System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种阵列基板及其制备方法、显示装置制造方法及图纸_技高网

一种阵列基板及其制备方法、显示装置制造方法及图纸

技术编号:41234271 阅读:11 留言:0更新日期:2024-05-09 23:49
本申请公开了一种阵列基板及其制备方法、显示装置,包括:衬底;设置在所述衬底上的转接金属层;设置在所述转接金属层远离所述衬底一侧的第一有机阻挡层和第一无机阻挡层,所述第一无机阻挡层设置在所述第一有机阻挡层远离所述衬底的一侧;设置在所述第一无机阻挡层远离所述衬底一侧的器件层;设置在所述器件层远离所述衬底一侧的导电金属层;其中,所述阵列基板包括贯穿所述器件层、第一无机阻挡层、第一有机阻挡层的转接孔,所述导电金属层通过所述转接孔与所述转接金属层接触。

【技术实现步骤摘要】

本申请一般涉及显示,具体涉及一种阵列基板及其制备方法、显示装置


技术介绍

1、近年来,随着有机发光二极管(organic light emitting diode,oled)具有自发光、低能耗、宽视角、色彩丰富、快速相应及可制备柔性屏等诸多优异特性,引起了科研界和产业界极大的兴趣,被认为是极具潜力的下一代显示技术。

2、为了获得更大的屏占比,给客户提供良好的视觉体验,窄化边框成为了显示装置的一种趋势。现有设计中常采用双层走线的方式减小下边框尺寸,节省布线空间并降低成本。然而,目前双层走线方案一般在双层走线之间设置绝缘层进行隔离,双层走线之间通过过孔连接,这种方式导致显示面板上的寄生电容较大,影响显示效果。


技术实现思路

1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种阵列基板及其制备方法、显示装置,可以实现窄边框,提高显示效果。

2、第一方面,本申请提供了一种阵列基板,包括:

3、衬底;

4、设置在所述衬底上的转接金属层;

5、设置在所述转接金属层远离所述衬底一侧的第一有机阻挡层和第一无机阻挡层,所述第一无机阻挡层设置在所述第一有机阻挡层远离所述衬底的一侧;

6、设置在所述第一无机阻挡层远离所述衬底一侧的器件层;

7、设置在所述器件层远离所述衬底一侧的导电金属层;其中,所述阵列基板包括贯穿所述器件层、第一无机阻挡层、第一有机阻挡层的转接孔,所述导电金属层通过所述转接孔与所述转接金属层接触。

8、可选地,所述器件层包括层叠设置的有源层、第一栅绝缘层、栅极层、第二栅绝缘层、层间介质层、源漏金属层,其中,

9、所述器件层包括贯穿所述第一栅绝缘层、第二栅绝缘层、层间介质层的第一过孔,所述源漏金属层通过所述第一过孔与所述有源层接触。

10、可选地,还包括:

11、设置在所述器件层与所述导电金属层之间的第一平坦层,所述第一平坦层上设置有第二过孔,所述导电金属层通过所述第二过孔与所述源漏金属层接触。

12、可选地,所述转接孔在所述衬底上的正投影与所述转接金属层在所述衬底上的正投影至少部分交叠;

13、所述转接孔包括底面以及与所述底面相接的侧面,所述第一平坦层包括随形覆盖在所述侧面上的第一平坦子层,所述导电金属层在对应所述侧面位置处与所述第一平坦子层接触;所述第一平坦层在对应所述底面位置处设置有开口,所述开口至少暴露部分所述转接金属层,所述导电金属层通过所述开口与所述转接金属层接触。

14、可选地,所述转接孔包括位于所述第一有机阻挡层上的第一转接子孔、位于所述第一无机阻挡层上的第二转接子孔以及位于所述器件层上的第三转接子孔,所述第二转接子孔在所述衬底上的正投影位于所述第一转接子孔在所述衬底上的正投影及第三转接子孔在所述衬底上的正投影范围内。

15、可选地,所述第一转接子孔和所述第二转接子孔通过同一第一刻蚀工艺形成,所述第三转接子孔通过第二刻蚀工艺形成,所述第二刻蚀工艺位于所述第一刻蚀工艺之前。

16、可选地,所述第一平坦层的厚度大于所述第一转接子孔的最大截面半径与所述第二转接子孔的最小截面半径之差。

17、可选地,还包括:

18、设置在所述导电金属层远离所述衬底一侧的第二平坦层,所述第二平坦层在远离所述衬底的一侧表面平齐。

19、可选地,还包括:

20、设置在所述衬底与所述转接金属层之间的第二有机阻挡层和第二无机阻挡层,所述第二无机阻挡层设置在所述第二有机阻挡层远离所述衬底的一侧。

21、可选地,所述阵列基板包括弯折区,所述弯折区包括所述转接金属层形成的多条第一信号线以及所述导电金属层形成的多条第二信号线,所述第一信号线和所述第二信号线一一对应电连接,所述转接孔的数量与所述第一信号线和所述第二信号线的数量对应,所述转接孔在所述衬底上的正投影位于所述第一信号线在所述衬底上的正投影范围内。

22、可选地,所述阵列基板包括弯折区,所述弯折区包括所述转接金属层形成的多条第一信号线以及所述导电金属层形成的多条第二信号线,所述第一信号线和所述第二信号线一一对应电连接,所述转接孔的数量为一个或多个,所述转接孔在所述衬底上的正投影至少覆盖多条所述第一信号线在所述衬底上的正投影。

