种打磨装置，其特征在于，所述打磨装置用于对外延生长装置中的石墨配件进行打磨；所述打磨装置包括电机固定座、打磨电机、打磨头以及打磨平台；
2.根据权利要求1所述的打磨装置，其特征在于，第一自由度为x轴方向的自由度，第二自由度为y轴方向的自由度，第三自由度为z轴方向的自由度，第四自由度为r轴方向的自由度。
3.根据权利要求2所述的打磨装置，其特征在于，所述第一自由度调节组件包括第一滑轨和第一调节件，所述第一滑轨沿所述x轴方向延伸，所述夹具滑动连接于所述第一滑轨，在所述第一调节件的调节作用下，所述夹具在所述第一滑轨上沿所述x轴方向滑动。
4.根据权利要求3所述的打磨装置，其特征在于，所述第二自由度调节组件包括第二滑轨和第二调节件，所述第二滑轨沿所述y轴方向延伸，所述第一自由度调节组件滑动连接于所述第二滑轨，在所述第二调节件的调节作用下，所述第一自由度调节组件在所述第二滑轨上沿所述y...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏玉山，
申请(专利权)人：希科半导体科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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