【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在进行真空蒸镀、溅射等表面处理的成膜室对工件进行保持的机构和方法。
技术介绍
1、例如，在下述专利文献1中，公开了以下方法：在支架主体的表面设置树脂片，进一步在树脂片的表面设置粘合片，在粘合片粘接工件(基板)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本专利第6439054号公报
5、专利技术所要解决的问题
6、就上述专利文献1公开的方法而言，在表面处理时降低室内的气压时，工件恐怕会从粘合片脱落。此外，当为了防止工件从粘合片脱落而使用粘合力更高的粘合片时，会存在在表面处理完成后操作者难以剥下工件的问题。
技术实现思路
1、本专利技术鉴于上述的问题，目的在于提供一种在表面处理时工件不易脱落，且在表面处理后操作者能容易地剥下工件的工件保持机构和工件保持方法。
2、用于解决问题的手段
3、为了解决上述问题，本专利技术的第一方案的工件保持机构具备：
4、支承件；
5、胶带，设于所述支承件的表面；
6、弹性片，从与所述支承件相反的一侧设于所述胶带；以及
7、粘合片，含有玻璃纤维布，所述粘合片以从与所述支承件相反的一侧覆盖所述弹性片的方式粘合于所述弹性片，并以端部绕过该弹性片的方式粘合于所述胶带，所述粘合片的与所述支承件相反的一侧的面能粘合工件，
8、在将所述弹性片与所述胶带的粘接力设为第一粘接力，将所述粘合片与所述胶带的粘合力
9、为了解决上述问题，本专利技术的第二方案的工件保持机构具备：
10、支承件；
11、胶带，设于所述支承件的表面；
12、弹性片，从与所述支承件相反的一侧设于所述胶带；以及
13、粘合片，含有玻璃纤维布，所述粘合片以将所述弹性片的整体内包的方式粘合于该弹性片，所述粘合片的所述支承件侧的面粘合于所述胶带，所述粘合片的与所述支承件相反的一侧的面能粘合工件，
14、在将所述粘合片与所述胶带的粘合力设为第一粘合力，将所述粘合片与所述工件的粘合力设为第二粘合力，将所述弹性片与所述粘合片的粘合力设为第三粘合力的情况下，为该第一粘合力＞该第二粘合力＞该第三粘合力。
15、在本专利技术的第三方案中，
16、在将在对所述工件的表面处理中产生的、将该工件从所述粘合片拉开的方向的剥离力设为第一剥离力，将从所述粘合片拆卸该工件的剥离力设为第二剥离力的情况下，为所述第二粘合力＞该第二剥离力＞所述第三粘合力＞该第一剥离力。
17、在本专利技术的第四方案中，
18、当施加所述第二剥离力时，所述粘合片与所述弹性片之间产生间隙，该粘合片为呈现弧形的形状，在该弧形中，将该粘合片的与所述工件的接触部分的中央设为最上部。
19、为了解决上述问题，在本专利技术的第五方案的工件保持方法中，
20、在支承件的表面设有胶带，
21、将弹性片从与所述支承件相反的一侧设于所述胶带，
22、使粘合片以从与所述支承件相反的一侧覆盖所述弹性片的方式粘合于所述弹性片，并以端部绕过该弹性片的方式粘合于所述胶带，
23、使工件粘合于含有玻璃纤维布的所述粘合片的与所述支承件相反的一侧的面，
24、在施加了从所述粘合片拆卸所述工件的剥离力的情况下，该粘合片为呈现弧形的形状，在该弧形中，将该粘合片的与所述工件的接触部分的中央设为最上部。
25、为了解决上述问题，在本专利技术的第六方案的工件保持方法中，
26、在支承件的表面设有胶带，
27、将弹性片从与所述支承件相反的一侧设于所述胶带，
28、使粘合片以将所述弹性片的整体内包的方式粘合于该弹性片，使所述粘合片的所述支承件侧的面粘合于所述胶带，
29、使工件粘合于含有玻璃纤维布的所述粘合片的与所述支承件相反的一侧的面，
30、在施加了从所述粘合片拆卸所述工件的剥离力的情况下，该粘合片为呈现弧形的形状，在该弧形中，将该粘合片的与所述工件的接触部分的中央设为最上部。
31、专利技术效果
32、根据本专利技术的工件保持机构和工件保持方法，在表面处理时工件不易脱落，且在表面处理后操作者能容易地剥下工件。
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1.一种工件保持机构，具备：
2.一种工件保持机构，具备：
3.根据权利要求1或2所述的工件保持机构，其中，
4.根据权利要求3所述的工件保持机构，其中，
5.一种工件保持方法，其中，
6.一种工件保持方法，其中，
【技术特征摘要】
1.一种工件保持机构，具备：
2.一种工件保持机构，具备：
3.根据权利要求1或2所述的工件保持机构，其中，
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