【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及换热机组，具体涉及一种半导体工厂节能换热机组。
技术介绍
1、在对半导体进行加工时，会产生大量的热量，如果不能及时降温，将会影响半导体器件的质量和性能，因此需要通过冷却水对半导体进行降温，并且通过换热机组对冷却水进行换热冷却，进行连续循环降温。
2、现有的冷却技术存在如下问题：1、由于半导体的冷却水需要在一定温度范围内才可使用，使得在冷却水进行降温时，不同温差的冷却水经过相同的冷却环境后，会导致较低温度的冷却水过度降温，导致冷却水温度温差过大，超出标准温度，导致此时的冷却水不能直接进行循环使用；2、由于冷却水还能够有效的清洁半导体表面，去除表面的污染物和杂质，确保加工过程的成功进行，因此在冷却水进行循环时，还需要对冷却水进行过滤，但是单一过滤网的设置，在堆积过多杂质后，需要停止加工设备更换过滤网，不便于设备的持续使用。
3、针对上述问题，急需在原有半导体工厂节能换热机组的基础上进行改进设计。
技术实现思路
1、根据以上现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种半导体工厂节能换热机组，能够根据冷却水的温度改变水循环的速度，从而能够使得冷却后的冷却水温度维持在一个恒定区间，并且使用过程中能够不断的切换过滤结构。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体工厂节能换热机组，包括冷却仓，冷却仓内固定连接有排水管，排水管的顶端延伸出冷却仓的顶部，排水管的外壁上套设有螺旋状的循环管道，循环管道的前端设置有调节机构，排水管的下方
3、优选的，调节机构包括调节仓，调节仓设置在冷却仓的内壁中，调节仓的内壁上固定连接有电机，且电机主轴的底端固定连接有曲轴，曲轴的前端铰接有连杆，连杆的前端铰接有动力板，动力板的顶端设置有调节件，动力板的底端铰接有抽杆，抽杆的前端密封套设有气密仓，且气密仓的侧面和前端分别连通设置有入水管和出水口，出水口通过管道与循环管道相连通；
4、入水管和出水口上均设置有单向阀，且两组单向阀开启方向相对设置。
5、优选的，调节件包括气压仓，气压仓的末端贯穿至排水管的内腔中，气压仓的内壁中活动设置有活塞，气压仓的前端连通设置有气杆，气杆的内壁中滑动连接有推板，推板的侧壁上设置有齿轮槽，推板的侧壁上啮合设置有齿轮组，齿轮组的轴端与调节仓转动连接，齿轮组的轴端处套设有l型板，且l型板的后端与调节仓转动连接，齿轮组的一侧垂直啮合有斜齿轮，且斜齿轮的轴端处固定连接有螺纹杆，螺纹杆贯穿l型板的侧壁，并且螺纹杆的外壁上螺纹配合设置有滑动块，滑动块的底端滑动连接有弧形板，弧形板的两端均与调节仓的内壁固定连接，滑动块的顶端铰接有调节板，调节板的另一端与动力板铰接设置；
6、齿轮组由柱形齿轮与斜向齿轮固定连接组成，且柱形齿轮与推板相啮合，并且斜向齿轮与斜齿轮相啮合。
7、优选的，气压仓为远离循环管道方向设置，且气压仓水平设置在循环管道的上方。
8、优选的，过滤机构包括过滤仓，过滤仓的底壁上转动连接有齿轮盘，齿轮盘的侧面设置有联动件，齿轮盘的顶端水平设置有限制套，限制套的侧壁与过滤仓的侧壁固定连接，限制套的内壁上等间距环形阵列设置有若干个限制仓，且若干个限制仓的内壁中均插接有插块，并且若干个插块的后端均固定连接有复位弹簧，限制仓的内壁中转动连接有切换盘，切换盘的内壁中等间距环形阵列有若干个过滤筒，切换盘的侧壁上开设有限制槽，限制槽的内径与插块的外径相匹配；
9、齿轮盘的顶部轴端处固定连接有触发板，触发板的一端固定连接有拉伸弹簧，且拉伸弹簧的另一端与切换盘的底端固定连接，触发板一侧水平设置有限位柱，且限位柱的顶端与切换盘的底端固定连接。
10、优选的，若干个过滤筒与若干个插块一一对应设置，且若干个过滤筒与若干个插块之间相对错位设置。
11、优选的，若干个插块前端均具有机械加工形成的倾斜面，且倾斜面与切换盘的转动方向相同，触发板的前端为倾斜设置，且该倾斜面与插块的倾斜面方向相对设置。
12、优选的，联动件包括外齿套，外齿套的底端与过滤仓的底壁转动连接，外齿套的外壁与齿轮盘的外齿相啮合，外齿套的内壁中啮合设置有小齿轮，且小齿轮的轴端与过滤仓的底壁转动连接，小齿轮的一侧啮合设置有传动齿轮，且传动齿轮的底端通过转轴与过滤仓底端相连接，传动齿轮的顶端通过单向轴连接有拨动齿轮，拨动齿轮的侧壁啮合有齿板；
13、齿板的侧壁与过滤仓滑动连接，齿板的顶端转动连接有伸缩杆，且伸缩杆的顶端铰接有拉扯板，并且拉扯板的顶端与抽杆底端固定连接，伸缩杆的中心处固定设置有轴杆，且轴杆的两端均与冷却仓内壁转动连接。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
15、1.本专利技术在使用时，通过调节件和气压仓的设置，能够以冷却水进入时的温度来调节泵入循环管道的水的流入量，从而调节冷却水的冷却状态，避免降温过度导致水温变动过大，影响后续的加工。
16、2.本专利技术在使用时，通过若干个过滤筒的设置，能够不断的切换过滤筒，避免过滤筒内杂质过多时，过滤效果降低，影响后续的加工。
17、3.本专利技术在使用时，通过联动件的设置，在冷却部件不断泵入外部循环水时，能够不断地去触发过滤筒进行定时切换，将冷却时间与切换过滤组件的时间联动在一起，方便换热机组的使用。
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1.一种半导体工厂节能换热机组，包括冷却仓（1），其特征在于：冷却仓（1）内固定连接有排水管（2），排水管（2）的顶端延伸出冷却仓（1）的顶部，排水管（2）的外壁上套设有螺旋状的循环管道（3），循环管道（3）的前端设置有调节机构（4），排水管（2）的下方连通有过滤机构（5）。
