一种芯片生产用除尘式测试平台制造技术

技术编号:41250416 阅读:3 留言:0更新日期:2024-05-09 23:59
本技术提供一种芯片生产用除尘式测试平台,包括支架和除尘机构,所述支架的表面固定连接有电器柜,所述支架的底部表面固定连接有支撑脚,所述支架的顶部表面固定连接有工作台,所述工作台的表面固定连接有测试台,所述工作台的表面设置有除尘机构,所述测试台的表面设置有集尘机构。该一种芯片生产用除尘式测试平台,通过除尘机构的设置,测试平台在使用前,启动限位槽内的气缸,使液压杆通过垫片推动固定块从限位槽内露出,推动至适宜位置时,停止气缸并启动驱动电机,旋转轴随之旋转并带动扇叶快速旋转,多组扇叶同时旋转对测试台上的灰尘进行清理,挡板保护着固定块内部的零件,防治扇叶受到外界的损坏。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片测试相关,尤其涉及一种芯片生产用除尘式测试平台


技术介绍

1、芯片测试是在晶圆经过切割、减薄工序,成为一片片独立的chip之后的测试。其设备通常是测试厂商自行开发制造或定制的,一般是将晶圆放在测试平台上,用探针探到芯片中事先确定的测试点,探针上可以通过直流电流和交流信号,可以对其进行各种电气参数测试,而芯片在测试前需要对其测试品台进行除尘,故此,特别需要一种芯片生产用除尘式测试平台。

2、但是现有的芯片生产用除尘式测试平台,需要人工手动来对测试平台上的灰尘进行清理,而清理的不够干净时还会影响芯片测试的效果。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种芯片生产用除尘式测试平台,以解决上述
技术介绍
中提出的现有的一种芯片生产用除尘式测试平台,但是现有的芯片生产用除尘式测试平台,需要人工手动来对测试平台上的灰尘进行清理,而清理的不够干净时还会影响芯片测试的效果的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:包括支架和除尘机构,所述除尘机构包括限位槽、气缸、液压杆、垫片、固定块、驱动电机、旋转轴、扇叶和挡板,所述支架的表面固定连接有电器柜,所述支架的底部表面固定连接有支撑脚,所述支架的顶部表面固定连接有工作台,所述工作台的表面固定连接有固定柱,所述固定柱的表面固定连接有控制器,所述固定柱的顶部表面固定连接有显示屏,所述工作台的表面固定连接有测试台,所述工作台的表面设置有除尘机构,所述测试台的表面设置有集尘机构。

3、优选的,所述支撑脚以支架的中轴线对称设置有多组,且均匀的分布在支架的四角处。

4、优选的,所述工作台的表面开设有限位槽,所述限位槽的内壁表面固定连接有气缸,所述气缸的一端表面固定连接有液压杆,所述液压杆的一端表面固定连接有垫片,所述垫片的一端表面固定连接有固定块,所述固定块的内壁表面固定连接有驱动电机,所述驱动电机的一端表面固定连接有旋转轴,所述旋转轴的表面固定连接有扇叶,所述固定块的一侧表面固定连接有挡板。

5、优选的,所述固定块以工作台的中轴线对称设置有两组,所述驱动电机、旋转轴和扇叶在固定块的内壁表面设置有多组。

6、优选的,所述固定块的尺寸与限位槽的尺寸相吻合。

7、优选的,所述集尘机构包括集尘槽、集尘盖、卡孔、弹簧、挡块和卡销,所述测试台的表面开设有集尘槽,所述集尘槽的表面滑动连接有集尘盖,所述集尘盖的一端表面开设有卡孔,所述卡孔的外壁表面固定连接有弹簧,所述弹簧的一端表面固定连接有挡块,所述挡块的一端表面固定连接有卡销。