23、第二方面,本申请提供了一种阵列基板的制备方法,所述方法包括:

24、提供衬底;

25、在所述衬底上形成转接金属层;

26、在所述转接金属层远离所述衬底一侧形成第一有机阻挡层和第一无机阻挡层,所述第一无机阻挡层设置在所述第一有机阻挡层远离所述衬底的一侧;

27、在所述第一无机阻挡层远离所述衬底一侧形成器件层;

28、在所述器件层远离所述衬底一侧形成导电金属层;其中,所述阵列基板上包括贯穿所述器件层、第一无机阻挡层、第一有机阻挡层的转接孔,所述导电金属层通过所述转接孔与所述转接金属层接触。

29、可选地,所述转接孔包括位于所述第一有机阻挡层上的第一转接子孔、位于所述第一无机阻挡层上的第二转接子孔以及位于所述器件层上的第三转接子孔;

30、所述转接孔的形成方法包括:

31、在形成所述导电金属层之前,在所述器件层上进行第二刻蚀工艺以形成所述第三转接子孔,所述第三转接子孔至少暴露部分所述第一无机阻挡层;

32、在所述第一无机阻挡层和所述第一有机阻挡层上进行第一刻蚀工艺,以在所述第一无机阻挡层上形成所述第一转接子孔以及在所述第一有机阻挡层上形成所述第二转接子孔。

33、第三方面,本申请提供了一种显示装置,包括显示面板和如以上任一所述的阵列基板。

34、本申请的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果:

35、本申请实施例提供的阵列基板,通过将转接金属层设置在衬底与器件层之间,通过在器件层与转接金属层之间设置第一有机阻挡层和第一无机阻挡层,可以减小寄生电容的产生,提高显示面板的显示效果,并提高绝缘效果以及水氧阻挡效果,克服了现有刻蚀方式制作的走线存在的底切现象导致的沉积断线等问题,简化工艺制程,提高制备效果。

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【技术保护点】

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述器件层包括层叠设置的有源层、第一栅绝缘层、栅极层、第二栅绝缘层、层间介质层、源漏金属层,其中,

3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,还包括:

4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述转接孔在所述衬底上的正投影与所述转接金属层在所述衬底上的正投影至少部分交叠;

5.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述转接孔包括位于所述第一有机阻挡层上的第一转接子孔、位于所述第一无机阻挡层上的第二转接子孔以及位于所述器件层上的第三转接子孔,所述第二转接子孔在所述衬底上的正投影位于所述第一转接子孔在所述衬底上的正投影及第三转接子孔在所述衬底上的正投影范围内。

6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述第一转接子孔和所述第二转接子孔通过同一第一刻蚀工艺形成,所述第三转接子孔通过第二刻蚀工艺形成,所述第二刻蚀工艺位于所述第一刻蚀工艺之前。

7.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述第一平坦层的厚度大于所述第一转接子孔的最大截面半径与所述第二转接子孔的最小截面半径之差。

8.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括:

9.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括:

10.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括弯折区,所述弯折区包括所述转接金属层形成的多条第一信号线以及所述导电金属层形成的多条第二信号线,所述第一信号线和所述第二信号线一一对应电连接,所述转接孔的数量与所述第一信号线和所述第二信号线的数量对应,所述转接孔在所述衬底上的正投影位于所述第一信号线在所述衬底上的正投影范围内。

11.根据权利要求10所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括弯折区,所述弯折区包括所述转接金属层形成的多条第一信号线以及所述导电金属层形成的多条第二信号线,所述第一信号线和所述第二信号线一一对应电连接,所述转接孔的数量为一个或多个,所述转接孔在所述衬底上的正投影至少覆盖多条所述第一信号线在所述衬底上的正投影。

12.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,所述方法包括:

13.根据权利要求12所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,所述转接孔包括位于所述第一有机阻挡层上的第一转接子孔、位于所述第一无机阻挡层上的第二转接子孔以及位于所述器件层上的第三转接子孔;

14.一种显示装置,其特征在于,包括显示面板和如权利要求1-11任一所述的阵列基板。

...

【技术特征摘要】

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述器件层包括层叠设置的有源层、第一栅绝缘层、栅极层、第二栅绝缘层、层间介质层、源漏金属层,其中,

3.根据权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,还包括:

4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述转接孔在所述衬底上的正投影与所述转接金属层在所述衬底上的正投影至少部分交叠;

5.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述转接孔包括位于所述第一有机阻挡层上的第一转接子孔、位于所述第一无机阻挡层上的第二转接子孔以及位于所述器件层上的第三转接子孔,所述第二转接子孔在所述衬底上的正投影位于所述第一转接子孔在所述衬底上的正投影及第三转接子孔在所述衬底上的正投影范围内。

6.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述第一转接子孔和所述第二转接子孔通过同一第一刻蚀工艺形成,所述第三转接子孔通过第二刻蚀工艺形成,所述第二刻蚀工艺位于所述第一刻蚀工艺之前。

7.根据权利要求5所述的阵列基板,其特征在于,所述第一平坦层的厚度大于所述第一转接子孔的最大截面半径与所述第二转接子孔的最小截面半径之差。

8.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员:石佳凡翟建鹏杨阳张胜星陈立强尹倩
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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