【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光刻装置，尤其涉及一种双面光刻装置。
技术介绍
1、目前的光刻设备大多为单面光刻设备，在需要双面光刻的情况下，通常需要增设翻面设备或者通过人工对待光刻件翻面，进而实现双面光刻，这样不仅效率低、工作人员的劳动强度增大，而且会导致人工或者能耗成本增加。
2、为了提高生产效率，通常采用双工位同时生产的方式，通过两个工位分别对待光刻件的两面分别进行光刻。而采用两个工位的光刻设备，还需要增设待光刻件的输送机构、翻面机构等辅助结构，这样不仅会是设备的结构复杂、采购成本增高，而且还会使设备的占用空间增大，不仅不利于生产线的空间布局，而且导致空间成本增加。
3、可见，如何满足待光刻件双面光刻的需求，且使光刻设备的效率和成本符合预期要求是亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请提供的一种双面光刻装置，旨在解决现有技术中如何满足待光刻件双面光刻的需求，且使光刻设备的效率和成本符合预期要求的技术问题。
2、本申请提供的一种双面光刻装置，包括：
3、第一透明压板；
4、与所述第一透明压板对向设置的第二透明压板；
5、第一光刻头，所述第一光刻头位于所述第一透明压板背离所述第二透明压板的一侧；
6、第二光刻头，所述第二光刻头位于所述第二透明压板背离所述第一透明压板的一侧；
7、其中，在光刻过程中，所述第一透明压板与所述第二透明压板将待光刻件夹持于所述第一透明压板与所述第二透明压板之间，所述第一光刻头
8、更进一步地，所述第一透明压板与所述第二透明压板均为透明玻璃板。
9、更进一步地，所述第一透明压板与所述第二透明压板的透光率w均配置为80%≤w≤96%。
10、更进一步地，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度d配置为2mm≤d≤8mm。
11、更进一步地，所述第一透明压板与所述第二透明压板的边长尺寸l配置为80mm≤l≤200mm，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度d配置3mm≤d≤5mm。
12、更进一步地，所述第一透明压板与所述第二透明压板的边长尺寸l配置为500mm≤l≤800mm，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度d配置5mm≤d≤8mm。
13、更进一步地，所述第一透明压板与所述第二透明压板均竖向设置。
14、更进一步地，所述第一透明压板固定安装于第一框体，所述第二透明压板固定安装于第二框体；
15、所述第二框体设置有嵌槽，所述第一框体嵌设于所述嵌槽内。
16、更进一步地，所述第一框体与所述第二框体之间设置有缓冲垫。
17、更进一步地，所述缓冲垫是充气式的。
18、本申请所达到的有益效果是：
19、本申请提出的一种双面光刻装置，通过第一透明压板与第二透明压板将待光刻件夹持于第一透明压板与第二透明压板之间，对待光刻件进行固定并将待光刻件压平，使待光刻件的平面度符合预期要求。再通过第一光刻头与第二光刻头分别对待光刻件的两面进行光刻，进而通过一台设备的一个工位同时对待光刻件的两面进行光刻。如此，满足待光刻件双面光刻的需求，且使光刻设备的效率和成本符合预期要求。
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1.一种双面光刻装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板均为透明玻璃板。
3.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的透光率w均配置为80%≤w≤96%。
4.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度D配置为2mm≤D≤8mm。
5.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的边长尺寸L配置为80mm≤L≤200mm，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度D配置3mm≤D≤5mm。
6.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的边长尺寸L配置为500mm≤L≤800mm，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度D配置5mm≤D≤8mm。
7.根据权利要求1所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板均竖向设置。
8.根据权利要求1所述的双面光
9.根据权利要求8所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一框体与所述第二框体之间设置有缓冲垫。
10.根据权利要求9所述的双面光刻装置，其特征在于，所述缓冲垫是充气式的。
...【技术特征摘要】
1.一种双面光刻装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板均为透明玻璃板。
3.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的透光率w均配置为80%≤w≤96%。
4.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度d配置为2mm≤d≤8mm。
5.根据权利要求2所述的双面光刻装置，其特征在于，所述第一透明压板与所述第二透明压板的边长尺寸l配置为80mm≤l≤200mm，所述第一透明压板与所述第二透明压板的厚度d配置3mm≤d≤5mm。
【专利技术属性】
技术研发人员：王华，陈志特，
申请(专利权)人：广东科视光学技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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