8、优选的,所述卡销的尺寸与卡孔的尺寸相吻合。

9、与现有技术相比,本技术的有益效果是:该一种芯片生产用除尘式测试平台,通过限位槽、气缸、液压杆、垫片、固定块、驱动电机、旋转轴、扇叶和挡板的设置,测试平台在使用前,启动限位槽内的气缸,使液压杆通过垫片推动固定块从限位槽内露出,推动至适宜位置时,停止气缸并启动驱动电机,旋转轴随之旋转并带动扇叶快速旋转,多组扇叶同时旋转对测试台上的灰尘进行清理,挡板保护着固定块内部的零件,防治扇叶受到外界的损坏,在此过程中,不再需要人工手持来对检测台进行清理,随着风力的增强,能够加强清理效果。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片生产用除尘式测试平台,包括支架(1)和除尘机构(9),其特征在于:所述除尘机构(9)包括限位槽(901)、气缸(902)、液压杆(903)、垫片(904)、固定块(905)、驱动电机(906)、旋转轴(907)、扇叶(908)和挡板(909),所述支架(1)的表面固定连接有电器柜(2),所述支架(1)的底部表面固定连接有支撑脚(3),所述支架(1)的顶部表面固定连接有工作台(4),所述工作台(4)的表面固定连接有固定柱(5),所述固定柱(5)的表面固定连接有控制器(6),所述固定柱(5)的顶部表面固定连接有显示屏(7),所述工作台(4)的表面固定连接有测试台(8),所述工作台(4)的表面设置有除尘机构(9),所述测试台(8)的表面设置有集尘机构(10)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述支撑脚(3)以支架(1)的中轴线对称设置有多组,且均匀的分布在支架(1)的四角处。

3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述工作台(4)的表面开设有限位槽(901),所述限位槽(901)的内壁表面固定连接有气缸(902),所述气缸(902)的一端表面固定连接有液压杆(903),所述液压杆(903)的一端表面固定连接有垫片(904),所述垫片(904)的一端表面固定连接有固定块(905),所述固定块(905)的内壁表面固定连接有驱动电机(906),所述驱动电机(906)的一端表面固定连接有旋转轴(907),所述旋转轴(907)的表面固定连接有扇叶(908),所述固定块(905)的一侧表面固定连接有挡板(909)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述固定块(905)以工作台(4)的中轴线对称设置有两组,所述驱动电机(906)、旋转轴(907)和扇叶(908)在固定块(905)的内壁表面设置有多组。

5.根据权利要求3所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述固定块(905)的尺寸与限位槽(901)的尺寸相吻合。

6.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述集尘机构(10)包括集尘槽(1001)、集尘盖(1002)、卡孔(1003)、弹簧(1004)、挡块(1005)和卡销(1006),所述测试台(8)的表面开设有集尘槽(1001),所述集尘槽(1001)的表面滑动连接有集尘盖(1002),所述集尘盖(1002)的一端表面开设有卡孔(1003),所述卡孔(1003)的外壁表面固定连接有弹簧(1004),所述弹簧(1004)的一端表面固定连接有挡块(1005),所述挡块(1005)的一端表面固定连接有卡销(1006)。

7.根据权利要求6所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述卡销(1006)的尺寸与卡孔(1003)的尺寸相吻合。

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【技术特征摘要】

1.一种芯片生产用除尘式测试平台,包括支架(1)和除尘机构(9),其特征在于:所述除尘机构(9)包括限位槽(901)、气缸(902)、液压杆(903)、垫片(904)、固定块(905)、驱动电机(906)、旋转轴(907)、扇叶(908)和挡板(909),所述支架(1)的表面固定连接有电器柜(2),所述支架(1)的底部表面固定连接有支撑脚(3),所述支架(1)的顶部表面固定连接有工作台(4),所述工作台(4)的表面固定连接有固定柱(5),所述固定柱(5)的表面固定连接有控制器(6),所述固定柱(5)的顶部表面固定连接有显示屏(7),所述工作台(4)的表面固定连接有测试台(8),所述工作台(4)的表面设置有除尘机构(9),所述测试台(8)的表面设置有集尘机构(10)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述支撑脚(3)以支架(1)的中轴线对称设置有多组,且均匀的分布在支架(1)的四角处。

3.根据权利要求1所述的一种芯片生产用除尘式测试平台,其特征在于:所述工作台(4)的表面开设有限位槽(901),所述限位槽(901)的内壁表面固定连接有气缸(902),所述气缸(902)的一端表面固定连接有液压杆(903),所述液压杆(903)的一端表面固定连接有垫片(904),所述垫片(904)的一端表面固定连接有固定块(905),所述固定块(905)的内壁表面固定连接有驱动电机(...

【专利技术属性】
技术研发人员:王浩酽冯凯杨焱武刘东东
申请(专利权)人:深圳市因梦晶凯测试技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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