2.根据权利要求1所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的调节机构（4）包括调节仓（41），调节仓（41）设置在冷却仓（1）的内壁中，调节仓（41）的内壁上固定连接有电机，且电机主轴的底端固定连接有曲轴（42），曲轴（42）的前端铰接有连杆（43），连杆（43）的前端铰接有动力板（44），动力板（44）的顶端设置有调节件（45），动力板（44）的底端铰接有抽杆（46），抽杆（46）的前端密封套设有气密仓（47），且气密仓（47）的侧面和前端分别连通设置有入水管（48）和出水口（49），出水口（49）通过管道与循环管道（3）相连通；
3.根据权利要求2所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的调节件（45）包括气压仓（451），气压仓（451）的末端贯穿至排水管（2）的内
4.根据权利要求3所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的气压仓（451）为远离循环管道（3）方向设置，且气压仓（451）水平设置在循环管道（3）的上方。
5.根据权利要求3所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的过滤机构（5）包括过滤仓（51），过滤仓（51）的底壁上转动连接有齿轮盘（52），齿轮盘（52）的侧面设置有联动件（53），齿轮盘（52）的顶端水平设置有限制套（54），限制套（54）的侧壁与过滤仓（51）的侧壁固定连接，限制套（54）的内壁上等间距环形阵列设置有若干个限制仓（55），且若干个限制仓（55）的内壁中均插接有插块（56），并且若干个插块（56）的后端均固定连接有复位弹簧，限制仓（55）的内壁中转动连接有切换盘（57），切换盘（57）的内壁中等间距环形阵列有若干个过滤筒（58），切换盘（57）的侧壁上开设有限制槽（59），限制槽（59）的内径与插块（56）的外径相匹配；
6.根据权利要求5所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的若干个过滤筒（58）与若干个插块（56）一一对应设置，且若干个过滤筒（58）与若干个插块（56）之间相对错位设置。
7.根据权利要求5所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的若干个插块（56）前端均具有机械加工形成的倾斜面，且倾斜面与切换盘（57）的转动方向相同，触发板（510）的前端为倾斜设置，且该倾斜面与插块（56）的倾斜面方向相对设置。
8.根据权利要求5所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的联动件（53）包括外齿套（531），外齿套（531）的底端与过滤仓（51）的底壁转动连接，外齿套（531）的外壁与齿轮盘（52）的外齿相啮合，外齿套（531）的内壁中啮合设置有小齿轮（532），且小齿轮（532）的轴端与过滤仓（51）的底壁转动连接，小齿轮（532）的一侧啮合设置有传动齿轮（533），且传动齿轮（533）的底端通过转轴与过滤仓（51）底端相连接，传动齿轮（533）的顶端通过单向轴连接有拨动齿轮（534），拨动齿轮（534）的侧壁啮合有齿板（535）；
...【技术特征摘要】
1.一种半导体工厂节能换热机组，包括冷却仓（1），其特征在于：冷却仓（1）内固定连接有排水管（2），排水管（2）的顶端延伸出冷却仓（1）的顶部，排水管（2）的外壁上套设有螺旋状的循环管道（3），循环管道（3）的前端设置有调节机构（4），排水管（2）的下方连通有过滤机构（5）。
2.根据权利要求1所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的调节机构（4）包括调节仓（41），调节仓（41）设置在冷却仓（1）的内壁中，调节仓（41）的内壁上固定连接有电机，且电机主轴的底端固定连接有曲轴（42），曲轴（42）的前端铰接有连杆（43），连杆（43）的前端铰接有动力板（44），动力板（44）的顶端设置有调节件（45），动力板（44）的底端铰接有抽杆（46），抽杆（46）的前端密封套设有气密仓（47），且气密仓（47）的侧面和前端分别连通设置有入水管（48）和出水口（49），出水口（49）通过管道与循环管道（3）相连通；
3.根据权利要求2所述的半导体工厂节能换热机组，其特征在于：所述的调节件（45）包括气压仓（451），气压仓（451）的末端贯穿至排水管（2）的内腔中，气压仓（451）的内壁中活动设置有活塞（452），气压仓（451）的前端连通设置有气杆（453），气杆（453）的内壁中滑动连接有推板（454），推板（454）的侧壁上设置有齿轮槽，推板（454）的侧壁上啮合设置有齿轮组（455），齿轮组（455）的轴端与调节仓（41）转动连接，齿轮组（455）的轴端处套设有l型板（456），且l型板（456）的后端与调节仓（41）转动连接，齿轮组（455）的一侧垂直啮合有斜齿轮（457），且斜齿轮（457）的轴端处固定连接有螺纹杆（458），螺纹杆（458）贯穿l型板（456）的侧壁，并且螺纹杆（458）的外壁上螺纹配合设置有滑动块（459），滑动块（459）的底端滑动连接有弧形板（4510），弧形板（4510）的两端均与调节仓（41）的内壁固定连接，滑动块（459）的顶端铰接有调节板（4511），调节板（4511）的另一端与动力板（44）铰接设置；
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭通，
申请(专利权)人：山东汉华工业设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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