一种晶圆覆膜装置制造方法及图纸

一种晶圆覆膜装置，包括工作台，其顶部设有晶圆放置部，工作台的两侧分别设有导向座，导向座内滑动设有导向块，导向块的一端设有弹簧，弹簧的一端连接导向座，工作台内设有滚筒，滚筒的两端连接有矩形块，矩形块的一面设有圆柱杆，圆柱杆的一端伸入导向块内，并与导向块转动连接，滚筒外壁连接薄膜的一端；推动部，包括第一括气缸，第一气缸的输出端设有U型块，U型块的开口朝向矩形块的一端，U型块用于推动矩形块移动。分切部，铰接于工作台的一端，包括切刀组件，切刀组件用于切除多余薄膜。使薄膜卷的一端连接滚筒，拉出薄膜进行晶圆的覆膜操作时滚筒不转动，切除多余薄膜时，通过滚筒的转动自动收起，减轻工人劳动强度，效率高。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于芯片加工领域，尤其涉及一种晶圆覆膜装置。

技术介绍

1、晶圆是制作半导体电器元件的基础原材料，晶圆的一面用于加工电路元件结构，加工过程中需要对晶圆的一面进行划片，以得到预定尺寸的晶粒，在划片前需要在晶圆的另一面贴一层薄膜，以保护晶圆。

2、现有覆膜装置，将晶圆放置于覆膜装置的中心，然后从覆膜装置的一端手动拉出薄膜，使薄膜完全覆盖晶圆，再利用辊轮从薄膜拉出端沿薄膜上表面滚过，以使薄膜向下贴覆于晶圆的另一面，再利用切除机构沿晶圆外周切除多余薄膜，从而完成晶圆的覆膜过程。然后再将覆膜后的晶圆移出覆膜装置的中心，并手动向薄膜拉出端卷动多余薄膜，使多余薄膜卷至薄膜拉出端，然后再将下一待覆膜晶圆放入覆膜装置的中心，并重复以上操作。

3、此过程中，薄膜的拉出和多余薄膜的收卷均需要人工进行，动作重复且单一，操作频繁，劳动强度大，生产效率低。

技术实现思路

1、为解决上述现有技术不足，本技术提供一种晶圆覆膜装置，使薄膜卷的一端连接滚筒，拉出薄膜进行晶圆的覆膜操作时滚筒不转动，切除多余薄膜时，通过滚筒的转动自动收起，减轻工人劳动强度，效率高。

2、为了实现本技术的目的，拟采用以下方案：

3、一种晶圆覆膜装置，包括

4、工作台，其顶部设有晶圆放置部，工作台的两侧分别设有导向座，导向座内滑动设有导向块，导向块的一端设有弹簧，弹簧的一端连接导向座的一端，工作台内设有滚筒，滚筒的两端分别伸出工作台，并连接有矩形块，矩形块的一面设有圆柱杆，圆柱杆的一端伸入导向块内，并与导向块转动连接，滚筒外壁连接薄膜的一端；

5、推动部，设有一组，包括第一括气缸，第一气缸的输出端设有u型块，u型块的开口朝向矩形块的一端，u型块用于推动矩形块移动。

6、分切部，铰接于工作台的一端，包括切刀组件，切刀组件用于切除多余薄膜。

7、进一步的，工作台的顶部向下凹陷设有矩形槽，晶圆放置部设于矩形槽的中心，矩形槽的两侧分别设有条形孔，滚筒的两端分别设有圆杆，圆杆穿过条形孔连接矩形块的另一面。

8、进一步的，矩形槽的一端设有避让槽，避让槽用于薄膜通过。

9、进一步的，导向座的两端分别设有支块，支块的一端连接工作台的外侧，导向座内设有导向槽，导向块滑动设于导向槽内，第一气缸设于工作台外部的一端，第一气缸的输出端穿过一支块。

10、进一步的，u型块的两支臂分别与矩形块的上下面匹配。

11、进一步的，圆杆上设有齿轮，条形孔的一侧设有条形槽，条形槽内设有齿条，齿条底部连接第二气缸的输出端，第二气缸设于工作台的底部，用于滚筒进入回程时，推动齿条与齿轮啮合。

12、本技术的有益效果在于：

13、利用第一气缸推动u型块移动，矩形块的上下面与u型块的两支臂配合，从而对矩形块进线限位并推动矩形块移动，以使滚筒移动，从而使滚筒自动将薄膜拉出，并覆盖待覆膜的晶圆，当覆膜结束后，第一气缸进入回程，u型块取消对矩形块的限位，此时齿条向上移动与齿轮结合，在弹簧恢复力的作用下，齿轮沿齿条滚动，从而使滚筒滚动，以实现对多余薄膜的自动收卷，减轻工人劳动强度，效率高。

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【技术保护点】

1.一种晶圆覆膜装置，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，工作台（1）的顶部向下凹陷设有矩形槽（16），晶圆放置部（11）设于矩形槽（16）的中心，矩形槽（16）的两侧分别设有条形孔（161），滚筒（15）的两端分别设有圆杆（153），圆杆（153）穿过条形孔（161）连接矩形块（151）的另一面。

3.根据权利要求2所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，矩形槽（16）的一端设有避让槽（162），避让槽（162）用于薄膜通过。

4.根据权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，导向座（12）的两端分别设有支块（121），支块（121）的一端连接工作台（1）的外侧，导向座（12）内设有导向槽（122），导向块（13）滑动设于导向槽（122）内，第一气缸（21）设于工作台（1）外部的一端，第一气缸（21）的输出端穿过一支块（121）。

5.根据权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，U型块（22）的两支臂分别与矩形块（151）的上下面匹配。

6.根据权利要求2所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，圆杆（153）上设有齿轮（154），条形孔（161）的一侧设有条形槽（163），条形槽（163）内设有齿条（164），齿条（164）底部连接第二气缸（165）的输出端，第二气缸（165）设于工作台（1）的底部，用于滚筒（15）进入回程时，推动齿条（164）与齿轮（154）啮合。

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆覆膜装置，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，工作台（1）的顶部向下凹陷设有矩形槽（16），晶圆放置部（11）设于矩形槽（16）的中心，矩形槽（16）的两侧分别设有条形孔（161），滚筒（15）的两端分别设有圆杆（153），圆杆（153）穿过条形孔（161）连接矩形块（151）的另一面。

3.根据权利要求2所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，矩形槽（16）的一端设有避让槽（162），避让槽（162）用于薄膜通过。

4.根据权利要求1所述的晶圆覆膜装置，其特征在于，导向座（12）的两端分别设有支块（121），支块（121）的一端连接工作台（1）的外侧，导...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯永，李健儿，胡仲波，胡博，蒋红全，周建余，
申请(专利权)人：四川上特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：